[發(fā)明專利]一種光罩盒傳送系統(tǒng)及生產(chǎn)流水線

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110291003.5
• 申請日: 2021-03-18
• 公開（公告）號: CN112938475B
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林錦鴻;孫亞東;王兆會
• 申請（專利權(quán)）人: 泉意光罩光電科技（濟(jì)南）有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G35/00;B65G47/248;B65G43/08;B65B69/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 韓靜粉

本發(fā)明公開了一種光罩盒傳送系統(tǒng)及生產(chǎn)流水線，光罩盒傳送系統(tǒng)包括分別設(shè)置在相鄰工位機臺之間的機械手；機械手上分別設(shè)置有夾爪、開蓋機構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機構(gòu)；開蓋機構(gòu)能夠打開光罩盒，翻轉(zhuǎn)機構(gòu)可翻轉(zhuǎn)安裝在機械手上，且翻轉(zhuǎn)機構(gòu)與夾爪連接，夾爪能夠夾取光罩盒或者光罩盒內(nèi)的光罩；機械手帶動夾爪抓取上一工位機臺載出端口的光罩盒到下一工位機臺載入端口處。本發(fā)明通過光罩盒傳送系統(tǒng)的設(shè)置代替了人工搬運光罩盒到各個機臺，減少了各工藝站點之間光罩傳送所需人力及時間，實現(xiàn)了自動化傳送光罩。此外，通過開蓋機構(gòu)打開光罩盒，并通過翻轉(zhuǎn)機構(gòu)帶動光罩翻轉(zhuǎn)翻面，進(jìn)一步減少了各工藝站點之間光罩傳送所需人力及時間，進(jìn)一步提高了光罩自動化傳送。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及傳送設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種光罩盒傳送系統(tǒng)及生產(chǎn)流水線。

背景技術(shù)

光罩廠中，光罩的制程工藝往往是在各工藝站點由單機運行，因此，各工藝站點之間的光罩傳送是由人工步行方式傳送，且當(dāng)前一站到后一站的工藝，要求的光罩?jǐn)[放朝向不同向時，必須由人工額外費時的以工具開盒、手動翻面、閉盒，再行載入機臺，光罩翻面無法自動化，費時費力。

綜上所述，如何減少各工藝站點之間光罩傳送所需人力及時間，實現(xiàn)自動化傳送光罩是目前本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的第一個目的在于提供一種光罩盒傳送系統(tǒng)，能夠減少各工藝站點之間光罩傳送所需人力及時間，實現(xiàn)自動化傳送光罩。

本發(fā)明的第二個目的是提供一種生產(chǎn)流水線。

為了達(dá)到上述第一個目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種光罩盒傳送系統(tǒng)，包括分別設(shè)置在相鄰工位機臺之間的機械手；

所述機械手上分別設(shè)置有夾爪、開蓋機構(gòu)和翻轉(zhuǎn)機構(gòu)；

所述開蓋機構(gòu)能夠打開所述光罩盒，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)可翻轉(zhuǎn)安裝在所述機械手上，且所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)與所述夾爪連接，所述夾爪能夠夾取所述光罩盒或者所述光罩盒內(nèi)的光罩；

所述機械手帶動所述夾爪抓取上一所述工位機臺載出端口的光罩盒到下一所述工位機臺載入端口處。

在另一個具體實施方案中，所述光罩盒傳送系統(tǒng)還包括光罩盒盛放裝置；

所述光罩盒盛放裝置設(shè)置在相鄰工位機臺之間，用于盛放所述機械手放置的所述光罩盒。

在另一個具體實施方案中，所述機械手的個數(shù)為2個；

一個所述機械手設(shè)置在上一個所述工位機臺載出端口與所述光罩盒盛放裝置之間，用于抓取上一所述工位機臺載出端口的光罩盒到所述光罩盒盛放裝置上；另一個所述機械手設(shè)置在所述下一個所述工位機臺載入端口和所述光罩盒盛放裝置之間，用于抓取所述光罩盒盛放裝置上的光罩盒到下一所述工位機臺載入端口處。

在另一個具體實施方案中，所述光罩盒傳送系統(tǒng)還包括搬運裝置；

所述光罩盒盛放裝置安裝在所述搬運裝置上，且所述搬運裝置能夠帶動所述光罩盒盛放裝置移動。

在另一個具體實施方案中，所述光罩盒盛放裝置為輸送帶；

所述輸送帶上平鋪有多個存儲所述光罩盒的存放格。

在另一個具體實施方案中，所述機械手的個數(shù)為1個；

所述光罩盒傳送系統(tǒng)還包括輸送裝置，所述機械手和所述光罩盛放裝置均安裝在所述輸送裝置上。

在另一個具體實施方案中，所述輸送裝置為無人搬運車或者軌道天車。

在另一個具體實施方案中，所述光罩盒盛放裝置為旋轉(zhuǎn)塔，

所述旋轉(zhuǎn)塔的塔身周向設(shè)置有多個存儲所述光罩盒的存放格；