[發明專利]一種真空電漿成型腔體設備

在審

• 申請號: 202110268555.4
• 申請日: 2021-03-12
• 公開（公告）號: CN113005421A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發明（設計）人: 裴孝懷;鐘智敏;劉偉;陳波
• 申請（專利權）人: 上海新科乾物聯技術有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52
• 代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115
• 代理人: 婁岳

1.一種真空電漿成型腔體設備，其特征在于：包括內部中空的腔體、與腔體連通的進氣管道、用于在進氣管道內的空氣進入腔體前依次進行過濾的濾板，以及設置在腔體內的放電裝置和工件；所述濾板至少有三個且每個濾板上均設置有濾孔；在沿空氣流動的方向上，濾板的濾孔數量逐漸增多，且濾孔的孔徑逐漸減小。

2.根據權利要求1所述的真空電漿成型腔體設備，其特征在于：包括設置在腔體內部的過濾箱體；所述進氣管道貫穿腔體和過濾箱體的上壁進入過濾箱體內部；所述濾板從上到下依次水平設置在箱體內，最上層濾板位于進氣管道的下部，最下層濾板的濾孔與腔體連通。

3.根據權利要求2所述的真空電漿成型腔體設備，其特征在于：包括設置在腔體下部的冷卻板、布置在冷卻板內且內部流動有冷卻水的冷卻管道、設置在腔體外且與冷卻管道連通的水循環裝置；所述工件放置在冷卻板上。

4.根據權利要求1所述的真空電漿成型腔體設備，其特征在于：包括與腔體連通的抽真空裝置和氣體監控儀。

5.根據權利要求1所述的真空電漿成型腔體設備，其特征在于：所述腔體的側邊設置有透視窗。