[發明專利]一種PVDF壓電薄膜及其制備方法

在審

• 申請號: 202110270126.0
• 申請日: 2021-03-12
• 公開（公告）號: CN112885956A
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 管建國;楊少華;周長陽;胡志軍;管濤
• 申請（專利權）人: 三三智能科技（日照）有限公司
• 主分類號: H01L41/047
• 分類號: H01L41/047;H01L41/113;H01L41/193;H01L41/29;H01L41/333
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 卜令濤

1.一種PVDF壓電薄膜，其特征在于：包括PVDF壓電薄膜層（1），壓電薄膜層的上表面具有凸出的壓力感應微結構陣列（101），下表面具有凹型溝槽結構（102）；凹形溝槽結構（102）內填充導電材料（3），導電材料（3）通過導線（201）與控制模塊（2）連接。

2.根據權利要求1所述的PVDF壓電薄膜，其特征在于：凸出的壓力感應微結構（101）的形狀為棱錐、圓錐、圓臺、半球體、圓柱、棱柱中的任何一種或兩種及以上的組合。

3.根據權利要求2所述的PVDF壓電薄膜，其特征在于：凸出的壓力感應微結構（101）在PVDF壓電薄膜上表面的排布方式為矩形、三角形、六邊形、八邊形、平行四邊形中的任意一種。

4.根據權利要求1所述的PVDF壓電薄膜，其特征在于：凹型溝槽結構（102）填充的導電材料是納米銀顆粒、納米銀線、納米金顆粒、納米金線、納米銅線、納米銅顆粒、PH1000、石墨烯、碳納米管中的任意一種或兩種及以上的組合。

5.根據權利要求4所述的PVDF壓電薄膜，其特征在于：凹型溝槽結構（102）的截面形狀為矩形、V形、梯形、半圓形、五邊形、六邊形中的任意一種。

6.根據權利要求5所述的PVDF壓電薄膜，其特征在于：凹型溝槽結構（102）槽口寬度尺寸為500nm~50μm，凹槽深度與槽口寬度比為0.1~10。

7.根據權利要求1所述PVDF壓電薄膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一：根據產品需要，確定PVDF壓電薄膜層上表面壓力感應微結構和下表面凹型溝槽結構的形狀、分布及尺寸，并在雙面卷對卷熱壓機的道具輥和壓力輥上進行相應設置；

步驟二：使用雙面卷對卷熱壓機將PVDF壓電薄膜（1）進行壓印，形成上表面的壓力感應微結構陣列（101）和下表面的凹型溝槽結構（102），壓印完成后，將PVDF壓電薄膜（1）從模具中剝離；

步驟三：使用刮涂設備或旋涂設備在下表面的凹型溝槽結構（102）中填入導電材料（3），并加熱固化；

步驟四：將經過固化后的導電材料通過導線（201）與控制模塊連接。