[發(fā)明專利]一種面板缺陷檢測設備及面板缺陷檢測方法

有效

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• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN113176278B
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發(fā)明（設計）人: 王紹凱;黃運;蔣荷潔;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈工大機器人（中山）無人裝備與人工智能研究院
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京隆源天恒知識產權代理有限公司 11473
• 代理人: 段守富

1.一種面板缺陷檢測方法，其特征在于，所述方法應用于面板缺陷檢測設備，其中，所述面板缺陷檢測設備包括承載機構、龍門(5)、初掃組件(6)和復掃組件(7)，所述承載機構用于承載待檢測面板(8)并驅動所述待檢測面板(8)運動，所述龍門(5)橫跨設于所述承載機構上并與所述承載機構具有一定間隙，所述初掃組件(6)和所述復掃組件(7)分別設于同一所述龍門(5)上，且所述初掃組件(6)和所述復掃組件(7)適于在所述龍門(5)上移動，所述初掃組件(6)用于掃描所述待檢測面板(8)，所述復掃組件(7)用于對所述待檢測面板(8)進行復掃；

所述方法包括：

缺陷評價結果獲取階段和待檢測面板復檢階段；

所述缺陷評價結果獲取階段包括：

根據待檢測面板(8)的掃描圖像確定所述掃描圖像的第一候選缺陷，根據所述第一候選缺陷確定裁剪圖像，根據所述裁剪圖像確定第一缺陷評分；

從所述第一候選缺陷中篩選第二候選缺陷，根據所述第二候選缺陷的坐標位置移動復掃組件(7)以采集復掃圖像，根據所述復掃圖像確定第二缺陷評分，其中，所述第一缺陷評分和所述第二缺陷評分均用于評價缺陷的可靠性；

根據所述第一缺陷評分和所述第二缺陷評分確定各類缺陷的缺陷評價結果，以確定所述第一缺陷評分與所述缺陷評價結果是否存在一致性，其中，所述根據所述第一缺陷評分和所述第二缺陷評分確定各類缺陷的缺陷評價結果包括：根據所述第一缺陷評分和第一權重確定第一加權結果；根據所述第二缺陷評分和第二權重確定第二加權結果；根據所述第一加權結果和所述第二加權結果確定所述缺陷評價結果；

所述待檢測面板復檢階段包括：

獲取所述待檢測面板(8)的掃描圖像，并根據所述掃描圖像確定缺陷和各缺陷的類型；

根據預先獲取的缺陷評價結果確定需復檢類缺陷，從上述缺陷中挑選需復檢類缺陷進行復檢。

2.根據權利要求1所述的面板缺陷檢測方法，其特征在于，所述初掃組件(6)和所述復掃組件(7)設于所述龍門(5)的相對兩側面上。

3.根據權利要求1所述的面板缺陷檢測方法，其特征在于，所述承載機構包括氣浮平臺(2)，所述氣浮平臺(2)用于懸浮支撐所述待檢測面板(8)。

4.根據權利要求3所述的面板缺陷檢測方法，其特征在于，所述氣浮平臺(2)包括第一氣浮平臺(21)和兩個第二氣浮平臺(22)，所述第一氣浮平臺(21)設于兩個所述第二氣浮平臺(22)之間，所述第一氣浮平臺(21)和所述第二氣浮平臺(22)適于懸浮支撐所述待檢測面板(8)，當所述初掃組件(6)和/或所述復掃組件(7)掃描所述待檢測面板(8)時，所述待檢測面板(8)懸浮于所述第一氣浮平臺(21)上。

5.根據權利要求4所述的面板缺陷檢測方法，其特征在于，所述第二氣浮平臺(22)包括多個氣浮條(221)，各所述氣浮條(221)平行且間隔設置，所述氣浮條(221)用于懸浮支撐所述待檢測面板(8)。

6.根據權利要求1至5任一項所述的面板缺陷檢測方法，其特征在于，所述承載機構包括夾持機構(3)，所述夾持機構(3)用于帶動所述待檢測面板(8)在所述承載機構上運動。

7.根據權利要求6所述的面板缺陷檢測方法，其特征在于，所述夾持機構(3)包括精密定位裝置(34)，所述精密定位裝置(34)適于垂向吸附所述待檢測面板(8)，并適于帶動所述待檢測面板(8)移動。

8.根據權利要求6所述的面板缺陷檢測方法，其特征在于，所述承載機構還包括預定位機構(4)，所述預定位機構(4)用于對所述待檢測面板(8)進行預定位。