[發明專利]石墨基板

有效

• 申請號: 202110324243.0
• 申請日: 2021-03-26
• 公開（公告）號: CN113278953B
• 公開（公告）日: 2022-06-17
• 發明（設計）人: 葛永暉;梅勁;劉春楊;陳張笑雄;丁濤
• 申請（專利權）人: 華燦光電（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;H01L21/673;H01L33/00
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 呂耀萍

1.一種石墨基板，所述石墨基板(100)為圓盤，其特征在于，所述石墨基板(100)的外周壁上具有多個環形凹槽(110a)，所述多個環形凹槽(110a)與所述石墨基板(100)同軸，且所述多個環形凹槽(110a)沿所述石墨基板(100)的軸向間隔布置在所述石墨基板(100)的上表面(100a)和下表面(100b)之間，相鄰兩個所述環形凹槽(110a)之間形成一個格柵(110)，每個所述格柵(110)均為圓環結構，每個所述環形凹槽(110a)的槽寬均為0.5mm～5mm，每個所述格柵(110)的厚度均為0.5mm～2mm，所述石墨基板(100)包括沿所述石墨基板(100)的軸向間隔布置的n個格柵(110)，3≤n≤10。

2.根據權利要求1所述的石墨基板，其特征在于，從所述石墨基板(100)的上表面(100a)至所述石墨基板(100)的下表面(100b)方向，每個所述環形凹槽(110a)的槽寬逐漸增大。

3.根據權利要求1所述的石墨基板，其特征在于，從所述石墨基板(100)的上表面(100a)至所述石墨基板(100)的下表面(100b)方向，每個所述格柵(110)的厚度逐漸增大。

4.根據權利要求1所述的石墨基板，其特征在于，每個所述格柵(110)的外徑與內徑的差值均為50mm～150mm。

5.根據權利要求4所述的石墨基板，其特征在于，從所述石墨基板(100)的上表面(100a)至所述石墨基板(100)的下表面(100b)方向，每個所述格柵(110)的外徑與內徑的差值逐漸增大。

6.根據權利要求1所述的石墨基板，其特征在于，n個所述格柵(110)至所述石墨基板(100)的上表面(100a)的最小距離大于20mm。

7.根據權利要求1所述的石墨基板，其特征在于，n個所述格柵(110)至所述石墨基板(100)的下表面(100b)的最小距離大于10mm。