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[發(fā)明專利]一種光學(xué)系統(tǒng)倍率色差的測量方法在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 202110294199.3 申請日: 2021-03-19
公開(公告)號: CN112985780A 公開(公告)日: 2021-06-18
發(fā)明(設(shè)計)人: 張齊元;朱大勇;韓森;朱懷康;王浩宇 申請(專利權(quán))人: 蘇州維納儀器有限責(zé)任公司
主分類號: G01M11/02 分類號: G01M11/02
代理公司: 上海德昭知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31204 代理人: 郁旦蓉
地址: 215123 江蘇省蘇州市蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 光學(xué)系統(tǒng) 倍率 色差 測量方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種光學(xué)系統(tǒng)倍率色差的測量方法,用于檢測待測光學(xué)系統(tǒng)的倍率色差,其特征在于,包括以下步驟:

步驟S1,使用4種波長分別為λ1~λ4的平行光分別測量所述待測光學(xué)系統(tǒng)在一定角度的視場下的成像位置;

步驟S2,將所述視場的4個所述成像點位置代入公式:

中,計算得到Ai、Bi、Ci以及Di的數(shù)值,

i為所述視場;

步驟S3,改變所述平行光的所述入射角度,選取n個不同角度的所述視場,重復(fù)步驟S1~步驟S2,計算4種波長為λ1~λ4的所述平行光在n個所述視場下的所述成像位置;

步驟S4,選取所述倍率色差對應(yīng)的波長λm以及波長λn,將步驟S3得到的n組Ai、Bi、Ci和Di帶入公式(1),計算以及即得到波長λm以及波長λn的n個不同的所述視場下的所述成像位置;

步驟S5,分別將不同的所述視場下的him)以及hin)使用多項式公式擬合得到波長λm以及波長λn分別對應(yīng)的視場與成像位置曲線y(λm)以及y(λn);

步驟S6,根據(jù)y(λm)以及y(λn)得到所述待測光學(xué)系統(tǒng)的波長λm以及波長λn的倍率色差曲線LΔnm)=y(tǒng)(λn)-y(λm),即得到波長λm以及波長λn之間的所述倍率色差。

2.一種光學(xué)系統(tǒng)倍率色差的測量方法,用于檢測被測光學(xué)系統(tǒng)的倍率色差,其特征在于,包括以下步驟:

步驟T1,使用4種波長分別為λ1~λ4的平行光分別測量所述待測光學(xué)系統(tǒng)在一定角度的視場下的成像位置;

步驟T2,將所述視場的4個所述成像點位置代入公式:

中,計算得到Ai、Bi、Ci以及Di的數(shù)值,

i為所述視場;

步驟T3,改變所述平行光的所述入射角度,選取n個不同角度下的所述視場,重復(fù)步驟T1~步驟T2,計算4種波長為λ1~λ4的所述平行光在n個所述視場下的所述成像位置;

步驟T4,選取波長范圍λp~λq的指定波長λ0,計算即得到所述指定波長λ0在n個不同的所述視場下的所述成像位置;

步驟T5,分別將步驟T4中得到的不同的所述視場下的hi0)使用所述多項式公式擬合得到視場與成像位置曲線y(λ0);

步驟T6,計算以及得到波長λp以及波長λq分別在n個不同的所述視場下的所述成像位置;

步驟T7,分別將不同的所述視場下的hip)以及hiq)使用所述多項式公式擬合得到波長λp以及波長λq分別對應(yīng)的視場與成像位置曲線y(λp)以及y(λq);

步驟T8,根據(jù)所述待測光學(xué)系統(tǒng)的波長范圍λp~λq與所述指定波長λ0的倍率色差曲線LΔp0)=y(tǒng)(λp)-y(λ0)~LΔq0)=y(tǒng)(λq)-y(λ0),即得到所述波長范圍λp~λq相對于所述指定波長λ0的所述倍率色差。

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