[發明專利]一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備

在審

• 申請號: 202110255637.5
• 申請日: 2021-03-09
• 公開（公告）號: CN113018966A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 錢超;楊柯;牛恩眾;余強根
• 申請（專利權）人: 常州高光半導體材料有限公司
• 主分類號: B01D36/02
• 分類號: B01D36/02;B01D29/64;B01D29/68
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董成

1.一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備，包括過濾箱（1），其特征在于：所述過濾箱（1）的底面固定連接有支撐架（2），所述過濾箱（1）頂部的內側設置有第一過濾部件（3），所述第一過濾部件（3）頂部的內側固定套接有進液管（4），所述過濾箱（1）中部的內側設置有自清理部件（5），所述自清理部件（5）的正面固定安裝有同步傳動部件（6），所述同步傳動部件（6）的一側固定安裝有動力部件（7），所述自清理部件（5）的底部設置有二次過濾網板（8），所述二次過濾網板（8）固定套接在過濾箱（1）中部的內側，所述二次過濾網板（8）的底部設置有反沖洗部件（9）和第一泵送部件（10），所述反沖洗部件（9）以及第一泵送部件（10）的一側均固定套接在過濾箱（1）底部的內側，所述過濾箱（1）的底部設置有第二泵送部件（11）。

2.根據權利要求1所述的一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備，其特征在于：所述第一過濾部件（3）的內部包括有過濾網筒（31），且過濾網筒（31）中部的內側固定套接有第一傳動軸（32），所述第一傳動軸（32）頂部的表面固定安裝有軸承套（33），所述軸承套（33）中部的表面固定套接有密封板（34），所述密封板（34）通過螺絲固定安裝在過濾箱（1）頂部的內側，所述第一傳動軸（32）的頂端固定安裝有第一伺服電機（35）。

3.根據權利要求2所述的一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備，其特征在于：所述密封板（34）的表面固定套接有第一密封圈（36），且第一密封圈（36）活動套接在過濾箱（1）頂部的內側，所述密封板（34）的頂面固定連接有把手（37）。

4.根據權利要求1所述的一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備，其特征在于：所述自清理部件（5）的內部包括有兩個螺旋桿（51），且兩個螺旋桿（51）活動套接在過濾箱（1）中部的內側，兩個所述螺旋桿（51）的底面與二次過濾網板（8）的頂面活動連接，兩個所述螺旋桿（51）一端的外側各設置有一個輸渣管（52），兩個所述輸渣管（52）的一端均固定套接在過濾箱（1）中部側壁的內部，兩個所述輸渣管（52）另一端的表面螺紋連接有防漏蓋（53）。

5.根據權利要求4所述的一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備，其特征在于：所述防漏蓋（53）的頂面活動連接有第二密封圈（54），且第二密封圈（54）固定套接在輸渣管（52）另一端的表面。

6.根據權利要求1所述的一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備，其特征在于：所述同步傳動部件（6）的內部包括有同步帶（61），且同步帶（61）兩側的內部各活動套接有一個同步帶輪（62），兩個所述同步帶輪（62）的內部各固定套接有一個第二傳動軸（63），兩個所述第二傳動軸（63）一端的表面各固定安裝有一個軸用密封圈（64），兩個所述軸用密封圈（64）固定套接在過濾箱（1）中部側壁的內部，兩個所述第二傳動軸（63）的另一端與自清理部件（5）內部兩個螺旋桿（51）的一端固定安裝在一起。

7.根據權利要求1所述的一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備，其特征在于：所述動力部件（7）的內部包括有小型傘齒輪箱（71），且小型傘齒輪箱（71）的反面與同步傳動部件（6）內部兩個第二傳動軸（63）中一個的一端固定安裝在一起，所述小型傘齒輪箱（71）的頂部固定安裝有第二伺服電機（72），所述第二伺服電機（72）的反面固定安裝在過濾箱（1）頂部一側的正面上。

8.根據權利要求1所述的一種可重復使用的掩膜版蝕刻液生產設備，其特征在于：所述反沖洗部件（9）的內部包括有五個沖洗管（91），且五個沖洗管（91）之間固定安裝有固定桿（93），所述沖洗管（91）的內部開設有噴水槽（92），所述噴水槽（92）為傾斜狀態，所述固定桿（93）套接在過濾箱（1）底部的內側。