[發明專利]用于選擇性廢氣處置的方法及系統

在審

• 申請號: 202110289563.7
• 申請日: 2021-03-12
• 公開（公告）號: CN113384979A
• 公開（公告）日: 2021-09-14
• 發明（設計）人: 夕巴斯汀·哈柏特斯·舒茲;湯瑪斯·沛爾瑙;烏瑞奇·華克
• 申請（專利權）人: 商先創國際股份有限公司
• 主分類號: B01D49/00
• 分類號: B01D49/00;B01D53/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

1.一種用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，包括：

至少一個工藝集群，具有

一組工藝單元，

多個泵單元，對應于一組工藝單元的數目，每一泵單元連接到工藝單元中的一者的出口，

多個閥單元，對應于泵單元的數目，每一閥單元連接到一個泵單元的出口，且每一閥單元被配置成將所連接的泵單元的出口選擇性地連接到多個不同出口中的相應一者，以及

第一氣體凈化器，被配置用于第一類型的廢氣處置，且連接到多個閥單元的相應的第一出口；

第二氣體凈化器，被配置用于與第一類型不同的第二類型的廢氣處置，且連接到多個閥單元的相應的第二出口；以及

閥控制單元，被配置成各別地控制每一閥單元，以將廢氣選擇性地引導到出口中的一者。

2.根據權利要求1所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，包括至少一個另外的工藝集群，具有

一組工藝單元，

多個泵單元，對應于一組工藝單元的數目，每一泵單元連接到工藝單元中的一者的出口，

多個閥單元，對應于泵單元的數目，每一閥單元連接到一個泵單元的出口，且每一閥單元被配置成將所連接的泵單元的出口選擇性地連接到多個不同的出口中的相應一者，以及

第一氣體凈化器，被配置用于第一類型的廢氣處置，且連接到多個閥單元的相應的第一出口，其中閥單元的相應的第二出口連接到第二氣體凈化器。

3.根據權利要求2所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，包括至少一個各別地控制的旁通管線，所述旁通管線將一個工藝集群的氣體凈化器的入口管線連接到另外的工藝集群的氣體凈化器的入口管線。

4.根據權利要求2所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，其中工藝集群的工藝單元和/或另外的工藝集群的工藝單元各自是相同的類型且被設計用于相同的工藝。

5.根據權利要求2所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，包括工藝控制單元，所述工藝控制單元被配置成各別地控制相應的工藝單元中的工藝序列，將工藝集群內的工藝單元中的工藝序列的相似子工藝以相對于彼此錯開的方式執行。

6.根據權利要求2所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，其中閥單元各自具有開關閥或多個相互聯鎖的截止閥，所述截止閥包括角形截止閥，以將所連接的泵單元的出口連接到相應的出口。

7.根據權利要求2所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，其中工藝集群包括至少一個另外的氣體凈化器，連接到閥單元的對應的另外的出口。

8.根據權利要求7所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，其中工藝集群的第一氣體凈化器及可選的至少一個另外的氣體凈化器是專門被設計成處置工藝集群的預期的廢氣的局部氣體凈化器，而第二氣體凈化器是被設計成處置來自不同的工藝集群和/或工藝單元的不同廢氣的中心氣體凈化器。

9.根據權利要求7所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，其中第一氣體凈化器和/或至少一個另外的氣體凈化器被配置用于氧化性廢氣處置；和/或

第二氣體凈化器被配置用于還原性廢氣處置。

10.根據權利要求2所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，其中至少一個工藝集群的多個工藝單元各自是PECVD裝置。

11.根據權利要求2所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，還包括通往每一泵單元的氮氣供應管線。

12.根據權利要求2所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，還包括連接到至少一個工藝集群的多個工藝單元的相應的出口的空氣泵，其中系統被配置成使得相應的工藝單元能夠僅通過所連接的泵單元或所述空氣泵而在任一時間點向外泵抽。

13.根據權利要求12所述的用于廢氣的選擇性廢氣處置的系統，其中工藝集群的每一工藝單元通過共用管線連接到所述空氣泵。