[發明專利]一種微動臺、交接方法及運動設備

有效

• 申請號: 202110309661.2
• 申請日: 2021-03-24
• 公開（公告）號: CN112701075B
• 公開（公告）日: 2021-06-04
• 發明（設計）人: 江旭初;袁嘉欣;陳嘯虎;李仲禹;陳旻峰;章富平
• 申請（專利權）人: 上海隱冠半導體技術有限公司;上海精測半導體技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

1.一種微動臺，其特征在于，包括：

垂向升降裝置（1），其包括由下至上依次連接的基臺（11）、垂向驅動組件（12）和固定臺（13），所述垂向驅動組件（12）安裝于所述基臺（11）上，所述固定臺（13）安裝于所述垂向驅動組件（12）上；

吸盤組件（2），其包括吸盤（21），所述吸盤（21）轉動設置于所述固定臺（13）上，所述吸盤（21）用于承載基底（300）；

基底交接裝置（3），所述基底交接裝置（3）包括交接軸（32）和頂桿（35），所述交接軸（32）與所述固定臺（13）滑動連接，所述頂桿（35）設置于所述基臺（11）上，且所述基底交接裝置（3）被配置為在所述垂向驅動組件（12）帶動所述固定臺（13）向下運動時，所述頂桿（35）能夠頂動所述交接軸（32），以使所述交接軸（32）相對所述固定臺（13）向上滑動并伸出所述吸盤（21）上表面以托起并吸附所述基底（300）。

2.根據權利要求1所述的微動臺，其特征在于，所述基底交接裝置（3）還包括交接底座（31），所述交接底座（31）連接于所述固定臺（13）的底部，所述交接底座（31）設置有兩端開口的型腔，所述交接軸（32）的下端滑動安裝于所述型腔內，所述頂桿（35）的頂端能穿過所述型腔的下端開口以頂動所述交接軸（32），以使所述交接軸（32）的上端穿過所述固定臺（13）并伸出所述固定臺（13）的上方。

3.根據權利要求1所述的微動臺，其特征在于，所述基底交接裝置（3）還包括彈性復位件（33），所述彈性復位件（33）用于在所述頂桿（35）與所述交接軸（32）脫離接觸后，向所述交接軸（32）施加向下的回復力。

4.根據權利要求1所述的微動臺，其特征在于，所述固定臺（13）上貫通開設有第一通孔，所述交接軸（32）與所述第一通孔的側壁之間設置有導套（34），所述交接軸（32）滑動穿設于所述導套（34）中。

5.根據權利要求1所述的微動臺，其特征在于，所述交接軸（32）設置有通氣孔道（321），所述交接軸（32）的頂端設置有吸嘴（322），所述交接軸（32）的側壁安裝有連接管路（323），所述通氣孔道（321）一端連接所述吸嘴（322），另一端連通所述連接管路（323）。

6.根據權利要求1-5任一項所述的微動臺，其特征在于，所述固定臺（13）上環設有多組所述基底交接裝置（3）。

7.根據權利要求1-5任一項所述的微動臺，其特征在于，所述基底交接裝置（3）還包括驅動件（36），所述頂桿（35）設置于所述驅動件（36）的驅動部上，所述驅動件（36）的固定部固定于所述基臺（11）上，所述驅動件（36）能夠驅動所述頂桿（35）在第一位置和第二位置間切換，所述第一位置為所述頂桿（35）能夠頂動所述交接軸（32）的位置，所述第二位置為所述頂桿（35）避讓所述交接軸（32）的位置。

8.根據權利要求7所述的微動臺，其特征在于，所述驅動件（36）為伸縮氣缸，所述頂桿（35）固定于所述伸縮氣缸的氣缸桿上，所述伸縮氣缸驅動所述頂桿（35）在所述第一位置和所述第二位置間直線運動；或

所述驅動件（36）為旋轉電機，所述頂桿（35）固定于所述旋轉電機的驅動軸上，所述旋轉電機驅動所述頂桿（35）在所述第一位置和所述第二位置間旋轉切換。

9.根據權利要求1-5任一項所述的微動臺，其特征在于，所述固定臺（13）和所述基臺（11）二者中的一個設置有導軌（131），另一個設置有導桿（111），所述導桿（111）滑動設置于所述導軌（131）內，所述導軌（131）和所述導桿（111）至少為三組。

10.根據權利要求1-5任一項所述的微動臺，其特征在于，所述吸盤組件（2）還包括旋轉驅動部件（22），所述旋轉驅動部件（22）設置于所述吸盤（21）與所述固定臺（13）之間，所述旋轉驅動部件（22）被配置為驅動所述吸盤（21）轉動。