[發明專利]一種金屬磁粉芯及其制備方法有效
| 申請號： | 202110262461.6 | 申請日： | 2021-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN113096907B | 公開（公告）日： | 2023-06-30 |
| 發明（設計）人： | 王健;劉辛;徐佳;盧克超 | 申請（專利權）人： | 廣東省科學院新材料研究所 |
| 主分類號： | H01F1/24 | 分類號： | H01F1/24;H01F1/26;H01F41/02 |
| 代理公司： | 廣州科粵專利商標代理有限公司 44001 | 代理人： | 方燕 |
| 地址： | 510651 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金屬 磁粉芯 及其 制備 方法 | ||
1.一種金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟：
(Ⅰ)將表面處理后的鐵基軟磁粉末進行絕緣包覆得到包覆氧化層的鐵基軟磁粉末；所述鐵基軟磁粉末的粒徑為53-75μm，所述絕緣包覆的方法為原子層沉積，所述氧化層的厚度為50～100nm，所述鐵基軟磁粉末為Fe-6.5wt％Si；
(Ⅱ)將干燥的包覆氧化層的鐵基軟磁粉末、有機硅樹脂和丙酮按照質量比為100：2：12混合丙酮揮發后壓坯成型得到生坯；
(Ⅲ)將所述生坯在絕氧條件下于300℃退火處理2h；
所述原子層沉積包括以下步驟：
(1)將表面處理后的鐵基軟磁粉末置于密閉反應室中，控制沉積溫度為80℃～120℃；
(2)將前驅體A、前驅體B以脈沖形式交替通入密閉反應室；前驅體A、前驅體B的脈沖分壓為0.3～0.6torr，前驅體A、前驅體B脈沖之間用惰性氣體進行清洗；原子層沉積循環次數為500～1000cycle；所述前驅體A為H2O，前驅體B為TMA。
2.根據權利要求1所述的金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述惰性氣體為氮氣或者氦氣，所述惰性氣體的純度為99.999％。
3.根據權利要求1所述的金屬磁粉芯的制備方法，其特征在于，所述表面處理后的鐵基軟磁粉末的表面處理方法為：依次交替用丙酮、乙醇、水清洗后干燥。
4.一種如權利要求1-3任一所述金屬磁粉芯的制備方法制備得到的金屬磁粉芯。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于廣東省科學院新材料研究所，未經廣東省科學院新材料研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202110262461.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
