[發明專利]升降裝置、定位設備和腔室設備

有效

• 申請號: 202110314216.5
• 申請日: 2021-03-24
• 公開（公告）號: CN112960594B
• 公開（公告）日: 2022-11-15
• 發明（設計）人: 郝琪
• 申請（專利權）人: 中科晶源微電子技術（北京）有限公司
• 主分類號: B66F7/14
• 分類號: B66F7/14;B66F7/28;F16H25/22;F16H25/24;H01L21/677
• 代理公司: 北京匯知杰知識產權代理有限公司 11587
• 代理人: 吳煥芳;楊勇

1.一種用于相對于參照物提升物體的升降裝置，所述升降裝置包括：

支撐臺，形成有容納孔，所述物體由所述容納孔保持；

電機，相對于所述支撐臺或所述參照物固定；和

至少一對升降組件，每個升降組件包括：

螺母，固定至所述參照物；

豎直地聯接于所述螺母與所述支撐臺之間的絲杠，

其中，所述絲杠的上端與所述電機經由二者之間同步傳動的傳動機構而彼此成驅動連接，所述傳動機構呈帶傳動機構或鏈傳動結構的形式，所述絲杠的下部與所述螺母之間形成絲杠螺母副；且

所述升降裝置還包括至少一個鎖止組件，所述至少一個鎖止組件安置成分別與至少一對升降組件的絲杠聯接且被配置成僅允許絲杠單向轉動；

每個升降組件還包括固定至所述參照物的支架，所述支架的底部安裝有滾輪和配置成用于放下和收起滾輪的可調支撐以分別使所述滾輪與所述參照物接觸和脫離接觸。

2.根據權利要求1所述的升降裝置，其中，所述傳動機構包括：多個傳動帶以及多對傳動輪，每對中的兩個傳動輪經由相應傳動帶彼此成傳動連接，且以傳動方式連接至其上游的所述電機以及分別連接至其下游的相應對升降組件的兩個絲杠的各自上端。

3.根據權利要求2所述的升降裝置，其中，多對傳動輪中的至少一個傳動輪是直接地與所述電機的輸出軸嚙合成傳動連接的主動輪，并且多對傳動輪的其他傳動輪是分別經由相應傳動帶、或相鄰對傳動輪的傳送帶而與所述主動輪成傳動連接的從動輪。

4.根據權利要求3所述的升降裝置，其中，所述多對傳動輪中的僅一對傳動輪中的一個傳動輪是與所述電機的輸出軸嚙合成傳動連接的主動輪、而另一個傳動輪是經由相應傳動帶與所述主動輪以傳動方式相連接的從動輪，并且其他對傳動輪均是經由各自傳動帶與所述主動輪以傳動方式相連接的從動輪。

5.根據權利要求2所述的升降裝置，其中，所述多對傳動輪的水平中心線位于同一個平面。

6.根據權利要求5所述的升降裝置，其中，所述多對傳動輪為鏈輪，所述多個傳動帶為呈閉環的鏈條。

7.根據權利要求5所述的升降裝置，其中，所述多對傳動輪為帶輪，所述多個傳動帶為同步齒形帶。

8.根據權利要求2所述的升降裝置，其中，所述支架包括所述螺母，所述螺母呈套設于所述相應絲杠的下部且被固定至所述參照物的絲杠螺母的形式，其具備與相應絲杠成螺紋聯接的內螺紋，所述絲杠與所述絲杠螺母共同限定所述絲杠螺母副。

9.根據權利要求8所述的升降裝置，其中，所述支架還包括：

支架主體，且套設于所述相應絲杠的下部，且所述絲杠螺母卡合于所述相應絲杠與所述支架主體之間；以及

至少一對固定螺栓，設置成從所述支架主體的上表面以螺紋旋擰方式延伸貫穿所述支架主體的周緣并且進而旋擰固定至所述參照物。

10.根據權利要求8所述的升降裝置，其中，所述鎖止組件包括以下的至少一種：形成于每個升降組件內的自鎖機構，設置于所述每個升降組件外的附加鎖止機構。

11.根據權利要求10所述的升降裝置，其中，所述絲杠螺母副是滑動絲杠螺母副，且所述自鎖機構包括：所述絲杠的具備梯形牙型的絲杠外螺紋、和所述絲杠螺母的內螺紋，所述內螺紋與所述絲杠外螺紋之間的滑動配合限定了自鎖運動副，且所述梯形牙型的導程角小于靜摩擦角。