[發明專利]量子級聯激光器

在審

• 申請號: 202110295403.3
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN113451886A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 橋本順一
• 申請（專利權）人: 住友電氣工業株式會社
• 主分類號: H01S5/34
• 分類號: H01S5/34;H01S5/227;H01S5/042
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 趙晶;李范烈

一種量子級聯激光器，具備：包含第一芯層的第一臺面波導；包含第二芯層的第二臺面波導；與第一臺面波導電連接的第一電極；與第二臺面波導電連接的第二電極；及將第一臺面波導及第二臺面波導埋入的電流阻擋區域。第一臺面波導及第二臺面波導沿第一方向延伸，并在與第一方向交叉的第二方向上相互分離。電流阻擋區域具有配置在第一臺面波導與第二臺面波導之間的第一部分和設置在第一部分上的第二部分。第一電極及第二電極分別具有在第二方向上彼此相對的端部。第二部分以超出基準面的方式突出，所述基準面包含第一電極的端部的表面且在第一方向及第二方向上延伸。

技術領域

本公開涉及量子級聯激光器。

背景技術

專利文獻1公開了具有相互分離地配置的多個臺面波導的量子級聯激光器。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特表2010-514163號公報

發明要解決的課題

在量子級聯激光器的陣列中，在相互分離配置的多個臺面波導的各頂面連接電極。相鄰的電極間的距離通常與相鄰的臺面波導間的距離相同。因此，如果臺面波導間的距離縮短，則電極間的距離也縮短。其結果是，可能在相鄰的電極間產生放電。

發明內容

本公開提供一種能夠降低在相鄰的電極間產生放電的可能性的量子級聯激光器。

用于解決課題的方案

本公開的一方面的量子級聯激光器具備：第一臺面波導，設置在基板上，包含第一芯層；第二臺面波導，設置在所述基板上，包含第二芯層；第一電極，與所述第一臺面波導電連接；第二電極，與所述第二臺面波導電連接；及電流阻擋區域，設置在所述基板上，將所述第一臺面波導及所述第二臺面波導埋入，所述第一臺面波導及所述第二臺面波導沿第一方向延伸，并在與所述第一方向交叉的第二方向上相互分離，所述電流阻擋區域具有：第一部分，配置在所述第一臺面波導與所述第二臺面波導之間；及第二部分，設置在所述第一部分上，所述第一電極及所述第二電極分別具有在所述第二方向上彼此相對的端部，所述第二部分以超出基準面的方式突出，所述基準面包含所述第一電極的所述端部的表面且在所述第一方向及所述第二方向上延伸。

發明效果

根據本公開，能夠提供可減少在相鄰的電極間產生放電的可能性的量子級聯激光器。

附圖說明

圖1是示意性地表示一實施方式的量子級聯激光器的俯視圖。

圖2是圖1的沿II-II線的剖視圖。

圖3是圖1的沿III-III線的剖視圖。

圖4是示意性地表示另一實施方式的量子級聯激光器的剖視圖。

圖5是示意性地表示另一實施方式的量子級聯激光器的剖視圖。

圖6是示意性地表示另一實施方式的量子級聯激光器的剖視圖。

圖7是示意性地表示另一實施方式的量子級聯激光器的剖視圖。

圖8是示意性地表示另一實施方式的量子級聯激光器的剖視圖。

圖9是示意性地表示另一實施方式的量子級聯激光器的剖視圖。

圖10的(a)、(b)及(c)是表示圖2的量子級聯激光器的制造方法中的各工序的圖。

圖11的(a)、(b)及(c)是表示圖2的量子級聯激光器的制造方法中的各工序的圖。

具體實施方式

[本公開的實施方式的說明]