[發(fā)明專利]一種真空電漿成型腔體設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110268555.4
• 申請日: 2021-03-12
• 公開（公告）號: CN113005421A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 裴孝懷;鐘智敏;劉偉;陳波
• 申請（專利權(quán)）人: 上海新科乾物聯(lián)技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 婁岳

本發(fā)明涉及鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種真空電漿成型腔體設(shè)備，包括內(nèi)部中空的腔體、與腔體連通的進(jìn)氣管道、用于在進(jìn)氣管道內(nèi)的空氣進(jìn)入腔體前依次進(jìn)行過濾的濾板，以及設(shè)置在腔體內(nèi)的放電裝置和工件；所述濾板至少有三個且每個濾板上均設(shè)置有濾孔；在沿空氣流動的方向上，濾板的濾孔數(shù)量逐漸增多，且濾孔的孔徑逐漸減小。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空電漿成型腔體設(shè)備。

背景技術(shù)

電漿，也稱為等離子體，已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域，不同材料薄膜的成長及電路的蝕刻普通通過電漿技術(shù)實現(xiàn)。在半導(dǎo)體封裝及紡織工業(yè)方面，使用電漿來清潔及改變材料表面，以達(dá)到特殊的功能和效果；在環(huán)保方面，電漿火炬可以安全固化焚化爐所產(chǎn)生的高污染灰渣；在醫(yī)療、科研方面也具有重要作用。

本發(fā)明提供一種利用電漿技術(shù)為工件鍍膜的設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種真空電漿成型腔體設(shè)備。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種真空電漿成型腔體設(shè)備，包括內(nèi)部中空的腔體、與腔體連通的進(jìn)氣管道、用于在進(jìn)氣管道內(nèi)的空氣進(jìn)入腔體前依次進(jìn)行過濾的濾板，以及設(shè)置在腔體內(nèi)的放電裝置和工件；所述濾板至少有三個且每個濾板上均設(shè)置有濾孔；在沿空氣流動的方向上，濾板的濾孔數(shù)量逐漸增多，且濾孔的孔徑逐漸減小。

進(jìn)一步地，包括設(shè)置在腔體內(nèi)部的過濾箱體；所述進(jìn)氣管道貫穿腔體和過濾箱體的上壁進(jìn)入過濾箱體內(nèi)部；所述濾板從上到下依次水平設(shè)置在箱體內(nèi)，最上層濾板位于進(jìn)氣管道的下部，最下層濾板的濾孔與腔體連通。

進(jìn)一步地，包括設(shè)置在腔體下部的冷卻板、布置在冷卻板內(nèi)且內(nèi)部流動有冷卻水的冷卻管道、設(shè)置在腔體外且與冷卻管道連通的水循環(huán)裝置；所述工件放置在冷卻板上。

進(jìn)一步地，包括與腔體連通的抽真空裝置和氣體監(jiān)控儀。

進(jìn)一步地，所述腔體的側(cè)邊設(shè)置有透視窗。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益技術(shù)效果是：

1.經(jīng)過初步過濾的壓縮空氣從進(jìn)氣管道進(jìn)入腔體，為了保證鍍膜效果，進(jìn)入腔體前，本發(fā)明利用多層濾板對空氣進(jìn)行進(jìn)一步地過濾；本發(fā)明采用多層分級過濾方式，濾板的數(shù)量逐漸增多、孔徑逐漸減少，可以兼顧過濾效率和過濾效果，避免空氣中的雜質(zhì)進(jìn)入腔體。

2.通過抽真空裝置抽取腔體內(nèi)的氣體，并通過氣體監(jiān)測儀監(jiān)測腔體內(nèi)的氣體剩余量，在腔體內(nèi)的惰性氣體達(dá)到設(shè)定值時，暫停抽真空裝置，使腔體內(nèi)保留適量的惰性氣體，以保證后續(xù)的鍍膜效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的剖視圖；

圖2為本發(fā)明的頂視圖；

圖3為本發(fā)明的工作原理圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的一種優(yōu)選實施方式作詳細(xì)的說明。

如圖1-2所示，一種真空電漿成型腔體設(shè)備，包括內(nèi)部中空的腔體3、與腔體連通的進(jìn)氣管道1-1、用于在進(jìn)氣管道內(nèi)的空氣進(jìn)入腔體前依次進(jìn)行過濾的濾板11，以及設(shè)置在腔體內(nèi)的放電裝置和工件6；所述濾板至少有三個且每個濾板上均設(shè)置有濾孔；在沿空氣流動的方向上，濾板的濾孔數(shù)量逐漸增多，且濾孔的孔徑逐漸減小。

包括設(shè)置在腔體內(nèi)部的過濾箱體；所述進(jìn)氣管道貫穿腔體和過濾箱體的上壁進(jìn)入過濾箱體內(nèi)部；所述濾板從上到下依次水平設(shè)置在箱體內(nèi)，最上層濾板位于進(jìn)氣管道的下部，最下層濾板的濾孔與腔體連通。