[發明專利]一種液態金屬靶極紫外光源系統

在審

• 申請號: 202110304050.9
• 申請日: 2021-03-22
• 公開（公告）號: CN112835274A
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 芶富均;陳波;陳建軍
• 申請（專利權）人: 芶富均
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 成都春夏知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 51317
• 代理人: 夏琴

1.一種液態金屬靶極紫外光源系統， 其特征在于，包括：等離子體源（1）、真空腔室（2）、液態金屬靶（20）、激光器（11）和真空泵（16），所述液態金屬靶（20）從頂部插入真空腔室（2）內部，所述液態金屬靶（20）內部盛裝有液態金屬（6），所述真空腔室（2）底部與等離子體源（1）連接，所述等離子體源（1）具有進氣口（101）、放電區（102）和噴口（103），所述噴口（103）與真空腔室（2）連通，所述噴口（103）與液態金屬靶（20）位置相對應，工作時所述液態金屬靶（20）底部產生等離子蒸汽云團（3），所述等離子體源（1）通過等離子體電源（10）進行供電，所述真空腔室（2）外側具有輸入口（12）和引出口（8），所述輸入口（12）處設置有激光器（11），所述激光器（11）產生的激光束（5）通過輸入口（12）進入真空腔室（2）并轟擊等離子蒸汽云團（3），所述引出口（8）供極紫引光光路（7）通過，所述真空腔室（2）外側連通有真空泵（16），所述等離子體源（1）和真空腔室（2）下部區域外側設置有磁場線圈（9），所述磁場線圈（9）通過線圈電源（14）供電。

2.根據權利要求1所述的一種液態金屬靶極紫外光源系統，其特征在于，所述液態金屬靶（20）頂部設置有儲存罐（19），所述儲存罐（19）內儲存有液態金屬（6）。

3.根據權利要求2所述的一種液態金屬靶極紫外光源系統，其特征在于，所述儲存罐（19）外部設置有加熱器（18）。

4.根據權利要求1所述的一種液態金屬靶極紫外光源系統，其特征在于，所述液態金屬靶（20）底部設置有蒸發器（4）。

5.根據權利要求1所述的一種液態金屬靶極紫外光源系統，其特征在于，所述液態金屬靶（20）位于真空腔室（2）內部一段的外側設置有第一加熱絲（13）。

6.根據權利要求1所述的一種液態金屬靶極紫外光源系統，其特征在于，所述液態金屬靶（20）位于真空腔室（2）外部一段的外側設置有第二加熱絲（17）。

7.根據權利要求1所述的一種液態金屬靶極紫外光源系統，其特征在于，所述真空腔室（2）外部設有接地端（15）。

8.根據權利要求3所述的一種液態金屬靶極紫外光源系統，其特征在于，所述加熱器（18）外部設置有保溫層。

9.根據權利要求6所述的一種液態金屬靶極紫外光源系統，其特征在于，所述第二加熱絲（17）外設有保溫層。