[發(fā)明專利]一種元件清潔裝置及方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110299511.8
• 申請(qǐng)日: 2021-03-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112676262A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙燁梁;胡曉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海高等研究院
• 主分類號(hào): B08B5/02
• 分類號(hào): B08B5/02;B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 鄧琪;熊俊杰

1.一種元件清潔裝置，位于超凈間內(nèi)，其特征在于，包括：

高壓噴射組件，位于所述超凈間的回風(fēng)地板的上方，包括相互連通的離子風(fēng)槍和高壓氣瓶；

風(fēng)道，其具有風(fēng)道入口和風(fēng)道出口，所述風(fēng)道入口與所述離子風(fēng)槍位于同一水平面且共軸相向設(shè)置，所述風(fēng)道出口位于所述回風(fēng)地板的下方；所述風(fēng)道包括相互連通的水平段和豎直段；所述風(fēng)道入口位于水平段上，所述風(fēng)道出口位于所述豎直段上；所述風(fēng)道入口處還安裝有阻流板，所述阻流板包括插入所述風(fēng)道入口的軸頸部和直徑漸擴(kuò)的喇叭口；

至少一個(gè)微粒計(jì)數(shù)器，位于所述風(fēng)道內(nèi)；

抽氣過(guò)濾組件，包括位于所述風(fēng)道出口下方的過(guò)濾風(fēng)機(jī)箱體，所述過(guò)濾風(fēng)機(jī)箱體具有入風(fēng)口和出風(fēng)口，所述入風(fēng)口與所述風(fēng)道出口連通，所述出風(fēng)口則通向所述回風(fēng)地板的下方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件清潔裝置，其特征在于，所述過(guò)濾風(fēng)機(jī)箱體內(nèi)具有至少一組上下設(shè)置的出氣風(fēng)扇和過(guò)濾器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件清潔裝置，其特征在于，所述水平段和豎直段的連接處的內(nèi)壁具有呈彎弧狀的導(dǎo)流板。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的元件清潔裝置，其特征在于，所述風(fēng)道的水平段的內(nèi)壁上依次設(shè)置有靜電中和器和粘塵貼。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的元件清潔裝置，其特征在于，在所述靜電中和器與所述風(fēng)道入口之間、所述風(fēng)道的豎直段的上端和下端分別安裝有所述微粒計(jì)數(shù)器。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的元件清潔裝置，其特征在于，在所述風(fēng)道外側(cè)還安裝有氣管，該氣管與一前級(jí)泵連通，所述氣管分別與所述微粒計(jì)數(shù)器的出口連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的元件清潔裝置，其特征在于，所述高壓噴射組件還包括移動(dòng)支架、高壓發(fā)生器和位置感應(yīng)器，所述移動(dòng)支架設(shè)置在所述回風(fēng)地板上，所述離子風(fēng)槍固定在所述移動(dòng)支架上，所述高壓發(fā)生器與所述離子風(fēng)槍電連接，所述位置感應(yīng)器固定于所述離子風(fēng)槍上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的元件清潔裝置，其特征在于，還包括控制器，其分別與所述微粒計(jì)數(shù)器、所述前級(jí)泵、所述高壓發(fā)生器和所述位置感應(yīng)器電連接。

9.一種元件清潔方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟S1：搭建一種如權(quán)利要求8中所述的元件清潔裝置，通過(guò)移動(dòng)支架使離子風(fēng)槍與風(fēng)道入口在同一水平面且距離小于等于30cm，并使離子風(fēng)槍的噴口正對(duì)風(fēng)道入口；

步驟S2：根據(jù)待清潔元件的結(jié)構(gòu)，設(shè)置離子風(fēng)槍的噴出氮?dú)獾娘L(fēng)壓和風(fēng)量，并設(shè)置位置感應(yīng)器的感應(yīng)距離范圍；

步驟S3：在控制器中設(shè)置各個(gè)微粒計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)閾值；

步驟S4：將待清潔元件置于離子風(fēng)槍與風(fēng)道入口之間且位于步驟S2中設(shè)置的感應(yīng)距離范圍內(nèi)，控制器控制離子風(fēng)槍自動(dòng)開(kāi)始噴出高壓氮?dú)猓{(diào)整待清潔元件的位置以使得其外表面得到充分清潔；

步驟S5：當(dāng)各個(gè)微粒計(jì)數(shù)器均達(dá)到閾值后，控制器控制離子風(fēng)槍停止噴氣；

步驟S6：將清潔后的元件進(jìn)行裝配或暫存于潔凈位置。