[發明專利]一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置

在審

• 申請號: 202110335843.7
• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN112958919A
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 戴超;李健樂;張淳;齊風;孫晨光;王彥君
• 申請（專利權）人: 中環領先半導體材料有限公司;天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 薛萌萌

1.一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：包括底板(22)、稱重組件、調節組件、夾持組件、打標組件、定位組件，稱重組件安裝在底板(22)上，調節組件安裝在稱重組件上，夾持組件包括兩個夾持單元，兩個夾持單元均安裝在調節組件上，打標組件安裝在底板(22)上，定位組件安裝在底板(22)上，定位組件設置于打標組件與調節組件之間，打標組件包括激光頭，激光頭的輸出端朝向夾持組件設置。

2.根據權利要求1所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：稱重組件包括稱重儀本體(8)，稱重儀本體(8)安裝在底板(22)上，稱重儀本體(8)頂部固定有安裝板，調節組件安裝在安裝板上。

3.根據權利要求1所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：調節組件包括雙向絲杠(16)、軸承座(15)、滑塊(17)，雙向絲桿的兩端均貫穿有一個軸承座(15)，軸承座(15)固定在安裝板上，滑塊(17)有兩個，兩個滑塊(17)均開有與雙向絲桿對應的螺紋孔，兩個滑塊(17)設置于雙向絲桿的兩端，均與雙向絲桿螺紋連接，每個滑塊(17)上均固定有一個夾持單元。

4.根據權利要求3所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：雙向絲桿兩側還設有直線導軌(19)，直線導軌(19)通過安裝件(18)安裝在安裝板上，夾持單元底部固定有與直線導軌(19)對應的滑塊(17)，滑塊(17)通過預留的通孔套在直線導軌(19)上。

5.根據權利要求3所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：雙向絲桿的一端還安裝有手柄。

6.根據權利要求1所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：兩個夾持單元之間的雙向絲桿上還設有片籃定位底板(12)，片籃定位底板(12)底部固定有與雙向絲桿、直線導軌(19)對應的安裝件(18)，片籃定位底板(12)通過安裝件(18)安裝在雙向絲桿、直線導軌(19)上。

7.根據權利要求1所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：夾持單元包括滑動板(11)、滾輪、傾斜安裝條(111)，滑動板(11)固定在滑塊(17)上，傾斜安裝條(111)固定在滑動板(11)上，兩個滑動板(11)上的傾斜安裝條(111)相對設置，兩個傾斜安裝條(111)的傾斜部相背設置，滾輪有多個，多個滾輪均通過安裝軸安裝在傾斜安裝條(111)的傾斜部上。

8.根據權利要求7所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：其中一個滑動板(11)遠離達標組件的一側還安裝有指針(20)，稱重組件上設有與指針(20)對已能的刻度標尺(21)。

9.根據權利要求1所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：打標組件還包括U型件、上夾緊塊、下夾緊塊、立板，立板有兩個，兩個立板底部均固定在底板(22)上，每個立板上部均固定有一個U型件，下夾緊塊設置于U型件內，與U型件滑動連接，每個下夾緊塊上均豎直開有兩個條形通孔，立板上開有與下夾緊塊對應的條形通孔，立板與下夾緊塊的條形通孔內貫穿有限位螺栓，上夾緊塊設置于下夾緊塊頂部，上夾緊塊、下夾緊塊上均開有與激光頭對應的凹槽，上夾緊塊、下夾緊塊的兩端均開有螺紋孔，螺釘通過螺紋孔貫穿上夾緊塊，伸入到下夾緊塊的螺紋孔內，與上夾緊塊、下夾緊塊螺紋連接，激光頭安裝在上夾緊塊與下夾緊塊之間。

10.根據權利要求1所述的一種基于激光打標機的晶棒和晶片定位裝置，其特征在于：定位組件包括安裝架(23)、蓋板(24)、緊固螺釘，安裝架(23)遠離調節組件的一側固定有導桿，蓋板(24)上開有與導桿對應的通孔，導桿貫穿于通孔與蓋板(24)滑動連接，緊固螺釘端部通過軸承與安裝架(23)轉動連接，蓋板(24)上開有與緊固螺釘對應的螺紋孔，緊固螺釘貫穿于螺紋孔與蓋板(24)螺紋連接，安裝架(23)靠近蓋板(24)的一側開有用于放置晶片的凹槽。