[發明專利]一種光學系統倍率色差的測量方法

在審

• 申請號: 202110294199.3
• 申請日: 2021-03-19
• 公開（公告）號: CN112985780A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 張齊元;朱大勇;韓森;朱懷康;王浩宇
• 申請（專利權）人: 蘇州維納儀器有限責任公司
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 上海德昭知識產權代理有限公司 31204
• 代理人: 郁旦蓉

本發明提供了一種光學系統倍率色差的測量方法，屬于光學檢測技術領域，用于檢測待測光學系統的倍率色差，其特征在于，包括以下步驟：步驟S1，使用4種波長分別為λ₁～λ₄的平行光分別測量待測光學系統在一定角度的視場下的成像位置；步驟S2，將視場的4個成像點位置分別代入公式：中，計算得到A_i、B_i、C_i以及D_i的數值，i為視場；步驟S3，改變平行光的入射角度，選取n個不同角度的視場，重復步驟S1～步驟S2，計算4種波長為λ₁～λ₄的平行光在n個視場下的成像位置；步驟S4，選取倍率色差對應的波長λ_m以及波長λ_n，將步驟S3得到的n組A_i、B_i、C_i和D_i帶入公式(1)，計算以及

技術領域

本發明屬于光學檢測技術領域，具體涉及一種光學系統倍率色差的測量方法。

背景技術

透射式光學系統由于材料的色散特性使其自身具有色差，色差分為位置色差和倍率色差兩種。對于工作在寬波段的光學系統來來說，色差是影響其成像質量的重要因素，因此檢測光學系統色差對于評估實際系統的性能非常重要。傳統的色差評價是通過測量幾個波長的相關光學參數進行對比，如測量位置色差時，通過測量不同波長的焦點位置得到位置色差。由于光源的限制，常規的方法得到的結果僅僅是幾個測量波長之間的色差，不能全面的評價系統性能。

專利201910728724.0提出了利用后截距與波長的函數關系，通過幾個波長的后截距數據計算出一定范圍內連續波長的位置色差，即只需要測量幾個波長的焦點位置就能得到系統在較大波段范圍內的位置色差，但該專利僅能夠解決位置色差的測量，并且位置色差僅是軸上像差，而倍率色差不僅與波長有關，還受到系統視場的影響。

在一些重要應用中，如星敏感器的倍率色差對于實際使用中的影響非常大，專利201510508308.1和202010404600.X為了解決星敏感器倍率色差的測量問題，提供了相關倍率色差的測量方案，但其結果也僅為幾個特定波長之間的倍率色差，而無法做到測量連續視場以及測試波長以外的倍率色差，這會導致對評價光學系統的性能的不全面。

發明內容

為解決上述問題，提供一種光學系統倍率色差的測量方法，本發明采用了如下技術方案：

本發明提供了一種光學系統倍率色差的測量方法，用于檢測待測光學系統的倍率色差，其特征在于，包括以下步驟：步驟S1，使用4種波長分別為λ₁～λ₄的平行光分別測量待測光學系統在一定角度的視場下的成像位置；步驟S2，將視場的4個成像點位置代入公式：