[發(fā)明專利]一種高精度棱鏡自動排片機

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• 申請日: 2021-03-22
• 公開（公告）號: CN113071909A
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發(fā)明（設計）人: 吳繁;孫會東
• 申請（專利權）人: 科爾迅智能科技（深圳）有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90
• 代理公司: 深圳市蘭鋒盛世知識產權代理有限公司 44504
• 代理人: 羅炳鋒

本發(fā)明公開了一種高精度棱鏡自動排片機，其中：取片視覺裝置用于獲取WAFER載臺機構上的棱鏡片位姿，取放片裝置根據取片視覺裝置采集的棱鏡片位姿而修正取料角度和位置；取放片裝置用于平移至WAFER載臺機構的上方對棱鏡片進行取料，待取料完成后，再平移至載臺機構上方進行放料；放片視覺裝置用于獲取載臺機構上的排片位置，取放片裝置根據放片視覺裝置采集的信息將棱鏡片放置于排片位置；倒置飛拍視覺裝置用于當取放片裝置經過其上方時獲取取放片裝置所拾取棱鏡片的位姿，取放片裝置根據倒置飛拍視覺裝置采集的棱鏡片位姿而修正取料角度和位置。本發(fā)明可自動取放棱鏡，同時能夠根據棱鏡位置、角度自動靈活地調節(jié)取放料姿態(tài)，進而實現高精度排片。

技術領域

本發(fā)明涉及棱鏡排片設備，尤其涉及一種高精度棱鏡自動排片機。

背景技術

棱鏡排片機是用于從wafer盤上吸取棱鏡，然后將其按預設要求移栽排列于薄膜上，為包裝或者后期工序作準備的自動化取放料設備。然而現有的棱鏡排片機只具有取放料的功能，因缺少棱鏡角度、位置的監(jiān)測，所以很難實現高精度排片，無法滿足生產要求。

發(fā)明內容

本發(fā)明要解決的技術問題在于，針對現有技術的不足，提供一種可自動取放棱鏡，同時能夠根據棱鏡位置、角度自動靈活地調節(jié)取放料姿態(tài)，進而實現高精度排片的高精度棱鏡自動排片機。

為解決上述技術問題，本發(fā)明采用如下技術方案。

一種高精度棱鏡自動排片機，其包括有機臺，所述機臺上設有WAFER載臺機構、倒置飛拍視覺裝置、載臺機構和龍門架，所述龍門架上設有取片視覺裝置、放片視覺裝置和取放片裝置，其中：所述WAFER載臺機構用于裝夾載有多個棱鏡片的薄膜；所述取片視覺裝置設于所述WAFER載臺機構上方，所述取片視覺裝置用于獲取所述WAFER載臺機構上的棱鏡片位姿，所述取放片裝置根據所述取片視覺裝置采集的棱鏡片位姿而修正取料角度和位置；所述取放片裝置用于平移至所述WAFER載臺機構的上方對所述棱鏡片進行取料，待取料完成后，再平移至所述載臺機構上方進行放料；所述放片視覺裝置設于所述載臺機構上方，所述放片視覺裝置用于獲取所述載臺機構上的排片位置，所述取放片裝置根據所述放片視覺裝置采集的信息將所述棱鏡片放置于所述排片位置；所述倒置飛拍視覺裝置位于所述WAFER載臺機構和所述載臺機構之間，所述倒置飛拍視覺裝置用于當所述取放片裝置經過其上方時獲取所述取放片裝置所拾取棱鏡片的位姿，所述取放片裝置根據所述倒置飛拍視覺裝置采集的棱鏡片位姿而修正取料角度和位置。

優(yōu)選地，所述棱鏡片的位姿包括有棱鏡片角度和棱鏡片位置。

優(yōu)選地，所述WAFER載臺機構包括有絲桿直線模組和平移載臺，所述絲桿直線模組安裝于所述機臺上，所述平移載臺安裝于所述絲桿直線模組的驅動端，且由所述絲桿直線模組驅使所述平移載臺平移，所述平移載臺上設有用于裝夾薄膜的薄膜治具、用于驅使所述薄膜治具運動擴膜的擴膜驅動電機和用于驅使所述薄膜治具旋轉的旋轉驅動電機。

優(yōu)選地，所述機臺上設有頂針裝置，所述頂針裝置位于所述薄膜治具的下方，所述頂針裝置用于當所述取放片裝置從所述WAFER載臺機構拾取所述棱鏡片時吸附所述薄膜，以令所述棱鏡片與所述薄膜剝離。

優(yōu)選地，所述頂針裝置包括有可橫向、縱向移動的交叉滑座，所述交叉滑座上設有升降頂針以及用于驅使所述升降頂針上升或者下降的升降驅動機構。

優(yōu)選地，所述機臺為大理石機臺，所述龍門架為大理石龍門架。

優(yōu)選地，所述取放片裝置包括有X軸平移模組、Z軸平移模組、旋轉運動模組和取料吸頭，所述取料吸頭設于所述旋轉運動模組的運動端，所述旋轉運動模組設于所述Z軸平移模組的升降端，所述Z軸平移模組設于所述X軸平移模組的平移端，所述X軸平移模組安裝于所述龍門架上。