[發明專利]檢測方法、系統、設備及計算機可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202110309782.7
• 申請日: 2021-03-23
• 公開（公告）號: CN113109350A
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 陳魯;魏林鵬;胡田軍;林浩;張嵩
• 申請（專利權）人: 深圳中科飛測科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 深圳鼎合誠知識產權代理有限公司 44281
• 代理人: 郭燕;彭家恩

1.一種檢測方法,其特征在于，應用于檢測設備，所述方法包括：

控制激光光源發射激光并照射在待測件的表面以形成激光光斑；

控制待測件相對于激光移動，并實時檢測所述激光光斑在待測件上的第一位置；

當所述第一位置位于所述待測件的待測區域時，控制用于遮擋激光的快門打開，當所述第一位置位于所述待測件的非檢測區域時，控制所述快門關閉；

接收所述待測區域的檢測信息，根據所述檢測信息對所述待測區域是否存在缺陷進行判斷。

2.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述控制待測件相對于激光移動，并實時檢測所述激光光斑在待測件上的第一位置，之后還包括：

確定待測件表面的待測區域以及非檢測區域。

3.如權利要求2所述的檢測方法，其特征在于，所述確定待測件表面的待測區域以及非檢測區域，包括：

通過圖像采集部件采集待測件表面圖像以確定所述待測區域以及所述非檢測區域；

或，根據待測件對激光的所述檢測信息確定所述待測區域以及所述非檢測區域；

或，根據預設參數確定所述待測區域與所述非檢測區域。

4.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述實時檢測所述激光光斑在待測件上的第一位置包括：

通過激光光源的出射角度以及所述激光光源與用于固定待測件的承載裝置的相對位置確定所述激光光斑的所述第一位置；

或，通過圖像采集單元采集待測件上的所述激光光斑的所述第一位置。

5.如權利要求1所述的檢測方法，其特征在于，所述當所述第一位置位于所述待測件的待測區域時，控制用于遮擋激光的快門打開，當所述第一位置位于所述待測件的非檢測區域時，控制所述快門關閉，包括：

確定待測件的所述待測區域的第一位置編碼范圍以及所述非檢測區域的第二位置編碼范圍；

當所述第一位置對應的位置編碼位于所述第一位置編碼范圍時，控制所述快門打開，當所述第一位置對應的位置編碼位于所述第二位置編碼范圍時，控制所述快門關閉。

6.一種檢測系統，其特征在于，包括：

激光單元，用于控制激光光源發射激光并照射在待測件的表面以形成激光光斑；

移動單元，用于控制待測件相對于激光移動；

區域檢測單元，實時檢測所述激光光斑在待測件上的第一位置；

快門控制單元，用于當所述第一位置位于所述待測件的待測區域時，控制用于遮擋激光的快門打開，當所述第一位置位于所述待測件的非檢測區域時，控制所述快門關閉；

光檢測單元，接收所述待測區域的檢測信息，根據所述檢測信息對所述待測區域是否存在缺陷進行判斷。

7.一種檢測設備，其特征在于，包括：

承載裝置，用于承載待測件；

激光光源，包括發射激光至待測件表面并形成激光光斑的激光發射單元以及用于允許或遮擋激光發射至待測件表面的快門；

驅動機構，用于驅動所述承載裝置或所述激光發射單元移動；

位置檢測單元，用于實時檢測所述激光光斑在待測件上的第一位置；

處理器，用于當所述第一位置位于所述待測件的待測區域時，控制用于遮擋激光的快門打開，當所述第一位置位于所述待測件的非檢測區域時，控制所述快門關閉；

圖像檢測單元，用于接收所述待測區域的檢測信息，并根據所述檢測信息對所述待測區域是否存在缺陷進行判斷。

8.如權利要求7所述的檢測設備，其特征在于，所述位置檢測單元用于實時檢測所述激光光斑在待測件上的第一位置之后，還用于確定待測件表面的待測區域以及非檢測區域。

9.如權利要求8所述的檢測設備，其特征在于，

所述位置檢測單元確定待測件表面的待測區域以及非檢測區域，包括：通過圖像采集部件采集待測件表面圖像以確定所述待測區域以及所述非檢測區域；

或，根據待測件對激光的所述檢測信息確定所述待測區域以及所述非檢測區域；

或，根據預設參數確定所述待測區域與所述非檢測區域。