[發(fā)明專利]升降裝置、定位設(shè)備和腔室設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110314216.5
• 申請(qǐng)日: 2021-03-24
• 公開（公告）號(hào): CN112960594B
• 公開（公告）日: 2022-11-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郝琪
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中科晶源微電子技術(shù)（北京）有限公司
• 主分類號(hào): B66F7/14
• 分類號(hào): B66F7/14;B66F7/28;F16H25/22;F16H25/24;H01L21/677
• 代理公司: 北京匯知杰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11587
• 代理人: 吳煥芳;楊勇

1.一種用于相對(duì)于參照物提升物體的升降裝置，所述升降裝置包括：

支撐臺(tái)，形成有容納孔，所述物體由所述容納孔保持；

電機(jī)，相對(duì)于所述支撐臺(tái)或所述參照物固定；和

至少一對(duì)升降組件，每個(gè)升降組件包括：

螺母，固定至所述參照物；

豎直地聯(lián)接于所述螺母與所述支撐臺(tái)之間的絲杠，

其中，所述絲杠的上端與所述電機(jī)經(jīng)由二者之間同步傳動(dòng)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)而彼此成驅(qū)動(dòng)連接，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)呈帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)或鏈傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的形式，所述絲杠的下部與所述螺母之間形成絲杠螺母副；且

所述升降裝置還包括至少一個(gè)鎖止組件，所述至少一個(gè)鎖止組件安置成分別與至少一對(duì)升降組件的絲杠聯(lián)接且被配置成僅允許絲杠單向轉(zhuǎn)動(dòng)；

每個(gè)升降組件還包括固定至所述參照物的支架，所述支架的底部安裝有滾輪和配置成用于放下和收起滾輪的可調(diào)支撐以分別使所述滾輪與所述參照物接觸和脫離接觸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降裝置，其中，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：多個(gè)傳動(dòng)帶以及多對(duì)傳動(dòng)輪，每對(duì)中的兩個(gè)傳動(dòng)輪經(jīng)由相應(yīng)傳動(dòng)帶彼此成傳動(dòng)連接，且以傳動(dòng)方式連接至其上游的所述電機(jī)以及分別連接至其下游的相應(yīng)對(duì)升降組件的兩個(gè)絲杠的各自上端。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的升降裝置，其中，多對(duì)傳動(dòng)輪中的至少一個(gè)傳動(dòng)輪是直接地與所述電機(jī)的輸出軸嚙合成傳動(dòng)連接的主動(dòng)輪，并且多對(duì)傳動(dòng)輪的其他傳動(dòng)輪是分別經(jīng)由相應(yīng)傳動(dòng)帶、或相鄰對(duì)傳動(dòng)輪的傳送帶而與所述主動(dòng)輪成傳動(dòng)連接的從動(dòng)輪。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的升降裝置，其中，所述多對(duì)傳動(dòng)輪中的僅一對(duì)傳動(dòng)輪中的一個(gè)傳動(dòng)輪是與所述電機(jī)的輸出軸嚙合成傳動(dòng)連接的主動(dòng)輪、而另一個(gè)傳動(dòng)輪是經(jīng)由相應(yīng)傳動(dòng)帶與所述主動(dòng)輪以傳動(dòng)方式相連接的從動(dòng)輪，并且其他對(duì)傳動(dòng)輪均是經(jīng)由各自傳動(dòng)帶與所述主動(dòng)輪以傳動(dòng)方式相連接的從動(dòng)輪。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的升降裝置，其中，所述多對(duì)傳動(dòng)輪的水平中心線位于同一個(gè)平面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的升降裝置，其中，所述多對(duì)傳動(dòng)輪為鏈輪，所述多個(gè)傳動(dòng)帶為呈閉環(huán)的鏈條。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的升降裝置，其中，所述多對(duì)傳動(dòng)輪為帶輪，所述多個(gè)傳動(dòng)帶為同步齒形帶。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的升降裝置，其中，所述支架包括所述螺母，所述螺母呈套設(shè)于所述相應(yīng)絲杠的下部且被固定至所述參照物的絲杠螺母的形式，其具備與相應(yīng)絲杠成螺紋聯(lián)接的內(nèi)螺紋，所述絲杠與所述絲杠螺母共同限定所述絲杠螺母副。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的升降裝置，其中，所述支架還包括：

支架主體，且套設(shè)于所述相應(yīng)絲杠的下部，且所述絲杠螺母卡合于所述相應(yīng)絲杠與所述支架主體之間；以及

至少一對(duì)固定螺栓，設(shè)置成從所述支架主體的上表面以螺紋旋擰方式延伸貫穿所述支架主體的周緣并且進(jìn)而旋擰固定至所述參照物。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的升降裝置，其中，所述鎖止組件包括以下的至少一種：形成于每個(gè)升降組件內(nèi)的自鎖機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述每個(gè)升降組件外的附加鎖止機(jī)構(gòu)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的升降裝置，其中，所述絲杠螺母副是滑動(dòng)絲杠螺母副，且所述自鎖機(jī)構(gòu)包括：所述絲杠的具備梯形牙型的絲杠外螺紋、和所述絲杠螺母的內(nèi)螺紋，所述內(nèi)螺紋與所述絲杠外螺紋之間的滑動(dòng)配合限定了自鎖運(yùn)動(dòng)副，且所述梯形牙型的導(dǎo)程角小于靜摩擦角。