[發(fā)明專利]顯示面板的制作方法和顯示面板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110287203.3
• 申請(qǐng)日: 2021-03-17
• 公開（公告）號(hào): CN113054149B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 金玉;李磊;陸蘊(yùn)雷;王恩來;黃麗麗;馬明冬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;H01L51/52;H01L27/32
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 范坤坤

本發(fā)明實(shí)施例公開了一種顯示面板的制作方法和顯示面板。顯示面板的制作方法包括：提供襯底，在所述襯底上形成驅(qū)動(dòng)電路層并圖案化，并在所述透光區(qū)位置露出部分所述襯底；在所述驅(qū)動(dòng)電路層上形成平坦化層；對(duì)所述平坦化層進(jìn)行圖案化，并在所述透光區(qū)位置減薄處理或全部保留所述平坦化層、減薄或全部保留位于所述盲孔內(nèi)的平坦化層；在所述平坦化層上形成陽極；在形成陽極后，去除位于所述透光區(qū)的平坦化層。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例避免了對(duì)透光區(qū)的襯底表面直接進(jìn)行等離子體處理等制程，使得襯底表面能夠保持其原本的光滑度，有利于光線在盲孔處進(jìn)行鏡面反射，減少漫反射的發(fā)生，從而提升了盲孔處襯底的光線透過率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明實(shí)施例涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯示面板的制作方法和顯示面板。

背景技術(shù)

隨著顯示技術(shù)的不斷發(fā)展，顯示面板的應(yīng)用越來越廣泛，顯示面板的擴(kuò)展功能也越來越多。例如，需要在顯示面板中集成攝像頭、傳感器等器件。此時(shí)，需要在顯示面板中設(shè)置盲孔(即透光區(qū))，以容納攝像頭、傳感器等器件。然而，現(xiàn)有的顯示面板的制作工藝在形成盲孔時(shí)，會(huì)導(dǎo)致盲孔處的襯底(例如，玻璃)表面粗糙，影響了光線在盲孔處的傳輸。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種顯示面板的制作方法和顯示面板，以提升盲孔處襯底的光線透過率。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，本發(fā)明實(shí)施例提供了如下技術(shù)方案：

一種顯示面板的制作方法，所述顯示面板具有透光區(qū)、圍繞所述透光區(qū)的顯示區(qū)，制作方法包括：

提供襯底，在所述襯底上形成驅(qū)動(dòng)電路層并圖案化，并在所述透光區(qū)位置露出部分所述襯底；

在所述驅(qū)動(dòng)電路層上形成平坦化層；

對(duì)所述平坦化層進(jìn)行圖案化，以形成陽極過孔，并在所述透光區(qū)位置減薄處理或全部保留所述平坦化層；

在所述平坦化層上形成陽極；

在形成陽極后，去除位于所述透光區(qū)的平坦化層。

由上述技術(shù)方案可以看出，由于位于透光區(qū)的襯底表面覆蓋有平坦化層，形成了襯底的保護(hù)層，避免了陽極鍍膜和后續(xù)刻蝕工藝對(duì)襯底表面形貌造成的損傷，在所述透光區(qū)形成盲孔圖案。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實(shí)施例避免了對(duì)透光區(qū)的襯底表面直接進(jìn)行等離子體處理等制程，使得襯底表面能夠保持其原本的光滑度，有利于光線在盲孔處進(jìn)行鏡面反射，減少漫反射的發(fā)生，從而提升了盲孔處襯底的光線透過率。

可選地，對(duì)所述平坦化層進(jìn)行圖案化包括：采用半色調(diào)掩膜版刻蝕所述平坦化層，以在形成陽極過孔的同時(shí)減薄位于所述透光區(qū)內(nèi)的平坦化層。這樣設(shè)置，能夠采用一道光罩工藝，在形成陽極過孔的同時(shí)，減薄位于透光區(qū)內(nèi)的平坦化層。以及，有利于通過調(diào)整半色調(diào)掩膜版不同區(qū)域的光透過率來調(diào)整減薄的平坦化層的厚度，以滿足實(shí)際需求。

可選地，所述半色調(diào)掩膜版包括全透區(qū)、不透區(qū)和半透區(qū)；

所述全透區(qū)對(duì)應(yīng)所述陽極過孔，所述半透區(qū)對(duì)應(yīng)所述透光區(qū)，所述不透區(qū)對(duì)應(yīng)所述陽極過孔和所述透光區(qū)以外的區(qū)域。

可選地，所述半色調(diào)掩膜版包括襯底和位于所述襯底上的透光調(diào)整材料；

所述襯底的材料包括氧化硅，所述半透區(qū)的透光調(diào)整材料包括氧化鉻，所述不透區(qū)的透光調(diào)整材料包括鉻。

可選地，通過調(diào)整所述半透區(qū)的光透過率來調(diào)整減薄的所述透光區(qū)的平坦化層的厚度。具體地，通過控制半透區(qū)的透光調(diào)整材料的厚度能夠控制半透區(qū)的光透過率。透光調(diào)整材料的厚度越厚，半透區(qū)的光透過率越低，刻蝕掉的平坦化層的厚度越薄，剩余的平坦化層保護(hù)層的厚度越厚；相反，透光調(diào)整材料的厚度越薄，半透區(qū)的光透過率越高，刻蝕掉的平坦化層的厚度越厚，剩余的平坦化層保護(hù)層的厚度越薄。這樣設(shè)置，使得顯示面板的制作過程操作簡(jiǎn)單，有利于簡(jiǎn)化工藝流程，實(shí)用性更強(qiáng)。