[發(fā)明專利]三維存儲(chǔ)器件及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110274672.1
• 申請(qǐng)日: 2021-03-15
• 公開（公告）號(hào): CN112928117B
• 公開（公告）日: 2022-06-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏丙杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L27/11519
• 分類號(hào): H01L27/11519;H01L27/11521;H01L27/11551;H01L27/11565;H01L27/11568;H01L27/11578
• 代理公司: 北京英思普睿知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 16018
• 代理人: 劉瑩;聶國(guó)斌

1.一種三維存儲(chǔ)器件，其特征在于，包括：

襯底，包括在第一方向上相對(duì)設(shè)置的臺(tái)階區(qū)和非臺(tái)階區(qū)；

多個(gè)存儲(chǔ)塊，在所述襯底上沿垂直于第一方向的第二方向并列設(shè)置；以及

溝槽結(jié)構(gòu)，設(shè)置于相鄰的所述存儲(chǔ)塊之間，所述溝槽結(jié)構(gòu)包括：虛擬溝道孔溝槽結(jié)構(gòu)，及設(shè)置于所述非臺(tái)階區(qū)的柵線縫隙結(jié)構(gòu)，

其中，所述虛擬溝道孔溝槽結(jié)構(gòu)包括：

第一折段，相對(duì)于所述第一方向傾斜至一側(cè)，且為直線段；以及

第二折段，相對(duì)所述第一方向傾斜至另一側(cè)，且為直線段，所述第二折段與所述第一折段在所述第一方向上從所述臺(tái)階區(qū)在所述第一方向上的一端交替地接續(xù)設(shè)置至所述臺(tái)階區(qū)在所述第一方向上的另一端，所述第一折段和所述第二折段之間的夾角值在80°至100°之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器件，其中，在所述溝槽結(jié)構(gòu)中形成有空氣間隙。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器件，其中，所述存儲(chǔ)塊包括位于所述臺(tái)階區(qū)中的臺(tái)階區(qū)塊和位于所述非臺(tái)階區(qū)的存儲(chǔ)區(qū)塊；以及

其中，所述柵線縫隙結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述相鄰的存儲(chǔ)塊的存儲(chǔ)區(qū)塊之間；以及

所述虛擬溝道孔溝槽結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述相鄰的存儲(chǔ)塊的臺(tái)階區(qū)塊之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的三維存儲(chǔ)器件，其中，所述虛擬溝道孔溝槽結(jié)構(gòu)還包括：

至少一對(duì)夾板，與所述第一折段或所述第二折段一體式形成，夾持所述柵線縫隙結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的三維存儲(chǔ)器件，其中，所述第一折段的長(zhǎng)度和所述第二折段的長(zhǎng)度相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的三維存儲(chǔ)器件，其中，所述第一折段的長(zhǎng)度或所述第二折段的長(zhǎng)度在400nm～600nm之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的三維存儲(chǔ)器件，其中，所述第一折段和所述第二折段的接續(xù)處為弧形。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的三維存儲(chǔ)器件，還包括：

多個(gè)虛擬溝道結(jié)構(gòu)，位于所述臺(tái)階區(qū)，所述虛擬溝道結(jié)構(gòu)沿所述存儲(chǔ)塊的堆疊方向貫穿所述存儲(chǔ)塊。

9.一種制造三維存儲(chǔ)器件的方法，其特征在于，包括：

基于晶圓形成連接為一體的多個(gè)三維存儲(chǔ)器件，包括：

基于所述晶圓形成襯底，其中，所述襯底包括在第一方向上相對(duì)設(shè)置的臺(tái)階區(qū)和非臺(tái)階區(qū)；

在所述襯底上形成堆疊結(jié)構(gòu)，其中，所述堆疊結(jié)構(gòu)包括在垂直于所述第一方向的第二方向上并列設(shè)置的多個(gè)存儲(chǔ)塊；

形成沿所述堆疊結(jié)構(gòu)的堆疊方向貫穿所述堆疊結(jié)構(gòu)的溝槽，以分隔出在第二方向上相鄰的兩個(gè)存儲(chǔ)塊，其中，所述溝槽包括：設(shè)置于所述非臺(tái)階區(qū)的柵線縫隙槽，及虛擬溝道孔溝槽；其中，所述虛擬溝道孔溝槽包括：第一折段，相對(duì)于所述第一方向傾斜至一側(cè)，且為直線段；以及第二折段，相對(duì)所述第一方向傾斜至另一側(cè)，且為直線段，所述第二折段與所述第一折段在所述第一方向上從所述臺(tái)階區(qū)在所述第一方向上的一端交替地接續(xù)設(shè)置至所述臺(tái)階區(qū)在所述第一方向上的另一端，所述第一折段和所述第二折段之間的夾角值在80°至100°之間；以及

在所述溝槽中形成溝槽結(jié)構(gòu)；以及

分離所述多個(gè)三維存儲(chǔ)器件。