[發明專利]量子級聯激光器

在審

• 申請號: 202110295403.3
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN113451886A
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: 橋本順一
• 申請（專利權）人: 住友電氣工業株式會社
• 主分類號: H01S5/34
• 分類號: H01S5/34;H01S5/227;H01S5/042
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 趙晶;李范烈

1.一種量子級聯激光器，具備：

第一臺面波導，設置在基板上，包含第一芯層；

第二臺面波導，設置在所述基板上，包含第二芯層；

第一電極，與所述第一臺面波導電連接；

第二電極，與所述第二臺面波導電連接；及

電流阻擋區域，設置在所述基板上，將所述第一臺面波導及所述第二臺面波導埋入，

所述第一臺面波導及所述第二臺面波導沿第一方向延伸，并在與所述第一方向交叉的第二方向上相互分離，

所述電流阻擋區域具有：第一部分，配置在所述第一臺面波導與所述第二臺面波導之間；及第二部分，設置在所述第一部分上，

所述第一電極及所述第二電極分別具有在所述第二方向上彼此相對的端部，

所述第二部分以超出基準面的方式突出，所述基準面包含所述第一電極的所述端部的表面且在所述第一方向及所述第二方向上延伸。

2.根據權利要求1所述的量子級聯激光器，其中，

所述量子級聯激光器還具備將所述第二部分覆蓋的絕緣層。

3.根據權利要求1或2所述的量子級聯激光器，其中，

所述電流阻擋區域具有第三部分、設置在所述第三部分上的第四部分、第五部分、及設置在所述第五部分上的第六部分，

所述第一臺面波導配置在所述第一部分與所述第三部分之間，

所述第二臺面波導配置在所述第一部分與所述第五部分之間，

所述第四部分及所述第六部分以超出所述基準面的方式突出。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的量子級聯激光器，其中，

所述第一臺面波導具有第一側面及第二側面，

所述第二臺面波導具有第三側面及第四側面，

所述第一側面、所述第二側面、所述第三側面及所述第四側面沿所述第一方向延伸，

所述第二側面與所述第三側面相對，

所述第二部分在所述第二方向上從所述第二側面朝向所述第一側面延伸，并從所述第三側面朝向所述第四側面延伸。

5.根據權利要求1～4中任一項所述的量子級聯激光器，其中，

所述量子級聯激光器還具備：

第一接觸層，與所述第一臺面波導的頂面及所述第一電極電連接；及

第二接觸層，與所述第二臺面波導的頂面及所述第二電極電連接，

所述第一臺面波導具有第一側面及第二側面，

所述第二臺面波導具有第三側面及第四側面，

所述第一側面、所述第二側面、所述第三側面及所述第四側面沿所述第一方向延伸，

所述第二側面與所述第三側面相對，

所述第一接觸層在所述第二方向上延伸至相對于所述第一側面與所述第二側面相反的一側的位置，

所述第二接觸層在所述第二方向上延伸至相對于所述第四側面與所述第三側面相反的一側的位置。

6.根據權利要求5所述的量子級聯激光器，其中，

所述量子級聯激光器還具備：

第一覆蓋層，配置在所述第一臺面波導的所述頂面與所述第一接觸層之間；及

第二覆蓋層，配置在所述第二臺面波導的所述頂面與所述第二接觸層之間，

所述第一覆蓋層在所述第二方向上延伸至相對于所述第一側面與所述第二側面相反的一側的位置，

所述第二覆蓋層在所述第二方向上延伸至相對于所述第四側面與所述第三側面相反的一側的位置。

7.根據權利要求1～6中任一項所述的量子級聯激光器，其中，

所述第一臺面波導與所述第二臺面波導之間的距離為30μm以下。

8.根據權利要求5所述的量子級聯激光器，其中，

所述量子級聯激光器具有沿所述第一方向延伸的第五側面及第六側面，

所述第一接觸層在所述第二方向上從所述第二側面延伸至所述第五側面與所述第一側面之間的位置，

所述第二接觸層在所述第二方向上從所述第三側面延伸至所述第六側面與所述第四側面之間的位置。

9.根據權利要求6所述的量子級聯激光器，其中，

所述量子級聯激光器具有沿所述第一方向延伸的第五側面及第六側面，

所述第一覆蓋層在所述第二方向上從所述第二側面延伸至所述第五側面與所述第一側面之間的位置，

所述第二覆蓋層在所述第二方向上從所述第三側面延伸至所述第六側面與所述第四側面之間的位置。