[發(fā)明專利]一種顯影液回收裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110247127.3
• 申請日: 2021-03-05
• 公開（公告）號: CN113009792A
• 公開（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡磊;魏攀龍;施利君;蔣新
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本發(fā)明涉及廢液回收技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯影液回收裝置，顯影液回收裝置包括回收存儲單元、處理單元和回用單元；所述回收存儲單元包括廢液收集罐，所述廢液收集罐用于收集廢棄的顯影液；所述處理單元用于對廢棄的顯影液進(jìn)行處理，包括依次連通的反應(yīng)沉淀裝置和過濾裝置，所述反應(yīng)沉淀裝置與所述廢液收集罐連通，用于對廢棄的顯影液中的樹脂進(jìn)行沉積，所述過濾裝置用于對廢棄的顯影液進(jìn)行過濾；所述回用單元包括回收液存儲罐和原液罐，所述回收液存儲罐與所述過濾裝置連通，所述回收液存儲罐中設(shè)置有檢測系統(tǒng)。本發(fā)明能夠?qū)︼@影液廢液進(jìn)行處理和回收，從而減少對環(huán)境的污染，降低成本，擴(kuò)充企業(yè)產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及廢液回收技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯影液回收裝置。

背景技術(shù)

目前，在制造半導(dǎo)體、液晶、印刷電路板等電子元部件時，顯影液在制造過程中作為清洗劑、觸刻劑被廣泛使用。常用的顯影液為四甲基氫氧化銨(以下簡稱TMAH)，TMAH具有強(qiáng)堿性，在不超過分解點的溫度下穩(wěn)定；當(dāng)催化完畢后很容易除掉，不留任何殘渣；對有機(jī)硅產(chǎn)品無污染。

在對由感光性樹脂形成的印刷版進(jìn)行制版時，曝光的感光性樹脂在水溶性顯影液(TMAH)的作用下顯影，未曝光的感光性樹脂則溶解于顯影液中。重復(fù)使用同一種顯影液來對感光性樹脂進(jìn)行曝光實現(xiàn)顯影，會出現(xiàn)以下情況：顯影性能降低、過多的樹脂溶于顯影液造成顯影液粘度增加，依附在印刷版上，增加版面劣質(zhì)化的風(fēng)險，因此需要更換新的顯影液來進(jìn)行生產(chǎn)。但是從環(huán)境、制造成本兩方面來考慮，頻繁更換顯影液會造成環(huán)境的污染和成本的增加。

因此，需要一種顯影液回收裝置來解決上述技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種顯影液回收裝置，能夠?qū)︼@影液廢液進(jìn)行處理和回收，從而減少對環(huán)境的污染，降低成本，擴(kuò)充企業(yè)產(chǎn)能。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種顯影液回收裝置，包括回收存儲單元、處理單元和回用單元；

所述回收存儲單元包括廢液收集罐，所述廢液收集罐用于收集廢棄的顯影液；

所述處理單元用于對廢棄的顯影液進(jìn)行處理，包括依次連通的反應(yīng)沉淀裝置和過濾裝置，所述反應(yīng)沉淀裝置與所述廢液收集罐連通，用于對廢棄的顯影液中的樹脂進(jìn)行沉積，所述過濾裝置用于對廢棄的顯影液進(jìn)行過濾；

所述回用單元包括回收液存儲罐和原液罐，所述回收液存儲罐與所述過濾裝置連通，所述回收液存儲罐中設(shè)置有檢測系統(tǒng)，所述檢測系統(tǒng)用于檢測所述回收液存儲罐中顯影液的濃度，并控制所述原液罐中的原液補充到所述回收液存儲罐中以滿足使用需求。

進(jìn)一步地，所述反應(yīng)沉淀裝置包括相互連通的反應(yīng)罐和脫水間，所述反應(yīng)罐與所述廢液收集罐連通，所述反應(yīng)罐用于對廢棄的顯影液進(jìn)行沉淀，沉淀后的液體進(jìn)入到所述過濾裝置中，沉淀物進(jìn)入所述脫水間。

進(jìn)一步地，所述反應(yīng)罐中設(shè)置有加藥管和第一攪拌裝置，所述加藥管用于投放藥品以加速沉淀，所述第一攪拌裝置用于將所述藥品與所述反應(yīng)罐中的液體充分混合。

進(jìn)一步地，所述脫水間中設(shè)置有壓濾機(jī)，所述壓濾機(jī)用于將所述沉淀物中的液體擠出，所述脫水間與所述反應(yīng)罐之間設(shè)置有第一泵，所述第一泵用于將所述脫水間中的液體泵入到所述反應(yīng)罐中。

進(jìn)一步地，所述過濾裝置包括依次連通的一級過濾裝置和二級過濾裝置，所述一級過濾裝置與所述反應(yīng)罐連通，用于對來自所述反應(yīng)罐中的液體進(jìn)行一級過濾，所述二級過濾裝置用于對來自所述一級過濾裝置中的液體進(jìn)行二級過濾，所述二級過濾裝置與所述回收液存儲罐連通。

進(jìn)一步地，所述一級過濾裝置包括間隔設(shè)置的微米級過濾裝置和超濾裝置，所述微米級過濾裝置與所述超濾裝置之間設(shè)置有第二泵，所述第二泵的進(jìn)水口與所述微米級過濾裝置連通，所述第二泵的出水口與所述超濾裝置連通。