[發明專利]一種TFT電路基板生產工藝在審
| 申請號: | 202110256108.7 | 申請日: | 2021-03-09 |
| 公開(公告)號: | CN113056093A | 公開(公告)日: | 2021-06-29 |
| 發明(設計)人: | 王鶴杰;王鶴堯 | 申請(專利權)人: | 深圳市昱安旭瓷電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H05K1/03 | 分類號: | H05K1/03;H05K3/00;H05K3/18 |
| 代理公司: | 深圳市新虹光知識產權代理事務所(普通合伙) 44499 | 代理人: | 劉菊美 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市寶安區沙*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 tft 路基 生產工藝 | ||
【權利要求書】:
1.一種TFT電路基板生產工藝,其特征在于,包括以下步驟:
選取基材,所述基材為玻璃或者陶瓷制成;
對所述基材進行表面處理,通過真空濺射的方法在所述基材的表面濺射一層過渡金屬薄層;
在所述過渡金屬薄層的表面貼設高分辨率的曝光干膜,通過曝光機在基材上曝光出陰文線路圖形;
通過脈沖電鍍在基材上電鍍出電路圖形,去掉曝光干膜、去除真空濺射形成的過渡金屬薄層,對基材上的電路表面進行沉金或其他保護處理;
將基材激光切割出需要的尺寸得到成品。
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