[發(fā)明專利]高能脈沖電弧蒸發(fā)源

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110296512.7
• 申請(qǐng)日: 2021-03-19
• 公開（公告）號(hào): CN113186499A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王叔暉;沈平;孟慶學(xué)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 法德（浙江）機(jī)械科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/32
• 分類號(hào): C23C14/32;C23C14/50
• 代理公司: 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 郭曼

1.高能脈沖電弧蒸發(fā)源，包括箱體(1)，其特征在于：所述箱體(1)的前部活動(dòng)鉸接有門體(11)，所述箱體(1)與閉合狀態(tài)的門體(11)構(gòu)成六棱柱結(jié)構(gòu)，且所述箱體(1)的內(nèi)側(cè)壁和門體(11)的背面安裝有若干電弧離子鍍裝置(2)，所述箱體(1)的內(nèi)底壁安裝有轉(zhuǎn)盤(4)；

所述轉(zhuǎn)盤(4)包括外盤(41)和放置盤(42)，所述外盤(41)呈圓盤狀并活動(dòng)套接在箱體(1)的頂部，所述外盤(41)的上表面開設(shè)有圓形凹槽(411)，所述圓形凹槽(411)的內(nèi)底壁中心處轉(zhuǎn)動(dòng)連接有主動(dòng)齒輪(421)，所述主動(dòng)齒輪(421)的底面固定連接有貫穿外盤(41)底壁的轉(zhuǎn)動(dòng)管(426)，所述圓形凹槽(411)的內(nèi)周側(cè)面固定連接有齒圈(422)，所述主動(dòng)齒輪(421)與齒圈(422)之間設(shè)置有若干呈環(huán)形陣列分布的從動(dòng)齒輪(423)，若干所述從動(dòng)齒輪(423)分別與主動(dòng)齒輪(421)和齒圈(422)嚙合，所述放置盤(42)固定安裝在從動(dòng)齒輪(423)的頂部；

所述箱體(1)的內(nèi)底壁中心處固嵌有固定管(12)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)管(426)活動(dòng)套接在固定管(12)內(nèi)部，所述固定管(12)的內(nèi)周側(cè)面上開設(shè)有弧形槽(121)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)管(426)的外周側(cè)面且靠近轉(zhuǎn)動(dòng)管(426)的底部固定連接有滑塊(4261)，所述滑塊(4261)滑動(dòng)連接在弧形槽(121)內(nèi)部，所述轉(zhuǎn)動(dòng)管(426)的底面中心處開設(shè)有矩形槽，所述箱體(1)的底面栓接有的電機(jī)(5)，且所述電機(jī)(5)的頂部輸出端固定連接有轉(zhuǎn)軸(51)，所述轉(zhuǎn)軸(51)活動(dòng)套接在矩形槽內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高能脈沖電弧蒸發(fā)源，其特征在于，所述箱體(1)的內(nèi)側(cè)壁和門體(11)的背面還安裝有若干加熱塊(3)，所述加熱塊(3)與電弧離子鍍裝置(2)電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高能脈沖電弧蒸發(fā)源，其特征在于，若干所述加熱塊(3)之間電性連接，若干所述電弧離子鍍裝置(2)之間電性配合并且相互獨(dú)立工作。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高能脈沖電弧蒸發(fā)源，其特征在于，所述電弧離子鍍裝置(2)包括靶座(21)和引弧針(22)，若干所述靶座(21)和引弧針(22)均固嵌在箱體(1)的內(nèi)側(cè)壁和門體(11)的背面，所述引弧針(22)位于靶座(21)的頂部，所述靶座(21)的中心處固定安裝有靶材(211)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高能脈沖電弧蒸發(fā)源，其特征在于，所述外盤(41)的頂部栓接有隔離架(6)，所述隔離架(6)與箱體(1)相適配。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高能脈沖電弧蒸發(fā)源，其特征在于，所述放置盤(42)的周側(cè)面設(shè)置有封裝板(424)，所述放置盤(42)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在封裝板(424)的中心處。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高能脈沖電弧蒸發(fā)源，其特征在于，所述弧形槽(121)的頂部固定連接有內(nèi)盤(425)，所述封裝板(424)滑動(dòng)連接在外盤(41)與內(nèi)盤(425)所形成的環(huán)形槽內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的高能脈沖電弧蒸發(fā)源，其特征在于，所述箱體(1)的內(nèi)底壁且位于固定管(12)的兩側(cè)開設(shè)有插孔(13)，所述外盤(41)的底面固定安裝有兩個(gè)導(dǎo)向桿(412)，所述導(dǎo)向桿(412)活動(dòng)套接在插孔(13)內(nèi)。