[發(fā)明專利]一種新型區(qū)熔單晶爐內軸及夾持結構

在審

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• 申請日: 2021-03-29
• 公開（公告）號: CN113061977A
• 公開（公告）日: 2021-07-02
• 發(fā)明（設計）人: 孫健;李偉凡;王遵義;劉琨;孫晨光;王彥君
• 申請（專利權）人: 中環(huán)領先半導體材料有限公司;天津中環(huán)領先材料技術有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/32;C30B29/06
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 薛萌萌

1.一種新型區(qū)熔單晶爐內軸及夾持結構，其特征在于：包括上端與單晶硅連接的內軸組件(1)、夾持單晶硅下端的夾持組件(4)，所述內軸組件(1)外側設置夾持器大盤(2)，所述夾持器大盤(2)下側固接下軸(3)，所述夾持器大盤(2)中部設置內軸組件穿過的過孔，所述下軸(3)中部設置內軸組件穿過的通孔，所述夾持器大盤(2)上表面固設夾持組件(4)。

2.根據權利要求1所述的一種新型區(qū)熔單晶爐內軸及夾持結構，其特征在于：所述內軸組件(1)包括軸尖(11)和設置于軸尖下側的內軸(12)，所述軸尖(11)和內軸(12)之間設置軸尖導向環(huán)(13)，所述軸尖導向環(huán)(13)直徑大于軸尖(11)直徑；

所述下軸(3)為圓筒型，所述軸尖導向環(huán)(13)設置于下軸(3)通孔內，所述軸尖導向環(huán)(13)外徑與下軸(3)通孔內徑對應。

3.根據權利要求2所述的一種新型區(qū)熔單晶爐內軸及夾持結構，其特征在于：所述軸尖(11)上端固接有同軸的延長桿(14)，所述延長桿(14)上端設置籽晶夾頭(15)，所述籽晶夾頭(15)通過籽晶夾頭固定座(16)安裝在延長桿(14)上。

4.根據權利要求3所述的一種新型區(qū)熔單晶爐內軸及夾持結構，其特征在于：所述籽晶夾頭(15)上端、籽晶夾頭固定座(16)下端、夾持器大盤(2)上端均設置防燙鉬片。

5.根據權利要求1所述的一種新型區(qū)熔單晶爐內軸及夾持結構，其特征在于：所述夾持組件(4)包括多個立柱(41)，多個立柱周向等距設置于夾持器大盤(2)上端面，多個立柱(41)通過緊固環(huán)(42)固接，所述緊固環(huán)(42)上端面對應立柱(41)外側固接撥片柱(43)所述撥片柱(43)上端設置轉軸，所述轉軸處鉸接朝向內軸組件(1)的銷子撥片(44)，所述銷子撥片(44)在臨近內軸組件(1)的上端面垂直設置銷子桿(45)，所述立柱(41)上端對應銷子桿(45)設置斜孔，所述銷子桿(45)上端垂直固接夾持片(46)；

所述銷子撥片(44)向遠離內軸組件一側延伸有硬質桿(47)，所述硬質桿(47)在遠離銷子撥片(44)的一端固接軟鋼絲(48)。

6.根據權利要求5所述的一種新型區(qū)熔單晶爐內軸及夾持結構，其特征在于：所述夾持片(46)靠近內軸組件處有內凹圓弧(461)，所述內凹圓弧(461)與單晶硅下端擴肩側壁貼合夾持。

7.根據權利要求5所述的一種新型區(qū)熔單晶爐內軸及夾持結構，其特征在于：所述夾持片(46)材質為防燙鉬片。