[發明專利]一種光刻機的晶圓平臺潔凈度的表征方法

在審

• 申請號: 202110273756.3
• 申請日: 2021-03-15
• 公開（公告）號: CN113128023A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 韓洋;黃俊;徐曉敏
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06F30/20
• 分類號: G06F30/20;G03F7/20
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

1.一種光刻機的晶圓平臺潔凈度的表征方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟A、制作原始數據：

定義所述晶圓平臺的平坦度作為表征所述晶圓平臺的潔凈度的依據；

利用所述光刻機自帶的掃描系統對所述晶圓平臺進行掃描，并生成格式文件；

所述格式文件記載有所述晶圓平臺的平坦度數據作為原始數據；

所述平坦度數據包括坐標數據、晶圓平臺的高度值，每一所述高度值對應特定的所述坐標數據；

步驟B、獲得所述原始數據：

在所述光刻機的數據文件中找到記載有所述平坦度數據的所述格式文件，并將所述格式文件導出；

步驟C、運用建模軟件建立所述晶圓平臺的平坦度模型：

將所述格式文件導入所述建模軟件，所述建模軟件基于所述平坦度數據建立所述平坦度模型；

步驟D、在所述平坦度模型中任選一特定位置，所述特定位置所對應的所述平坦度數據顯示于所述平坦度模型中。

2.如權利要求1所述的表征方法，其特征在于，步驟A中所述掃描系統對所述晶圓平臺的掃描頻率執行每次搭載晶圓前掃描一次并生產一份所述格式文件。

3.如權利要求1所述的表征方法，其特征在于，步驟A中的所述格式文件為TXT文件。

4.如權利要求1所述的表征方法，其特征在于，步驟C中的建模軟件為Excel軟件；

所述Excel軟件基于所述平坦度數據建立所述平坦度模型的步驟如下：

步驟C1、用所述Excel軟件打開所述格式文件；

步驟C2、將所述格式文件中的高度值根據位置順序依次賦值于特定的單元格內。

5.如權利要求4所述的表征方法，其特征在于，將所述Excel軟件建立所述平坦度模型的過程錄制為宏；

建立所述平坦度模型時，調用所述宏。

6.如權利要求1所述的表征方法，其特征在于，還包括如下步驟：

步驟E、定義所述晶圓平臺的平坦度標準，所述高度值中超出所述平坦度標準的數值在所述平坦度模型中特殊顯示。

7.如權利要求6所述的表征方法，其特征在于，步驟E包括如下步驟：

步驟E1、定義所述晶圓平臺的平坦度的標準的下限值為A，定義所述晶圓平臺的平坦度標準的上限為數值B，所述下限值A小于或等于所述上限值B；

步驟E2、當所述高度值中的任一數值X小于所述下限值A時，所述高度值X在所述平坦度模型中特殊顯示；

當所述高度值中的任一數值Y大于所述上限值B時，所述高度值Y在所述平坦度模型中顯示為不同于所述高度值X的特殊顯示。

8.如權利要求7所述的表征方法，其特征在于，所述特殊顯示為顯示不同顏色。

9.如權利要求1所述的表征方法，其特征在于，還包括如下步驟：

步驟F、所述平坦度模型中特定位置的所述高度值輸出；

在所述平坦度模型中任選一特定位置，所述建模軟件輸出與所述特定位置對應的所述高度值。