[發(fā)明專(zhuān)利]一種面板缺陷檢測(cè)設(shè)備及面板缺陷檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110316947.3
• 申請(qǐng)日: 2021-03-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113176278B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王紹凱;黃運(yùn);蔣荷潔;譚久彬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 哈工大機(jī)器人（中山）無(wú)人裝備與人工智能研究院
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/95
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京隆源天恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11473
• 代理人: 段守富

本發(fā)明提供了一種面板缺陷檢測(cè)設(shè)備及面板缺陷檢測(cè)方法，涉及面板缺陷檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，該設(shè)備包括承載機(jī)構(gòu)、龍門(mén)、初掃組件和復(fù)掃組件，所述龍門(mén)橫跨設(shè)于所述承載機(jī)構(gòu)上并與所述承載機(jī)構(gòu)具有一定間隙，所述初掃組件和所述復(fù)掃組件分別設(shè)于同一個(gè)所述龍門(mén)上。通過(guò)將初掃組件和復(fù)掃組件設(shè)于同一個(gè)龍門(mén)上，從而使初掃組件與復(fù)掃組件之間的距離縮小，進(jìn)而可降低待檢測(cè)板面板的運(yùn)動(dòng)行程，從而降低了單個(gè)面板檢測(cè)所用的時(shí)間，提高面板缺陷掃描的效率；另外，由于初掃組件和復(fù)掃組件設(shè)于同一個(gè)龍門(mén)上，因此，統(tǒng)一了初掃基準(zhǔn)面與復(fù)掃基準(zhǔn)面，消除了因基準(zhǔn)面不一致產(chǎn)生的轉(zhuǎn)換誤差，提高了整機(jī)精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及面板缺陷檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種面板缺陷檢測(cè)設(shè)備及面板缺陷檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

目前，液晶顯示面板在制造過(guò)程中可能會(huì)產(chǎn)生諸多缺陷，這些缺陷大致可分為宏觀缺陷與微觀缺陷，其中微觀缺陷難以用肉眼檢測(cè)出來(lái)。

因此，為了檢測(cè)面板的微觀缺陷，市面上出現(xiàn)了相應(yīng)的面板缺陷檢測(cè)設(shè)備，現(xiàn)有的面板缺陷檢測(cè)設(shè)備包括初掃相機(jī)、復(fù)掃相機(jī)和兩個(gè)龍門(mén)，初掃相機(jī)和復(fù)掃相機(jī)分別布置在兩個(gè)具有一定距離的龍門(mén)上，初掃相機(jī)進(jìn)行初掃，復(fù)掃相機(jī)進(jìn)行復(fù)掃，為了使初掃相機(jī)和復(fù)掃相機(jī)都能掃描待檢測(cè)面板，則需要待檢測(cè)面板具有較長(zhǎng)的來(lái)回運(yùn)動(dòng)行程，因此，單個(gè)面板的檢測(cè)時(shí)間較長(zhǎng)，待檢測(cè)面板的檢測(cè)效率較低。另外，由于初掃相機(jī)和復(fù)掃相機(jī)分布于不同的龍門(mén)上，而兩個(gè)龍門(mén)的高度和平行度可能不同，則初掃相機(jī)和復(fù)掃相機(jī)的基準(zhǔn)面可能不一致，則容易出現(xiàn)轉(zhuǎn)換誤差，影響圖像的采集效果。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問(wèn)題是待檢測(cè)面板的檢測(cè)效率較低及初掃相機(jī)和復(fù)掃相機(jī)的基準(zhǔn)面不一致帶來(lái)的轉(zhuǎn)換誤差。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明第一方面提供一種面板缺陷檢測(cè)設(shè)備，包括承載機(jī)構(gòu)、龍門(mén)、初掃組件和復(fù)掃組件，所述承載機(jī)構(gòu)用于承載待檢測(cè)面板并驅(qū)動(dòng)所述待檢測(cè)面板運(yùn)動(dòng)，所述龍門(mén)橫跨設(shè)于所述承載機(jī)構(gòu)上并與所述承載機(jī)構(gòu)具有一定間隙，所述初掃組件和所述復(fù)掃組件分別設(shè)于同一所述龍門(mén)上，且所述初掃組件和所述復(fù)掃組件適于在所述龍門(mén)上移動(dòng)，所述初掃組件用于掃描所述待檢測(cè)面板，所述復(fù)掃組件用于對(duì)所述待檢測(cè)面板進(jìn)行復(fù)檢。

通過(guò)將初掃組件和復(fù)掃組件設(shè)于同一個(gè)龍門(mén)上，從而使初掃組件與復(fù)掃組件之間的距離縮小，進(jìn)而可降低待檢測(cè)板面板的運(yùn)動(dòng)行程，從而降低了單個(gè)面板檢測(cè)所用的時(shí)間，提高面板缺陷掃描的效率；另外，由于初掃組件和復(fù)掃組件設(shè)于同一個(gè)龍門(mén)上，因此，初掃組件和復(fù)掃組件在同一龍門(mén)上移動(dòng)，這里初掃組件移動(dòng)的基準(zhǔn)和復(fù)掃組件移動(dòng)的基準(zhǔn)是同一個(gè)龍門(mén)，則初掃組件和復(fù)掃組件基準(zhǔn)是統(tǒng)一的，因此統(tǒng)一了初掃基準(zhǔn)面與復(fù)掃基準(zhǔn)面，消除了因基準(zhǔn)面不一致產(chǎn)生的轉(zhuǎn)換誤差，提高了整機(jī)精度，進(jìn)而提高了最終的圖像采集效果。

進(jìn)一步地，所述初掃組件和所述復(fù)掃組件設(shè)于所述龍門(mén)的相對(duì)兩側(cè)面上。

進(jìn)一步地，所述承載機(jī)構(gòu)包括氣浮平臺(tái)，所述氣浮平臺(tái)用于懸浮支撐所述待檢測(cè)面板。

進(jìn)一步地，所述氣浮平臺(tái)包括第一氣浮平臺(tái)和兩個(gè)第二氣浮平臺(tái)，所述第一氣浮平臺(tái)設(shè)于兩個(gè)所述第二氣浮平臺(tái)之間，所述第一氣浮平臺(tái)和兩個(gè)所述第二氣浮平臺(tái)適于懸浮支撐所述待檢測(cè)面板，所述初掃組件和/或所述復(fù)掃組件掃描所述待檢測(cè)面板時(shí)，所述待檢測(cè)面板懸浮于所述第一氣浮平臺(tái)上。

所述第二氣浮平臺(tái)包括多個(gè)氣浮條，各所述氣浮條平行且間隔設(shè)置，所述氣浮條用于懸浮支撐所述待檢測(cè)面板。

進(jìn)一步地，所述承載機(jī)構(gòu)包括夾持機(jī)構(gòu)，所述夾持機(jī)構(gòu)用于帶動(dòng)所述待檢測(cè)面板在所述承載機(jī)構(gòu)上運(yùn)動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述夾持機(jī)構(gòu)包括精密定位裝置，所述精密定位裝置適于垂向吸附所述待檢測(cè)面板，并適于帶動(dòng)所述待檢測(cè)面板移動(dòng)。

進(jìn)一步地，所述承載機(jī)構(gòu)還包括預(yù)定位機(jī)構(gòu)，所述預(yù)定位機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述待檢測(cè)面板進(jìn)行預(yù)定位。