[發明專利]檢測方法、檢測裝置、檢測設備及計算機可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202110335697.8
• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN113160145A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 陳魯;佟異;肖遙;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 邵泳城

本申請公開了一種檢測方法、檢測裝置、檢測設備及及非易失性計算機可讀存儲介質。檢測方法包括：采集工件的信息，以獲取多個重復區域的多張第一圖像；對多張所述第一圖像中重復區域的相同位置的像素的像素值進行排序；獲取預定序列位置處的像素值，以作為模板圖像中對應位置的像素的像素值，以生成模板圖像；及根據模板圖像對待測圖像進行檢測，以輸出檢測結果。本申請實施方式的檢測方法、檢測裝置、檢測設備及非易失性計算機可讀存儲介質通過對多張第一圖像中重復區域的相同位置的像素的像素值進行排序，獲取預定序列位置處的像素值，并將該像素值作為模板圖像位置對應像素的像素值，從而保證選取模板圖像的準確性，保證檢測結果準確。

技術領域

本申請涉及半導體檢測技術領域，更具體而言，涉及一種檢測方法、檢測裝置、檢測設備及非易失性計算機可讀存儲介質。

背景技術

目前，為檢測工件是否有缺陷，往往會通過對比待測工件的圖像的平均灰度值與標 準圖像的平均灰度值的差值是否超出預設灰度值，從而判斷工件是否有缺陷。然而，當選取的標準圖像不準確時，則會影響最終輸出的檢測結果，導致檢測結果不準確。

發明內容

本申請實施方式提供一種檢測方法、檢測裝置、檢測設備及非易失性計算機可讀存 儲介質。

本申請實施方式的檢測方法包括：采集工件的信息，以獲取多個重復區域的多張第 一圖像；對多張所述第一圖像中所述重復區域的相同位置的像素的像素值進行排序；獲取預定序列位置處的像素值，以作為模板圖像中對應位置的像素的像素值，以生成所述 模板圖像；及根據所述模板圖像對待測圖像進行檢測，以輸出檢測結果。

本申請實施方式的檢測裝置包括采集模塊、排序模塊、生成模塊及檢測模塊。所述采集模塊用于所述采集模塊用于采集工件的信息，以獲取多個重復區域的多張第一圖像；所述排序模塊用于對多張所述第一圖像中所述重復區域的相同位置的像素的像素值進 行排序；所述生成模塊用于獲取預定序列位置處的像素值，以作為所述模板圖像中對應 位置的像素的像素值，以生成所述模板圖像；及所述檢測模塊用于根據所述模板圖像對 待測圖像進行檢測，以輸出檢測結果。

本申請實施方式的檢測設備包括傳感器和處理器。所述傳感器用于采集工件的信息。 所述處理器用于獲取多個重復區域的多張第一圖像；對多張所述第一圖像中所述重復區 域的相同位置的像素的像素值進行排序；獲取預定序列位置處的像素值，以作為所述模板圖像中對應位置的像素的像素值，以生成所述模板圖像；及根據所述模板圖像對待測 圖像進行檢測，以輸出檢測結果。

本申請實施方式的非易失性計算機可讀存儲介質包含計算機程序，當所述計算機程 序被一個或多個處理器執行時，使得所述處理器執行如下檢測方法：采集工件的信息，以獲取多個重復區域的多張第一圖像；對多張所述第一圖像中所述重復區域的相同位置的像素的像素值進行排序；獲取預定序列位置處的像素值，以作為模板圖像中對應位置 的像素的像素值，以生成所述模板圖像；及根據所述模板圖像對待測圖像進行檢測，以 輸出檢測結果。

本申請實施方式的電子設備的檢測方法、檢測裝置、檢測設備及非易失性計算機可 讀存儲介質中，處理器通過對多張第一圖像中重復區域的相同位置的像素的像素值進行 排序，以獲取預定序列位置處的像素值，并將預定序列位置處的像素值作為模板圖像位置對應的像素的像素值，從而保證了選取的模板圖像的準確性，以保證檢測結果的準確性。

本申請的實施方式的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的 描述中變得明顯，或通過本申請的實施方式的實踐了解到。

附圖說明

本申請的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施方式的描述中將變得 明顯和容易理解，其中：

圖1是本申請某些實施方式的檢測方法的流程示意圖；

圖2是本申請某些實施方式的檢測設備的平面示意圖；

圖3是本申請某些實施方式的檢測裝置的示意圖；