[發(fā)明專利]封閉式片盒在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110322053.5 | 申請日: | 2021-03-25 |
| 公開(公告)號(hào): | CN113097112A | 公開(公告)日: | 2021-07-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 任西鵬;李冬冬 | 申請(專利權(quán))人: | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/673 | 分類號(hào): | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京國昊天誠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11315 | 代理人: | 施敬勃 |
| 地址: | 100176 北京市*** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 封閉式 | ||
1.一種封閉式片盒,其特征在于,包括:頂板(100)、底板(200)和連接于頂板(100)與底板(200)之間的多個(gè)立柱(300),所述立柱(300)設(shè)有多個(gè)槽位(310);
所述封閉式片盒還包括活動(dòng)門(400)和側(cè)板(500),所述活動(dòng)門(400)和所述側(cè)板(500)分別圍設(shè)在多個(gè)所述立柱(300)的外側(cè),所述活動(dòng)門(400)、所述側(cè)板(500)、所述頂板(100)和所述底板(200)共同圍成容納空間,所述活動(dòng)門(400)的頂部與所述頂板(100)活動(dòng)連接,所述活動(dòng)門(400)的底部與所述底板(200)活動(dòng)連接,所述活動(dòng)門(400)能夠開啟或關(guān)閉所述容納空間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封閉式片盒,其特征在于,所述側(cè)板(500)包括分別設(shè)置于所述活動(dòng)門(400)左右兩側(cè)的左護(hù)板(510)和右護(hù)板(520),以及與所述活動(dòng)門(400)相對設(shè)置的后護(hù)板(530),所述左護(hù)板(510)、所述右護(hù)板(520)及所述后護(hù)板(530)各自與所述頂板(100)和所述底板(200)中的至少一者連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的封閉式片盒,其特征在于,所述活動(dòng)門(400)的頂部通過一連桿組件(600)與所述頂板(100)活動(dòng)連接,所述活動(dòng)門(400)的底部通過另一所述連桿組件(600)與所述底板(200)活動(dòng)連接;
所述連桿組件(600)包括第一連桿(610)和第二連桿(620),所述第一連桿(610)的第一端與所述活動(dòng)門(400)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述第一連桿(610)的第二端與所述頂板(100)或所述底板(200)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述第二連桿(620)的第一端與所述活動(dòng)門(400)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述第二連桿(620)的第二端與所述頂板(100)或所述底板(200)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述活動(dòng)門(400)通過所述連桿組件(600)能夠繞所述頂板(100)和所述底板(200)運(yùn)動(dòng),以開啟或關(guān)閉所述容納空間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的封閉式片盒,其特征在于,所述第一連桿(610)和/或所述第二連桿(620)上設(shè)有鎖緊件(630),所述頂板(100)和/或所述底板(200)上設(shè)有限位部(110),在所述活動(dòng)門(400)開啟時(shí),所述鎖緊件(630)與所述限位部(110)相配合對所述活動(dòng)門(400)進(jìn)行限位。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的封閉式片盒,其特征在于,所述活動(dòng)門(400)包括左右對稱設(shè)置的左門(410)和右門(420),所述左門(410)通過兩組所述連桿組件(600)與所述頂板(100)和所述底板(200)分別活動(dòng)連接,所述右門(420)通過兩組所述連桿組件(600)與所述頂板(100)和所述底板(200)分別活動(dòng)連接,所述左門(410)和所述右門(420)能夠分別繞所述頂板(100)和所述底板(200)相向運(yùn)動(dòng)或相背運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的封閉式片盒,其特征在于,所述左門(410)和所述右門(420)中的一者上設(shè)有磁性件(411),另一者上設(shè)有導(dǎo)磁材質(zhì)的吸附板(421),在所述活動(dòng)門(400)關(guān)閉時(shí),所述左門(410)與所述右門(420)之間通過所述磁性件(411)與所述吸附板(421)吸合。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的封閉式片盒,其特征在于,所述左門(410)的靠近所述右門(420)的端部,以及所述右門(420)的靠近所述左門(410)的端部均設(shè)有褶邊(412),在所述活動(dòng)門(400)關(guān)閉時(shí),所述左門(410)端部的所述褶邊(412)與所述右門(420)端部的所述褶邊(412)緊密相抵。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的封閉式片盒,其特征在于,所述頂板(100)或所述底板(200)設(shè)有安裝座(120),所述安裝座(120)上可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)有懸臂軸(130),所述懸臂軸(130)與所述第一連桿(610)的第二端或所述第二連桿(620)的第二端固定連接;
所述活動(dòng)門(400)可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)有連接軸(140),所述連接軸(140)與所述第一連桿(610)的第一端或所述第二連桿(620)的第一端固定連接。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





