[發明專利]磨削方法

在審

• 申請號: 202110253952.4
• 申請日: 2021-03-09
• 公開（公告）號: CN113400101A
• 公開（公告）日: 2021-09-17
• 發明（設計）人: 鈴木佳一
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

1.一種被加工物的磨削方法，利用磨削磨輪的磨具部對圓盤狀的被加工物的背面側進行磨削，該磨削磨輪具有圓環狀的磨輪基臺和呈環狀配置在該磨輪基臺的一個面側的該磨具部，該被加工物在正面側具有形成有多個器件的器件區域和圍繞該器件區域的周圍的外周剩余區域，

其特征在于，

該磨削方法具有如下的步驟：

正面保護步驟，利用保護部件覆蓋該被加工物的該正面側；

保持步驟，利用能夠繞第1旋轉軸旋轉的圓盤狀的卡盤工作臺對該被加工物的該正面側進行吸引保持；

傾斜磨削步驟，在該保持步驟之后，使安裝在第2旋轉軸的下端部并且具有比該卡盤工作臺的直徑小的直徑且配置在該卡盤工作臺的上方的該磨削磨輪繞該第2旋轉軸旋轉，并且在按照使該磨削磨輪中的位于該卡盤工作臺的外周部側的上方的第1部分的底部比位于該卡盤工作臺的中心部側的上方的第2部分的底部高的方式使該第2旋轉軸相對于該第1旋轉軸傾斜的狀態下，按照該磨削磨輪和該卡盤工作臺沿著與該第1旋轉軸平行的方向相互接近的方式使兩者相對地移動，由此對該被加工物的該背面側的在該被加工物的厚度方向上與該器件區域對應的中央部進行磨削，從而在該背面側形成由實施了磨削的圓形的被磨削部和圍繞該被磨削部的周圍且未實施磨削的環狀加強部構成的圓盤狀的凹部；以及

傾斜變化及磨削步驟，在該傾斜磨削步驟之后，一邊按照該第2旋轉軸變得與該第1旋轉軸平行的方式使該第2旋轉軸的傾斜逐漸變化，一邊對該背面側進行磨削。

2.根據權利要求1所述的磨削方法，其特征在于，

該磨削方法還具有如下的通常磨削步驟：在該傾斜變化及磨削步驟之后，在使該磨削磨輪的該第2旋轉軸與該卡盤工作臺的該第1旋轉軸平行的狀態下，按照該磨削磨輪和該卡盤工作臺沿著與該第1旋轉軸平行的方向相互接近的方式使兩者相對地移動，由此對該被磨削部進行磨削。