[發明專利]玻璃板及其制造方法

在審

• 申請號: 202110324192.1
• 申請日: 2021-03-26
• 公開（公告）號: CN113443830A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 左高雅和;小林大介
• 申請（專利權）人: AGC株式會社
• 主分類號: C03C3/091
• 分類號: C03C3/091;B24B1/00;B08B11/04
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 楊青;安翔

1.一種玻璃板，其具有第一主表面和與所述第一主表面相反的第二主表面，所述第二主表面為形成電子構件的一側，其中，

使用下述計算方法導出的、所述第一主表面的表面Si-OH基團密度為0(個/cm²)以上且8.7×10¹⁴(個/cm²)以下，

以氧化物基準的質量％表示，所述玻璃板的玻璃組成含有：

SiO₂：35％～73％、

Al₂O₃：5％～35％、

B₂O₃：0～30％、

MgO：0～20％、

CaO：0～30％、

SrO：0～30％、

BaO：0～40％、并且

MgO、CaO、SrO和BaO的合計：1％～55％、且實質上不含有堿金屬氧化物，

計算方法

(i)對于作為試樣的玻璃板的所述第一主表面，使用將試樣與檢測器所成的檢測角度設定為15°的X射線光電子能譜法，測定Si、Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B的各原子濃度(原子％)，并通過下式(1)計算出以Si的原子濃度進行了歸一化的表面Si-O-R鍵數(SiOR_surf)，R是指Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B，

SiOR_surf＝2×(S_Mg+S_Ca+S_Sr+S_Ba)+3×(S_Al+S_B)…(1)

式中，S_Mg、S_Ca、S_Sr、S_Ba、S_Al和S_B各自是指將Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B的各原子濃度以Si的原子濃度進行歸一化而得到的值，

(ii)接著，對于所述第一主表面，使用C₆₀離子濺射沿深度方向切削所述玻璃板而使玻璃板內部露出，對于所述玻璃板內部，使用將檢測角度設定為75°的X射線光電子能譜法，測定Si、Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B的各原子濃度(原子％)，并通過下式(2)計算出以Si的原子濃度進行了歸一化的內部Si-O-R鍵數(SiOR_bulk)，

SiOR_bulk＝2×(B_Mg+B_Ca+B_Sr+B_Ba)+3×(B_Al+B_B)…(2)

式中，B_Mg、B_Ca、B_Sr、B_Ba、B_Al和B_B各自是指將Mg、Ca、Sr、Ba、Al和B的各原子濃度以Si的原子濃度進行歸一化而得到的值，

(iii)使用玻璃密度、玻璃板中的Si濃度、在所述(i)中計算出的所述表面Si-O-R鍵數(SiOR_surf)和在所述(ii)中計算出的所述內部Si-O-R鍵數(SiOR_bulk)，通過下式(3)～(5)計算出所述第一主表面的表面Si-OH基團密度(SiOH_surf)(個/cm²)，

D_Si＝(D×Si_mass％×6.02×10²³)/(100×28.09)…(3)

D_Si-surf＝(D_Si)^2/3…(4)

SiOH_surf＝(SiOR_bulk-SiOR_surf)×D_Si-surf…(5)

式中，D_Si是指玻璃板中的Si原子密度(個/cm³)，D是指玻璃密度(g/cm³)，Si_mass％是指玻璃板中的Si濃度(質量％)，D_Si-surf是指表面Si原子密度(個/cm²)。