[發明專利]一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置

在審

• 申請號: 202110323704.2
• 申請日: 2021-03-26
• 公開（公告）號: CN113182137A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 李留臣;程緒高;周潔;周正星
• 申請（專利權）人: 江蘇星特亮科技有限公司
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C11/02;B05C5/02;B05C13/02
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 劉鑫

本發明公開了一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，包括機架、轉動的設于機架上的且內部設有第一腔體的轉軸、連接在轉軸頂端的且內部設有與第一腔體連通的第二腔體的吸盤、設于吸盤上方的石墨籽晶座、設于機架上的且用于驅動轉軸轉動的第一驅動機構、與第一腔體連通的抽氣機構；吸盤中設有連通在第二腔體上方的真空吸孔，真空吸孔的上端穿出吸盤且位于石墨籽晶座下方；裝置還包括設于石墨籽晶座上方的注膠機構和刮膠機構、設于機架上的且用于驅動注膠機構和刮膠機構同步沿豎直方向和/或水平方向運動的第二驅動機構；注膠機構用于定量供膠；刮膠機構包括相互連接的刮板和振動器。本發明裝置能夠提高碳化硅籽晶與石墨籽晶座之間的粘接質量。

技術領域

本發明涉及人工晶體生長技術領域，特別涉及一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置。

背景技術

目前，物理氣相輸運法（PVT法）已成為生長碳化硅單晶的主流工藝技術，此技術的特點是將碳化硅籽晶片粘接在石墨籽晶座上，并將石墨籽晶座安裝在石墨坩堝上部，通過加熱坩堝底部的原料并使其升華，從而在碳化硅籽晶上生長碳化硅單晶；而碳化硅籽晶與石墨籽晶座之間粘接的均勻性、致密性、牢固程度等對碳化硅單晶生長質量具有非常重要的影響。

現有技術中，碳化硅籽晶與石墨籽晶座之間的粘接是先將粘接膠涂在石墨籽晶座端面上，再用刮板通過手工將粘接膠涂覆在石墨籽晶座上，然后放上碳化硅籽晶，通過加壓加熱工藝將碳化硅籽晶與石墨籽晶座粘接在一起。這一方法難以保證粘接膠的定量使用、膠層厚度均勻一致，經常出現粘接不均勻、不牢固、有氣泡等問題，從而影響碳化硅單晶的正常生長。因此，設計一種碳化硅籽晶粘接涂膠裝置，對提高碳化硅籽晶與石墨籽晶座之間的粘接質量，促進高品質碳化硅單晶的生長至關重要。

發明內容

本發明的目的是提供一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，能夠提高碳化硅籽晶與石墨籽晶座之間的粘接質量，促進高品質碳化硅單晶的生長。

為達到上述目的，本發明采用的技術方案是：

一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，包括機架、可繞自身軸心線方向轉動的設于所述機架上的且內部設有第一腔體的轉軸、連接在所述轉軸頂端的且內部設有與所述第一腔體連通的第二腔體的吸盤、設于所述吸盤上方的石墨籽晶座、設于所述機架上的且用于驅動所述轉軸轉動的第一驅動機構、與所述第一腔體連通的抽氣機構；

所述吸盤中設有連通在所述第二腔體上方的真空吸孔，所述真空吸孔的上端穿出所述吸盤且位于所述石墨籽晶座下方；

所述裝置還包括設于所述石墨籽晶座上方的注膠機構和刮膠機構、設于所述機架上的且用于驅動所述注膠機構和所述刮膠機構同步沿豎直方向和/或水平方向運動的第二驅動機構；

所述注膠機構用于定量供膠；所述刮膠機構包括刮板、連接在所述刮板上的振動器。

優選地，所述刮板底部沿所述石墨籽晶座徑向方向的兩端沿上下方向：

分別與所述石墨籽晶座的中心和邊緣對齊；或分別超出所述石墨籽晶座的中心和邊緣；或一端與所述石墨籽晶座的中心或邊緣對齊，另一端超出所述石墨籽晶座的邊緣或中心。

優選地，所述機架包括底座、設于所述底座上的罩殼和立柱，所述轉軸可繞自身軸心線方向轉動的穿設于所述罩殼頂部，所述第一驅動機構和所述抽氣機構均位于所述罩殼中；所述立柱高于所述石墨籽晶座，所述第二驅動機構設于所述立柱上。

優選地，所述第二驅動機構包括可沿水平方向運動的設于所述機架上的第一滑塊、用于驅動所述第一滑塊運動的第一電機、可沿豎直方向運動的設于所述第一滑塊上的第二滑塊、用于驅動所述第二滑塊運動的第二電機和/或第一手輪。

更優選地，所述第二驅動機構還包括設于所述第二滑塊上的安裝塊，所述注膠機構和所述刮膠機構分別固連于所述安裝塊上。