[發明專利]圖像傳感器及其形成方法

在審

• 申請號: 202110271259.X
• 申請日: 2021-03-12
• 公開（公告）號: CN115084170A
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發明（設計）人: 徐濤;付文;鄭展
• 申請（專利權）人: 格科微電子（上海）有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供一種圖像傳感器及其制備方法，圖像傳感器包括：若干像素單元；與所述像素單元對應的彩色濾光片；其中，所述彩色濾光片的頂面呈凸形，便于聚光及濾光。凸形的彩色濾光片，能夠改變光線傳播方向，實現聚光功能，從而能夠省去微透鏡，節省工藝步驟，提高生產效率。

技術領域

本發明涉及半導體技術領域，尤其涉及一種圖像傳感器及其形成方法。

背景技術

圖像傳感器包括像素單元、位于像素單元之上的濾光片以及濾光片之上的微透鏡。濾光片用于過濾光線，微透鏡用于將光線聚集。微透鏡的制備方法通常是專門沉積一層微透鏡層，然后通過光刻和顯影，及其熱回流工藝，最后通過反向刻蝕工藝最終形成所需要的微透鏡，其工藝流程較繁瑣。

因此，如何縮短圖像傳感器的工藝流程，提高工作效率，是本領域技術人員亟需解決的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種圖像傳感器及其形成方法，用于縮短工藝流程，提高生產效率。

基于以上考慮，本發明提供一種圖像傳感器，包括：

若干像素單元；

與所述像素單元對應的彩色濾光片；

其中，所述彩色濾光片的頂面呈凸形，便于聚光及濾光。

可選地，相鄰彩色濾光片之間具有分隔物。

可選地，所述凸形為半圓形、錐形或梯形中的任意一種或多種組合。

可選地，所述彩色濾光片的中心相對于所述像素單元的中心具有偏移。

可選地，所述彩色濾光片包括紅色濾光片、藍色濾光片、綠色濾光片中的任意一種。

可選地，所述彩色濾光片的表面還覆有減反層。

本發明還提供一種圖像傳感器的制備方法，包括：

于半導體襯底內形成像素單元；

于像素單元之上形成彩色濾光片；

其中，所述彩色濾光片的頂面呈凸形，便于聚光及濾光。

可選地，形成彩色濾光片的方法包括：于像素單元之上沉積濾光膜；

通過灰階掩膜版對濾光膜表面進行曝光，并經過顯影后，使所述濾光膜的頂面呈凸形，形成凸形的彩色濾光片。

可選地，形成彩色濾光片的方法包括：于像素單元之上沉積濾光膜；

通過二元式掩膜版對濾光膜表面進行曝光，并經過顯影及硬烘后，使所述濾光膜的頂面呈凸形，形成凸形的彩色濾光片。

可選地，形成彩色濾光片的方法包括：于像素單元之上沉積濾光膜；

通過二元式掩膜版對濾光膜表面進行曝光，并經過顯影及刻蝕工藝，使所述濾光膜的頂面呈凸形，形成凸形的彩色濾光片。

可選地，還包括在于所述像素單元之上沉積濾光膜之前，于相鄰像素單元之間形成分隔物的步驟。

可選地，還包括于所述彩色濾光片表面形成減反層的步驟。

可選地，彩色濾光片的中心相對于像素單元的中心具有偏移。

本發明的圖像傳感器及其形成方法，具有以下有益效果：

使用凸形濾光片實現聚光及濾光，省去微透鏡，節省工藝步驟；

增加減反層，一方面可以減少光學反射，另一方面可以形成相對理想的微透鏡形貌，提高光學性能；

濾光片之間具有分隔物，用于減少像素之間的串擾。

附圖說明

通過參照附圖閱讀以下所作的對非限制性實施例的詳細描述，本發明的其它特征、目的和優點將會變得更明顯。