[發明專利]流體溫度控制裝置及光刻設備

在審

• 申請號: 202110243411.3
• 申請日: 2021-03-05
• 公開（公告）號: CN113359896A
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 張利;周二虎;曹紅波
• 申請（專利權）人: 北京華卓精科科技股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20;F16L41/03;F16L41/16;F16K11/02;F16K11/22;F17D1/08;F17D3/01;F17D3/18;G03F7/20;H05K7/20;H02K9/193
• 代理公司: 北京薈英捷創知識產權代理事務所(普通合伙) 11726
• 代理人: 李夢寧

1.一種流體溫度控制裝置，其特征在于，包括溫水分流系統、冷水分流系統和控制閥(300)，其中，所述溫水分流系統包括第一溫水入口(110)以及均與所述第一溫水入口(110)連通的第一溫水出口(120)和第二溫水出口(130)，所述冷水分流系統包括第一冷水入口(210)以及均與所述第一冷水入口(210)連通的第一冷水出口(220)和第二冷水出口(230)，所述第一溫水出口(120)被配置為向光刻設備的第一組件通入溫水，所述第一冷水出口(220)被配置為向光刻設備的第二組件通入冷水；所述控制閥(300)包括第二溫水入口、第二冷水入口和與所述第二溫水入口、所述第二冷水入口二者連通的第一混合水出口(310)，所述第二溫水入口與所述第二溫水出口(130)連通，所述第二冷水入口與所述第二冷水出口(230)連通，所述第一混合水出口(310)被配置為向光刻設備的第三組件通入溫水與冷水的混合水。

2.根據權利要求1所述的流體溫度控制裝置，其特征在于，所述控制閥(300)還包括第一閥芯和第二閥芯，所述第一閥芯設置在所述第二溫水入口處，所述第一閥芯被配置為控制所述第二溫水入口的通流面積，所述第二閥芯設置在所述第二冷水入口處，所述第二閥芯被配置為控制所述第二冷水入口的通流面積。

3.根據權利要求2所述的流體溫度控制裝置，其特征在于，所述冷水分流系統包括第一分流塊(200)，所述第一分流塊(200)內設置有冷水流道和混合水流道，其中，所述冷水流道的入口形成所述第一冷水入口(210)，所述冷水流道的出口形成所述第一冷水出口(220)；所述混合水流道的入口通過連接管(400)與所述第一混合水出口(310)連通，所述第一分流塊(200)還開設有與所述混合水流道連通的第二混合水出口(240)，所述第一混合水出口(310)通過所述連接管(400)、所述第二混合水出口(240)向所述第三組件通入混合水。

4.根據權利要求3所述的流體溫度控制裝置，其特征在于，所述第一混合水出口(310)處設置有直角接頭(500)，所述連接管(400)通過所述直角接頭(500)連接在所述第一混合水出口(310)處。

5.根據權利要求3所述的流體溫度控制裝置，其特征在于，所述流體溫度控制裝置還包括第一溫度傳感器(600)，所述第一溫度傳感器(600)安裝于所述第一分流塊(200)，且所述第一溫度傳感器(600)的感測部伸入所述混合水流道。

6.根據權利要求3所述的流體溫度控制裝置，其特征在于，所述流體溫度控制裝置還包括第二溫度傳感器(700)，所述第二溫度傳感器(700)安裝于所述第一分流塊(200)，且所述第二溫度傳感器(700)的感測部伸入所述冷水流道。

7.根據權利要求1-6任一項所述的流體溫度控制裝置，其特征在于，所述溫水分流系統包括第二分流塊(100)，所述第二分流塊(100)內設置有溫水流道和與所述溫水流道連通的分支流道，所述溫水流道的入口形成所述第一溫水入口(110)，所述溫水流道的出口形成所述第一溫水出口(120)，所述分支流道的出口與所述第二溫水入口連通。

8.根據權利要求1-6任一項所述的流體溫度控制裝置，其特征在于，所述流體溫度控制裝置還包括回水分流系統(800)，所述回水分流系統(800)包括回水入口(810)和與所述回水入口(810)連通的回水出口(820)，所述回水入口(810)被配置為使經過換熱的冷卻水回流至所述回水分流系統(800)，所述回水出口(820)用于與冷水機連接，所述回水出口(820)被配置為使經過換熱的冷卻水進入所述冷水機，再循環進入所述第一溫水入口(110)或第一冷水入口(210)。

9.根據權利要求8所述的流體溫度控制裝置，其特征在于，所述回水出口(820)處設置有流量計(830)，所述流量計(830)被配置為檢測所述回水出口(820)處的流體流量。

10.一種光刻設備，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的流體溫度控制裝置。