[發明專利]圖像傳感器及其形成方法在審
| 申請號： | 202110271259.X | 申請日： | 2021-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN115084170A | 公開（公告）日： | 2022-09-20 |
| 發明（設計）人： | 徐濤;付文;鄭展 | 申請（專利權）人： | 格科微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | H01L27/146 | 分類號： | H01L27/146 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖像傳感器 及其 形成 方法 | ||
1.一種圖像傳感器，其特征在于，包括：
若干像素單元；
與所述像素單元對應的彩色濾光片；
其中，所述彩色濾光片的頂面呈凸形，便于聚光及濾光。
2.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，相鄰彩色濾光片之間具有分隔物。
3.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，所述凸形為半圓形、錐形或梯形中的任意一種或多種組合。
4.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，所述彩色濾光片的中心相對于所述像素單元的中心具有偏移。
5.根據權利要求1所述的圖像傳感器，其特征在于，所述彩色濾光片包括紅色濾光片、藍色濾光片、綠色濾光片中的任意一種。
6.根據權利要求1~5任一項所述的圖像傳感器，其特征在于，所述彩色濾光片的表面還覆有減反層。
7.一種圖像傳感器的制備方法，其特征在于，包括：
于半導體襯底內形成像素單元；
于像素單元之上形成彩色濾光片；
其中，所述彩色濾光片的頂面呈凸形，便于聚光及濾光。
8.根據權利要求7所述的圖像傳感器的制備方法，其特征在于，形成彩色濾光片的方法包括：于像素單元之上沉積濾光膜；
通過灰階掩膜版對濾光膜表面進行曝光，并經過顯影后，使所述濾光膜的頂面呈凸形，形成凸形的彩色濾光片。
9.根據權利要求7所述的圖像傳感器的制備方法，其特征在于，形成彩色濾光片的方法包括：于像素單元之上沉積濾光膜；
通過二元式掩膜版對濾光膜表面進行曝光，并經過顯影及硬烘后，使所述濾光膜的頂面呈凸形，形成凸形的彩色濾光片。
10.根據權利要求7所述的圖像傳感器的制備方法，其特征在于，形成彩色濾光片的方法包括：于像素單元之上沉積濾光膜；
通過二元式掩膜版對濾光膜表面進行曝光，并經過顯影及刻蝕工藝，使所述濾光膜的頂面呈凸形，形成凸形的彩色濾光片。
11.根據權利要求8至10任一項所述的圖像傳感器的制備方法，其特征在于，還包括在于所述像素單元之上沉積濾光膜之前，于相鄰像素單元之間形成分隔物的步驟。
12.根據權利要求7所述的圖像傳感器的制備方法，其特征在于，還包括于所述彩色濾光片表面形成減反層的步驟。
13.根據權利要求7所述的圖像傳感器的制備方法，其特征在于，彩色濾光片的中心相對于像素單元的中心具有偏移。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的；包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的；包括有熱磁組件的
