[發明專利]一種PECVD石墨舟的清洗方法在審
| 申請號： | 202110292928.1 | 申請日： | 2021-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN113118158A | 公開（公告）日： | 2021-07-16 |
| 發明（設計）人： | 張敏;馮曉軍;吳群峰 | 申請（專利權）人： | 安徽英發睿能科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B08B9/08 | 分類號： | B08B9/08;B08B9/093;F26B9/06;F26B21/00 |
| 代理公司： | 安徽韜越知識產權代理事務所(普通合伙) 34197 | 代理人： | 范雅茜 |
| 地址： | 239300 安徽省滁*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 pecvd 石墨 清洗 方法 | ||
1.一種PECVD石墨舟的清洗方法，包括以下步驟組成：
S1、將石墨舟進行拆卸，將拆卸的部件放入清洗槽中；
S2、向清洗槽中倒入純水和清洗液，然后放入石墨舟；
S3、加入去離子液，用于浸泡石墨舟，并進行鼓泡；
S4、將清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加熱烘干；
S5、將石墨舟進行組合安裝。
2.根據權利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S1中，對石墨舟片進行拆卸時需要對石墨舟片勻速抬起、取出。
3.根據權利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S1中，放入清洗槽包括以下步驟：
S1.1、打開清洗槽排水閥，待清洗槽內廢酸排盡，用水槍對清洗槽進行沖洗；
S1.2、關上閥門，確保清洗槽內不會泄露；
S1.3、將石墨舟放進清洗槽中，打開進水閥門。
4.根據權利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S2中，往清洗槽里放入純水直到水能夠淹沒石墨舟為止，然后在清洗槽里加入清洗液開始清洗，清洗過程中戴好防酸堿手套，將石墨舟從酸槽中取出查看是否清洗干凈，如果還未洗干凈，再繼續清洗，直到干凈為止。
5.根據權利要求4所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S2中，清洗液采用濃度為20％～25％的氫氟酸溶液，并且石墨舟要在氫氟酸溶液中浸泡6個小時。
6.根據權利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S3中，將S2中的清洗液抽出，用去離子水對石墨舟進行噴淋，噴淋時間設置為1-10分鐘，再使用去離子水對已進行噴淋的石墨舟進行溢流漂洗2小時，溢流的同時開啟鼓泡。
7.根據權利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，將石墨舟從清洗槽中取出后用氣槍吹掉表面明顯的水珠。
8.根據權利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，將石墨舟抬入專用烘箱，關上烘箱門鎖緊，溫控表設定溫度100度，石墨舟在烘箱烘干6—8小時，經過測試石墨舟在烘箱烘干后與使用前的石墨舟無差別方可取出。
9.根據權利要求8所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，溫控表設定溫度20度，一般降溫半個小時等烘箱里的石墨舟達到常溫，可以取出。
10.根據權利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S5中，石墨舟組合安裝時將石墨舟上的所有螺母扭緊并檢查石墨舟所有的陶瓷件，需要更換工藝點的石墨舟，取出后需要入維修間專用貨架等待維修。
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