[發(fā)明專利]一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202110323704.2
• 申請日: 2021-03-26
• 公開（公告）號: CN113182137A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李留臣;程緒高;周潔;周正星
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇星特亮科技有限公司
• 主分類號: B05C11/10
• 分類號: B05C11/10;B05C11/02;B05C5/02;B05C13/02
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 劉鑫

1.一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：包括機(jī)架、可繞自身軸心線方向轉(zhuǎn)動的設(shè)于所述機(jī)架上的且內(nèi)部設(shè)有第一腔體的轉(zhuǎn)軸、連接在所述轉(zhuǎn)軸頂端的且內(nèi)部設(shè)有與所述第一腔體連通的第二腔體的吸盤、設(shè)于所述吸盤上方的石墨籽晶座、設(shè)于所述機(jī)架上的且用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動的第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)、與所述第一腔體連通的抽氣機(jī)構(gòu)；

所述吸盤中設(shè)有連通在所述第二腔體上方的真空吸孔，所述真空吸孔的上端穿出所述吸盤且位于所述石墨籽晶座下方；

所述裝置還包括設(shè)于所述石墨籽晶座上方的注膠機(jī)構(gòu)和刮膠機(jī)構(gòu)、設(shè)于所述機(jī)架上的且用于驅(qū)動所述注膠機(jī)構(gòu)和所述刮膠機(jī)構(gòu)同步沿豎直方向和/或水平方向運(yùn)動的第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)；

所述注膠機(jī)構(gòu)用于定量供膠；所述刮膠機(jī)構(gòu)包括刮板、連接在所述刮板上的振動器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述刮板底部沿所述石墨籽晶座徑向方向的兩端沿上下方向：

分別與所述石墨籽晶座的中心和邊緣對齊；或分別超出所述石墨籽晶座的中心和邊緣；或一端與所述石墨籽晶座的中心或邊緣對齊，另一端超出所述石墨籽晶座的邊緣或中心。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述機(jī)架包括底座、設(shè)于所述底座上的罩殼和立柱，所述轉(zhuǎn)軸可繞自身軸心線方向轉(zhuǎn)動的穿設(shè)于所述罩殼頂部，所述第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)和所述抽氣機(jī)構(gòu)均位于所述罩殼中；所述立柱高于所述石墨籽晶座，所述第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)設(shè)于所述立柱上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括可沿水平方向運(yùn)動的設(shè)于所述機(jī)架上的第一滑塊、用于驅(qū)動所述第一滑塊運(yùn)動的第一電機(jī)、可沿豎直方向運(yùn)動的設(shè)于所述第一滑塊上的第二滑塊、用于驅(qū)動所述第二滑塊運(yùn)動的第二電機(jī)和/或第一手輪。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述第二驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括設(shè)于所述第二滑塊上的安裝塊，所述注膠機(jī)構(gòu)和所述刮膠機(jī)構(gòu)分別固連于所述安裝塊上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述第一腔體沿所述轉(zhuǎn)軸的軸向貫穿所述轉(zhuǎn)軸，所述抽氣機(jī)構(gòu)包括連通在所述轉(zhuǎn)軸底端部的旋轉(zhuǎn)接頭、與所述旋轉(zhuǎn)接頭連通的抽氣泵。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述第二腔體包括設(shè)于所述吸盤中的盤形腔、上端與所述盤形腔連通的且下端穿出所述吸盤的連接孔，所述連接孔與所述第一腔體同軸排列且相互連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述裝置還包括設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸頂部和所述吸盤底部之間的第一密封圈，所述第一腔體的頂端和所述連接孔的底端均位于所述第一密封圈中。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述裝置還包括設(shè)于所述吸盤頂部和所述石墨籽晶座底部之間的第二密封圈，所述真空吸孔有多個，多個所述真空吸孔的頂端均位于所述第二密封圈中。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于碳化硅籽晶粘接的涂膠裝置，其特征在于：所述第一驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括設(shè)于所述機(jī)架上的且用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動的蝸輪蝸桿減速機(jī)、用于驅(qū)動所述蝸輪蝸桿減速機(jī)轉(zhuǎn)動的第三電機(jī)和/或第二手輪。