[發(fā)明專利]一種光學(xué)系統(tǒng)倍率色差的測量方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110294199.3 | 申請日: | 2021-03-19 |
| 公開(公告)號: | CN112985780A | 公開(公告)日: | 2021-06-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 張齊元;朱大勇;韓森;朱懷康;王浩宇 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州維納儀器有限責(zé)任公司 |
| 主分類號: | G01M11/02 | 分類號: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 上海德昭知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
| 地址: | 215123 江蘇省蘇州市蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 光學(xué)系統(tǒng) 倍率 色差 測量方法 | ||
1.一種光學(xué)系統(tǒng)倍率色差的測量方法,用于檢測待測光學(xué)系統(tǒng)的倍率色差,其特征在于,包括以下步驟:
步驟S1,使用4種波長分別為λ1~λ4的平行光分別測量所述待測光學(xué)系統(tǒng)在一定角度的視場下的成像位置;
步驟S2,將所述視場的4個所述成像點位置代入公式:
中,計算得到Ai、Bi、Ci以及Di的數(shù)值,
i為所述視場;
步驟S3,改變所述平行光的所述入射角度,選取n個不同角度的所述視場,重復(fù)步驟S1~步驟S2,計算4種波長為λ1~λ4的所述平行光在n個所述視場下的所述成像位置;
步驟S4,選取所述倍率色差對應(yīng)的波長λm以及波長λn,將步驟S3得到的n組Ai、Bi、Ci和Di帶入公式(1),計算以及即得到波長λm以及波長λn的n個不同的所述視場下的所述成像位置;
步驟S5,分別將不同的所述視場下的hi(λm)以及hi(λn)使用多項式公式擬合得到波長λm以及波長λn分別對應(yīng)的視場與成像位置曲線y(λm)以及y(λn);
步驟S6,根據(jù)y(λm)以及y(λn)得到所述待測光學(xué)系統(tǒng)的波長λm以及波長λn的倍率色差曲線LΔ(λn-λm)=y(tǒng)(λn)-y(λm),即得到波長λm以及波長λn之間的所述倍率色差。
2.一種光學(xué)系統(tǒng)倍率色差的測量方法,用于檢測被測光學(xué)系統(tǒng)的倍率色差,其特征在于,包括以下步驟:
步驟T1,使用4種波長分別為λ1~λ4的平行光分別測量所述待測光學(xué)系統(tǒng)在一定角度的視場下的成像位置;
步驟T2,將所述視場的4個所述成像點位置代入公式:
中,計算得到Ai、Bi、Ci以及Di的數(shù)值,
i為所述視場;
步驟T3,改變所述平行光的所述入射角度,選取n個不同角度下的所述視場,重復(fù)步驟T1~步驟T2,計算4種波長為λ1~λ4的所述平行光在n個所述視場下的所述成像位置;
步驟T4,選取波長范圍λp~λq的指定波長λ0,計算即得到所述指定波長λ0在n個不同的所述視場下的所述成像位置;
步驟T5,分別將步驟T4中得到的不同的所述視場下的hi(λ0)使用所述多項式公式擬合得到視場與成像位置曲線y(λ0);
步驟T6,計算以及得到波長λp以及波長λq分別在n個不同的所述視場下的所述成像位置;
步驟T7,分別將不同的所述視場下的hi(λp)以及hi(λq)使用所述多項式公式擬合得到波長λp以及波長λq分別對應(yīng)的視場與成像位置曲線y(λp)以及y(λq);
步驟T8,根據(jù)所述待測光學(xué)系統(tǒng)的波長范圍λp~λq與所述指定波長λ0的倍率色差曲線LΔ(λp-λ0)=y(tǒng)(λp)-y(λ0)~LΔ(λq-λ0)=y(tǒng)(λq)-y(λ0),即得到所述波長范圍λp~λq相對于所述指定波長λ0的所述倍率色差。
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