[發明專利]多個腔室壓力傳感器的校準方法

在審

• 申請號: 202110275286.4
• 申請日: 2021-03-15
• 公開（公告）號: CN113465819A
• 公開（公告）日: 2021-10-01
• 發明（設計）人: 松田梨沙子;莊司慶太
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種多個腔室壓力傳感器的校準方法，用于對基板處理系統的多個腔室壓力傳感器進行校準，其中，

所述基板處理系統具備：

多個腔室；

所述多個腔室壓力傳感器，所述多個腔室壓力傳感器以分別測定所述多個腔室內的壓力的方式設置；

多個氣體供給部，各所述氣體供給部構成為向所述多個腔室中的對應的腔室的內部空間供給氣體；

多個排氣裝置，所述多個排氣裝置經由多個排氣流路而分別與所述多個腔室的內部空間連接；以及

多個第一氣體流路，各第一氣體流路將所述多個氣體供給部中的對應的氣體供給部與所述多個腔室中的對應的腔室連接，

所述多個腔室壓力傳感器的校準方法包括以下工序：

獲取將第一容積與第二容積相加所得到的第三容積，所述第一容積為從所述多個第一氣體流路中選擇出的、與從所述多個氣體供給部中選擇出的氣體供給部連接的第一氣體流路的容積，所述第二容積為從所述多個腔室中選擇出的、與選擇出的所述第一氣體流路連接的腔室的內部空間的容積；

使用從所述多個腔室壓力傳感器中選擇出的、用于選擇出的所述腔室的腔室壓力傳感器，來獲取通過使預先設定的流量的氣體從選擇出的所述氣體供給部經由選擇出的所述第一氣體流路流動到選擇出的所述腔室的內部空間而產生的、選擇出的所述腔室的內部空間的第一壓力變化率；

使用在獲取第一壓力變化率的所述工序中流動的氣體的所述流量和所述第一容積，將在獲取第一壓力變化率的所述工序中流動的氣體視作理想氣體，來計算通過在獲取第一壓力變化率的所述工序中流動的氣體而產生的、選擇出的所述腔室的內部空間的第二壓力變化率；以及

對選擇出的所述腔室壓力傳感器進行校準，以使所述第一壓力變化率與所述第二壓力變化率之差處于預先設定的范圍內，

在所述多個腔室壓力傳感器的校準方法中，重復進行包括獲取第三容積的所述工序、獲取第一壓力變化率的所述工序、獲取第二壓力變化率的所述工序以及對腔室壓力傳感器進行校準的所述工序的序列，

將所述多個腔室壓力傳感器依次選擇作為選擇出的所述腔室壓力傳感器并重復執行所述序列。

2.根據權利要求1所述的多個腔室壓力傳感器的校準方法，其特征在于，

所述基板處理系統還具備：

第二氣體流路，其經由所述多個氣體供給部的各氣體供給部而與所述多個第一氣體流路的各第一氣體流路連接；

測定裝置，其與所述第二氣體流路連接，并且具有：第三氣體流路，其與所述第二氣體流路連接；以及壓力傳感器，其構成為檢測所述第三氣體流路內的壓力；以及

多個第四氣體流路，各所述第四氣體流路包括所述多個第一氣體流路中的對應的第一氣體流路、所述第二氣體流路以及所述第三氣體流路，在所述方法中，獲取第三容積的所述工序包括以下工序：

獲取從所述多個第四氣體流路中選擇出的、包括選擇出的所述第一氣體流路的第四氣體流路的第四容積；

使用在獲取第四容積的所述工序中獲取到的選擇出的所述第四氣體流路的所述第四容積來獲取所述第二容積；以及

使用在獲取第四容積的所述工序中獲取到的選擇出的所述第四氣體流路的所述第四容積來獲取所述第一容積。

3.根據權利要求2所述的多個腔室壓力傳感器的校準方法，其特征在于，

獲取第四容積的所述工序包括以下工序；

在使氣體擴散至所述第三氣體流路的狀態下，使用所述壓力傳感器來獲取擴散至所述第三氣體流路的氣體的第一壓力測定值；

使用從所述多個排氣裝置中選擇出的、與選擇出的所述第四氣體流路對應的排氣裝置，對選擇出的所述第四氣體流路中包括的、選擇出的所述第一氣體流路和所述第二氣體流路進行抽真空；

在使在獲取第一壓力測定值的所述工序中擴散至所述第三氣體流路的氣體擴散至選擇出的包括所述第三氣體流路的所述第四氣體流路的狀態下，使用所述壓力傳感器來獲取擴散至選擇出的所述第四氣體流路的氣體的第二壓力測定值；以及

使用所述第一壓力測定值、所述第二壓力測定值以及所述第三氣體流路的第五容積的既定值，將在獲取第一壓力測定值的所述工序中擴散至所述第三氣體流路的氣體和在獲取第二壓力測定值的所述工序中擴散至選擇出的所述第四氣體流路的氣體視作理想氣體，來計算所述第四容積。