[發明專利]硅片制絨產線

在審

• 申請號: 202110324971.1
• 申請日: 2021-03-26
• 公開（公告）號: CN112909133A
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 馬琦雯;鄧舜
• 申請（專利權）人: 常州時創能源股份有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0236
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.硅片制絨產線，其特征在于，包括按先后工序依次設置的：鏈式氧化爐，第一鏈式酸洗機，氧化槽，第一清水槽，制絨槽。

2.根據權利要求1所述的硅片制絨產線，其特征在于，還包括位于制絨槽后道、且按先后工序依次設置的：第二清水槽，第二鏈式酸洗機，鏈式烘干爐。

3.根據權利要求1或2所述的硅片制絨產線，其特征在于，所述第一鏈式酸洗機包括按先后工序依次設置的：酸洗區，漂洗區。

4.根據權利要求3所述的硅片制絨產線，其特征在于，所述第一鏈式酸洗機的酸洗區設有帶液滾輪和噴頭，第一鏈式酸洗機的漂洗區設有滾輪和噴頭。

5.根據權利要求1或2所述的硅片制絨產線，其特征在于，所述第一鏈式酸洗機和氧化槽之間還設有第一插片機。

6.根據權利要求2所述的硅片制絨產線，其特征在于，所述第二鏈式酸洗機包括按先后工序依次設置的：酸洗區，漂洗區。

7.根據權利要求6所述的硅片制絨產線，其特征在于，所述第二鏈式酸洗機的酸洗區設有帶液滾輪和噴頭，第二鏈式酸洗機的漂洗區設有滾輪和噴頭。

8.根據權利要求2所述的硅片制絨產線，其特征在于，所述第二清水槽和第二鏈式酸洗機之間還設有第二插片機。

9.根據權利要求1或2所述的硅片制絨產線，其特征在于，所述鏈式氧化爐內置剛玉軸和加熱燈管。