[發(fā)明專利]一種顯影液回收裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110247127.3 | 申請(qǐng)日： | 2021-03-05 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113009792A | 公開（公告）日： | 2021-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡磊;魏攀龍;施利君;蔣新 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 蘇州晶洲裝備科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/30 | 分類號(hào)： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215555 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 顯影液 回收 裝置 | ||
1.一種顯影液回收裝置，其特征在于，包括回收存儲(chǔ)單元、處理單元和回用單元；
所述回收存儲(chǔ)單元包括廢液收集罐，所述廢液收集罐用于收集廢棄的顯影液；
所述處理單元用于對(duì)廢棄的顯影液進(jìn)行處理，包括依次連通的反應(yīng)沉淀裝置(1)和過濾裝置，所述反應(yīng)沉淀裝置(1)與所述廢液收集罐連通，用于對(duì)廢棄的顯影液中的樹脂進(jìn)行沉積，所述過濾裝置用于對(duì)廢棄的顯影液進(jìn)行過濾；
所述回用單元包括回收液存儲(chǔ)罐(4)和原液罐(5)，所述回收液存儲(chǔ)罐(4)與所述過濾裝置連通，所述回收液存儲(chǔ)罐(4)中設(shè)置有檢測(cè)系統(tǒng)，所述檢測(cè)系統(tǒng)用于檢測(cè)所述回收液存儲(chǔ)罐(4)中顯影液的濃度，并控制所述原液罐(5)中的原液補(bǔ)充到所述回收液存儲(chǔ)罐(4)中以滿足使用需求。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，所述反應(yīng)沉淀裝置(1)包括相互連通的反應(yīng)罐(11)和脫水間(12)，所述反應(yīng)罐(11)與所述廢液收集罐連通，所述反應(yīng)罐(11)用于對(duì)廢棄的顯影液進(jìn)行沉淀，沉淀后的液體進(jìn)入到所述過濾裝置中，沉淀物進(jìn)入所述脫水間(12)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，所述反應(yīng)罐(11)中設(shè)置有加藥管和第一攪拌裝置，所述加藥管用于投放藥品以加速沉淀，所述第一攪拌裝置用于將所述藥品與所述反應(yīng)罐(11)中的液體充分混合。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，所述脫水間(12)中設(shè)置有壓濾機(jī)，所述壓濾機(jī)用于將所述沉淀物中的液體擠出，所述脫水間(12)與所述反應(yīng)罐(11)之間設(shè)置有第一泵(13)，所述第一泵(13)用于將所述脫水間(12)中的液體泵入到所述反應(yīng)罐(11)中。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，所述過濾裝置包括依次連通的一級(jí)過濾裝置(2)和二級(jí)過濾裝置(3)，所述一級(jí)過濾裝置(2)與所述反應(yīng)罐(11)連通，用于對(duì)來自所述反應(yīng)罐(11)中的液體進(jìn)行一級(jí)過濾，所述二級(jí)過濾裝置(3)用于對(duì)來自所述一級(jí)過濾裝置(2)中的液體進(jìn)行二級(jí)過濾，所述二級(jí)過濾裝置(3)與所述回收液存儲(chǔ)罐(4)連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，所述一級(jí)過濾裝置(2)包括間隔設(shè)置的微米級(jí)過濾裝置(21)和超濾裝置(22)，所述微米級(jí)過濾裝置(21)與所述超濾裝置(22)之間設(shè)置有第二泵(23)，所述第二泵(23)的進(jìn)水口與所述微米級(jí)過濾裝置(21)連通，所述第二泵(23)的出水口與所述超濾裝置(22)連通。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，所述超濾裝置(22)與所述微米級(jí)過濾裝置(21)連通，所述超濾裝置(22)中的濃液能夠進(jìn)入所述微米級(jí)過濾裝置(21)中。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，所述二級(jí)過濾裝置(3)中設(shè)置有納濾膜，所述納濾膜將所述二級(jí)過濾裝置(3)分割為二級(jí)進(jìn)液腔和二級(jí)出液腔，所述二級(jí)過濾裝置(3)上設(shè)置有第三泵(31)，所述第三泵(31)的進(jìn)水口與所述超濾裝置(22)連通，所述第三泵(31)的出水口與所述二級(jí)過濾裝置(3)連通。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，還包括濃液回收裝置(6)，所述濃液回收裝置(6)與所述一級(jí)過濾裝置(2)和所述二級(jí)過濾裝置(3)均連通，用于收集所述一級(jí)過濾裝置(2)和所述二級(jí)過濾裝置(3)中產(chǎn)生的濃液。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種顯影液回收裝置，其特征在于，還包括反沖洗裝置(7)，所述反沖洗裝置(7)的進(jìn)水口與所述回收液存儲(chǔ)罐(4)連通，所述反沖洗裝置(7)的出水口與所述一級(jí)過濾裝置(2)和所述二級(jí)過濾裝置(3)均經(jīng)泵連通，所述反沖洗裝置(7)能夠?qū)λ鑫⒚准?jí)過濾裝置(21)、所述超濾裝置(22)和所述二級(jí)過濾裝置(3)進(jìn)行沖洗。
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