[發明專利]一種PECVD石墨舟的清洗方法

在審

• 申請號: 202110292928.1
• 申請日: 2021-03-18
• 公開（公告）號: CN113118158A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 張敏;馮曉軍;吳群峰
• 申請（專利權）人: 安徽英發睿能科技股份有限公司
• 主分類號: B08B9/08
• 分類號: B08B9/08;B08B9/093;F26B9/06;F26B21/00
• 代理公司: 安徽韜越知識產權代理事務所(普通合伙) 34197
• 代理人: 范雅茜

本發明涉及石墨舟領域，具體地說，涉及一種PECVD石墨舟的清洗方法。其包括以下步驟：將石墨舟進行拆卸，將拆卸的部件放入清洗槽中，向清洗槽中倒入純水和清洗液，然后放入石墨舟，加入去離子液，用于浸泡石墨舟，并進行鼓泡，將清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加熱烘干，將石墨舟進行組合安裝，該PECVD石墨舟的清洗方法中通過將石墨舟整體進行拆卸后再進行石墨舟的清洗，有利于改善石墨舟的清洗效果，進而提高石墨舟的制程良品率。

技術領域

本發明涉及石墨舟領域，具體地說，涉及一種PECVD石墨舟的清洗方法。

背景技術

石墨舟指的是石墨模具如石墨坩鍋等，可用于澆鑄金條、銀錠等，石墨模具本身是一種載體，可以將需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高溫燒結成型，石墨模具是選用人造石墨經機械加工而成的，PECVD指的是等離子體增強的化學氣相沉積，是制作太陽能電池工序中的一道工序；

當石墨舟使用次數達到一定程度后，表面沉積了很厚的雜質層，影響舟壁與待定型材料的接觸，從而影響燒結成型的質量，因此需要對石墨舟進行清洗，目前采用拆卸石墨舟后進行整體清洗工藝，因對石墨舟整體清洗，清洗效果不高，石墨舟容易因清洗效果不佳而影響石墨舟的制程良品率。

發明內容

本發明的目的在于提供一種PECVD石墨舟的清洗方法，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本發明提供一種PECVD石墨舟的清洗方法，包括以下步驟組成：

S1、將石墨舟進行拆卸，將拆卸的部件放入清洗槽中；

S2、向清洗槽中倒入純水和清洗液，然后放入石墨舟；

S3、加入去離子液，用于浸泡石墨舟，并進行鼓泡；

S4、將清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加熱烘干；

S5、將石墨舟進行組合安裝。

作為本技術方案的進一步改進，所述S1中，對石墨舟片進行拆卸時需要對石墨舟片勻速抬起、取出，以避免石墨舟片因受力不均而產生碎裂造成損失，提高石墨舟的使用效率。

作為本技術方案的進一步改進，所述S1中，放入清洗槽包括以下步驟：

S1.1、打開清洗槽排水閥，待清洗槽內廢酸排盡，用水槍對清洗槽進行沖洗；

S1.2、關上閥門，確保清洗槽內不會泄露；

S1.3、將石墨舟放進清洗槽中，打開進水閥門。

作為本技術方案的進一步改進，所述S2中，往清洗槽里放入純水直到水能夠淹沒石墨舟為止，然后在清洗槽里加入清洗液開始清洗，清洗過程中戴好防酸堿手套，將石墨舟從酸槽中取出查看是否清洗干凈，如果還未洗干凈，再繼續清洗，直到干凈為止，確保石墨舟的清洗效果。

作為本技術方案的進一步改進，所述S2中，清洗液采用濃度為20％～25％的氫氟酸溶液，并且石墨舟要在氫氟酸溶液中浸泡6個小時，確保石墨舟的雜質層被完全酸化進而有利于石墨舟的清洗。

作為本技術方案的進一步改進，所述S3中，將S2中的清洗液抽出，用去離子水對石墨舟進行噴淋，噴淋時間設置為1-10分鐘，再使用去離子水對已進行噴淋的石墨舟進行溢流漂洗2小時，溢流的同時開啟鼓泡，確保石墨舟表面的氫氟酸被完全漂洗干凈。

作為本技術方案的進一步改進，所述S4中，將石墨舟從清洗槽中取出后用氣槍吹掉表面明顯的水珠，便于加快石墨舟的烘干速度。

作為本技術方案的進一步改進，所述S4中，將石墨舟抬入專用烘箱，關上烘箱門鎖緊，溫控表設定溫度100度，石墨舟在烘箱烘干6—8小時，經過測試石墨舟在烘箱烘干后與使用前的石墨舟無差別方可取出，確保石墨舟被完全烘干。