[發明專利]控制系統、控制方法以及基板處理裝置

在審

• 申請號: 202110297921.9
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN113448889A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 高橋秀樹;小泉真;富田尚宏;加茂信一;女部田雄總;小川純一
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G06F13/10
• 分類號: G06F13/10;H01L21/67
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

本發明提供一種控制系統、控制方法以及基板處理裝置，能夠恰當地對裝置進行操作。控制對基板進行處理的基板處理裝置的控制系統具有：第一終端和第二終端，所述第一終端和所述第二終端配置于與所述基板處理裝置相同的場所，從用戶處接受針對所述基板處理裝置進行的控制的指示；第三終端，其配置于與所述基板處理裝置不同的場所，從用戶處接受針對所述基板處理裝置進行的控制的指示；以及控制裝置，其在探測到所述基板處理裝置的異常的情況下，將所述第三終端對所述基板處理裝置進行的控制設為無效。

技術領域

本公開涉及一種控制系統、控制方法以及基板處理裝置。

背景技術

在專利文獻1中公開了一種設定為半導體制造裝置接受對半導體制造裝置進行操作控制的多個終端中的發送了排他請求的僅一個終端的操作控制的專有狀態的系統。根據專利文獻1，能夠減少操作者在操作上的混亂。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2003-037048號公報

發明內容

發明要解決的問題

本公開提供一種能夠恰當地進行針對裝置的操作的技術。

用于解決問題的方案

本公開的一個方式的控制系統是控制對基板進行處理的基板處理裝置的控制系統，所述控制系統具有：第一終端和第二終端，所述第一終端和所述第二終端配置于與所述基板處理裝置相同的場所，從用戶處接受對所述基板處理裝置進行的控制的指示；第三終端，其配置于與所述基板處理裝置不同的場所，從用戶處接受對所述基板處理裝置進行的控制的指示；以及控制裝置，其在探測到所述基板處理裝置的異常的情況下，使所述第三終端對所述基板處理裝置的控制設為無效。

發明的效果

根據本公開，能夠恰當地對裝置進行操作。

附圖說明

圖1是表示實施方式所涉及的控制系統的結構例的圖。

圖2A是表示實施方式所涉及的控制裝置的硬件結構例的圖。

圖2B是表示實施方式所涉及的基板處理裝置的一例的圖。

圖3是表示實施方式所涉及的控制裝置的功能結構的一例的圖。

圖4是表示實施方式所涉及的控制系統的處理的一例的序列圖。

圖5A是說明實施方式所涉及的主終端、子終端以及遠程終端的顯示畫面的一例的圖。

圖5B是說明實施方式所涉及的手持終端的顯示畫面的一例的圖。

附圖標記說明

1：控制系統；10A：主終端；10B：子終端；10C：手持終端；10D：遠程終端；20：控制裝置；21：異常探測部；22：異常時切換部；23：接受部；24：切換部；25：控制部；30：基板處理裝置；31：傳遞模塊；32：加載互鎖真空模塊；33A：工藝模塊；33B：工藝模塊；33C：工藝模塊；40A：第一開關；40B：第二開關；40C：第三開關；301A：端口；301B：端口；301C：端口；301D：端口。

具體實施方式

下面，參照附圖來說明本公開的實施方式。此外，在本說明書和附圖中，有時通過對實質上相同的構成要素標注相同的標記來省略重復的說明。

系統結構

圖1是表示實施方式所涉及的控制系統1的結構例的圖。根據實施方式所涉及的控制系統1，能夠恰當地對裝置進行操作。下面，說明控制系統1控制基板處理裝置的例子，該基板處理裝置對平板顯示器(Flat Panel Display：FPD)用的基板進行處理。此外，公開的控制系統1能夠控制各種裝置。