[發明專利]一種芯片加工用貼膜裝置在審
| 申請號: | 202110245465.3 | 申請日: | 2021-03-05 |
| 公開(公告)號: | CN112864060A | 公開(公告)日: | 2021-05-28 |
| 發明(設計)人: | 陳圓圓 | 申請(專利權)人: | 合肥高地創意科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 230041 安徽省合肥市包河*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 工用 裝置 | ||
1.一種芯片加工用貼膜裝置,其特征在于:包括傳送裝置(1)、推送裝置(2)、輸送帶(6)、壓合裝置(3)、切割裝置(5)和兩個拉伸裝置(4),所述傳送裝置(1)水平安裝在地面上,所述推送裝置(2)水平安裝在傳送裝置(1)一端的底部,所述輸送帶(6)水平安裝在地面上且位于推送裝置(2)的旁側,所述壓合裝置(3)豎直安裝在地面上且位于輸送帶(6)的旁側,兩個所述拉伸裝置(4)豎直安裝在地面上且位于輸送帶(6)的兩端,所述切割裝置(5)水平安裝在輸送帶(6)一端的頂部。
2.根據權利要求1所述的一種芯片加工用貼膜裝置,其特征在于:所述傳送裝置(1)包括傳送架(11)、第一傳送輥(12)、第二傳送輥(13)、第三傳送輥(14)和旋轉電機(15),所述傳送架(11)水平安裝在地面上,所述第一傳送輥(12)水平安裝在傳送架(11)的一端上,所述第二傳送輥(13)水平安裝在傳送架(11)上,所述第三傳送輥(14)水平安裝在傳送架(11)另一端上,所述旋轉電機(15)固定安裝在第一傳送輥(12)的側壁上。
3.根據權利要求2所述的一種芯片加工用貼膜裝置,其特征在于:所述推送裝置(2)包括安裝架(21)、轉動電機(22)、第一旋轉齒輪(23)、第二旋轉齒輪(24)、連接皮帶(25)、第一推送板(26)、第二推送板(27)、第一轉動塊組(28)、第二轉動桿組(29)、第三轉動塊組(230)、第四轉動塊組(231)、第一旋轉柱(232)、第二旋轉柱(233)、第三旋轉柱(234)和第四旋轉柱(235),所述安裝架(21)水平安裝在傳送架(11)一端內部的底部,所述轉動電機(22)固定安裝在安裝架(21)的側壁上且延伸至內部,所述第一旋轉齒輪(23)固定安裝在轉動電機(22)的主軸上,所述第一轉動塊組(28)的一端固定安裝在轉動電機(22)的主軸上,所述第一轉動塊組(28)的另一端固定安裝在安裝架(21)的側壁上,所述第二旋轉齒輪(24)固定安裝在安裝架(21)的側壁上且與第一旋轉齒輪(23)嚙合,所述第二轉動桿組(29)的一端固定安裝在第二旋轉齒輪(24)的側壁上且另一端延伸至安裝架(21)的另一端,所述第三轉動塊組(230)的一端固定安裝在安裝架(21)的一端側壁上,所述第三轉動塊組(230)的另一端固定安裝在安裝架(21)另一端的側壁上且第三轉動塊組(230)與第一轉動塊組(28)水平設置,所述第四轉動塊組(231)的一端固定安裝在安裝架(21)的一端側壁上,所述第四轉動塊組(231)的另一端固定安裝在安裝架(21)另一端的側壁上且第四轉動塊組(231)與第二轉動桿組(29)水平設置,所述第一旋轉柱(232)固定安裝在第一轉動塊組(28)的兩端上,所述第二旋轉柱(233)固定安裝在第二轉動桿組(29)的兩端上,所述第三旋轉柱(234)固定安裝在第三轉動塊組(230)的兩端上,所述第四旋轉柱(235)固定安裝在第四轉動塊組(231)的兩端上,所述第一推送板(26)固定安裝在第一旋轉柱(232)和第三旋轉柱(234)上,所述第二推送板(27)固定安裝在第二旋轉柱(233)和第四旋轉柱(235)上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





