[發明專利]一種光罩盒傳送系統及生產流水線

有效

• 申請號: 202110291003.5
• 申請日: 2021-03-18
• 公開（公告）號: CN112938475B
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 林錦鴻;孫亞東;王兆會
• 申請（專利權）人: 泉意光罩光電科技（濟南）有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G35/00;B65G47/248;B65G43/08;B65B69/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 韓靜粉

1.一種光罩盒傳送系統，其特征在于，包括分別設置在相鄰工位機臺之間的機械手；

所述機械手上分別設置有夾爪、開蓋機構和翻轉機構；

所述開蓋機構能夠打開所述光罩盒，所述翻轉機構可翻轉安裝在所述機械手上，且所述翻轉機構與所述夾爪連接，所述夾爪能夠夾取所述光罩盒或者所述光罩盒內的光罩；

所述機械手帶動所述夾爪抓取上一所述工位機臺載出端口的光罩盒到下一所述工位機臺載入端口處；

所述光罩盒的盒蓋的一側與所述光罩盒的盒體的一側鉸接，所述盒蓋的另一側設置有與所述盒體的另一側卡接的卡扣；

所述開蓋機構為固定在所述機械手上的撥動桿，所述撥動桿能夠撥動所述盒蓋卡扣脫離所述盒體。

2.根據權利要求1所述的光罩盒傳送系統，其特征在于，還包括光罩盒盛放裝置；

所述光罩盒盛放裝置設置在相鄰工位機臺之間，用于盛放所述機械手放置的所述光罩盒。

3.根據權利要求2所述的光罩盒傳送系統，其特征在于，所述機械手的個數為2個；

一個所述機械手設置在上一個所述工位機臺載出端口與所述光罩盒盛放裝置之間，用于抓取上一所述工位機臺載出端口的光罩盒到所述光罩盒盛放裝置上；另一個所述機械手設置在所述下一個所述工位機臺載入端口和所述光罩盒盛放裝置之間，用于抓取所述光罩盒盛放裝置上的光罩盒到下一所述工位機臺載入端口處。

4.根據權利要求3所述的光罩盒傳送系統，其特征在于，還包括搬運裝置；

所述光罩盒盛放裝置安裝在所述搬運裝置上，且所述搬運裝置能夠帶動所述光罩盒盛放裝置移動。

5.根據權利要求3所述的光罩盒傳送系統，其特征在于，所述光罩盒盛放裝置為輸送帶；

所述輸送帶上平鋪有多個存儲所述光罩盒的存放格。

6.根據權利要求2所述的光罩盒傳送系統，其特征在于，所述機械手的個數為1個；

所述光罩盒傳送系統還包括輸送裝置，所述機械手和所述光罩盛放裝置均安裝在所述輸送裝置上。

7.根據權利要求6所述的光罩盒傳送系統，其特征在于，所述輸送裝置為無人搬運車或者軌道天車。

8.根據權利要求6或7所述的光罩盒傳送系統，其特征在于，所述光罩盒盛放裝置為旋轉塔，

所述旋轉塔的塔身周向設置有多個存儲所述光罩盒的存放格；

或者

所述光罩盒盛放裝置為直立堆疊塔，

所述直立堆疊塔上分層設置有多個存儲所述光罩盒的存放格。

9.一種生產流水線，其特征在于，包括多個依次排布的工位機臺和如權利要求1-8中任意一項所述的光罩盒傳送系統；

相鄰所述工位機臺之間布置所述機械手。