[發(fā)明專利]控制系統(tǒng)、控制方法以及基板處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110297921.9
• 申請(qǐng)日: 2021-03-19
• 公開（公告）號(hào): CN113448889A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高橋秀樹;小泉真;富田尚宏;加茂信一;女部田雄總;小川純一
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G06F13/10
• 分類號(hào): G06F13/10;H01L21/67
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種控制系統(tǒng)，控制對(duì)基板進(jìn)行處理的基板處理裝置，所述控制系統(tǒng)具有：

第一終端和第二終端，所述第一終端和所述第二終端配置于與所述基板處理裝置相同的場(chǎng)所，從用戶處接受對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制的指示；

第三終端，其配置于與所述基板處理裝置不同的場(chǎng)所，從用戶處接受對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制的指示；以及

控制裝置，其在探測(cè)到所述基板處理裝置的異常的情況下，將所述第三終端對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為無(wú)效。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，

所述控制裝置在探測(cè)到所述基板處理裝置的異常的情況下，將所述第一終端和所述第二終端中的任一方對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為有效。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，

所述控制裝置使所述第三終端顯示表示所述第一終端和所述第二終端中的至少一方對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制的結(jié)果的信息。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，還具有：

第一開關(guān)，其用于將所述第二終端和所述第三終端對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為無(wú)效；以及

第二開關(guān)，其用于將所述第一終端和所述第三終端對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為無(wú)效，

在所述第一開關(guān)先于所述第二開關(guān)被進(jìn)行了操作的情況下，所述控制裝置將所述第一終端對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為有效并將所述第二終端對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為無(wú)效，并在所述第二開關(guān)被進(jìn)行了操作時(shí)向用戶通知表示所述第一開關(guān)已先被進(jìn)行了操作的信息。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，還具有：

第三開關(guān)，其用于將所述第一終端和所述第二終端對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為無(wú)效；以及

通知裝置，其與所述第三開關(guān)進(jìn)行了對(duì)應(yīng)，

所述控制裝置在探測(cè)到所述基板處理裝置的異常的情況下，將所述第三開關(guān)的操作設(shè)為無(wú)效，在所述基板處理裝置的異常恢復(fù)了的情況下，通過(guò)所述通知裝置向用戶通知所述第三開關(guān)的操作變成有效。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，

在所述基板處理裝置的異常恢復(fù)了的情況下，所述控制裝置通過(guò)所述通知裝置向用戶通知所述第三開關(guān)的操作變成有效，在所述第三開關(guān)被用戶進(jìn)行了操作的情況下，所述控制裝置使所述通知裝置停止進(jìn)行通知。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，

所述控制系統(tǒng)還具有第四終端，所述第四終端通過(guò)有線和近距離無(wú)線中的至少一方來(lái)與所述基板處理裝置連接，用于從用戶處接受對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制的指示，

在所述第四終端與在所述基板處理裝置所包括的第一腔室的外側(cè)設(shè)置的第一端口連接的情況下，所述控制裝置針對(duì)所述基板處理裝置的各部中的與所述第一端口相應(yīng)的各部?jī)H將所述第四終端的控制設(shè)為有效，

在所述第四終端與在所述基板處理裝置所包括的第二腔室的外側(cè)設(shè)置的第二端口連接的情況下，所述控制裝置針對(duì)所述基板處理裝置的各部中的與所述第二端口相應(yīng)的各部?jī)H將所述第四終端的控制設(shè)為有效。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的控制系統(tǒng)，其特征在于，

在所述第四終端與所述第一端口連接的情況下，所述控制裝置使所述第一終端、所述第二終端以及所述第三終端顯示表示所述基板處理裝置的各部中的被設(shè)為僅所述第四終端的控制有效的、與所述第一端口相應(yīng)的各部的信息。

9.一種控制方法，是控制系統(tǒng)的控制方法，所述控制系統(tǒng)基于從配置于與對(duì)基板進(jìn)行處理的基板處理裝置相同的場(chǎng)所并從用戶處接受對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制的指示的第一終端和第二終端、以及配置于與所述基板處理裝置不同的場(chǎng)所并從用戶處接受對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制的指示的第三終端中的任一方輸入的信息，來(lái)控制所述基板處理裝置，在所述控制方法中，

所述控制系統(tǒng)在探測(cè)到所述基板處理裝置的異常的情況下，將所述第三終端對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為無(wú)效。

10.一種基板處理裝置，對(duì)基板進(jìn)行處理，

基于從配置于與所述基板處理裝置相同的場(chǎng)所并從用戶處接受對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制的指示的第一終端和第二終端、以及配置于與所述基板處理裝置不同的場(chǎng)所并從用戶處接受對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制的指示的第三終端中的任一方輸入的信息來(lái)控制所述基板處理裝置的各部，

在探測(cè)到所述基板處理裝置的異常的情況下，將所述第三終端對(duì)所述基板處理裝置進(jìn)行的控制設(shè)為無(wú)效。