[發(fā)明專(zhuān)利]一種高效ITO廢靶回收再利用的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110242917.2 | 申請(qǐng)日： | 2021-03-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN112960690A | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 唐智勇 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C01G19/02 | 分類(lèi)號(hào)： | C01G19/02;C01G15/00;C22B7/00;C22B58/00 |
| 代理公司： | 長(zhǎng)沙鑫澤信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 43247 | 代理人： | 刁飛 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲*** | 國(guó)省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 高效 ito 回收 再利用 方法 | ||
1.一種高效ITO廢靶回收再利用的方法，其特征在于：包括以下步驟：
S1、清洗
用丙酮擦拭ITO廢靶表面，然后用超聲波清洗干凈，干燥后備用；
S2、電弧氣化
將清洗后的ITO廢靶放入直流電弧氣化反應(yīng)室中，通入100-200V直流電壓產(chǎn)生的電弧，以將ITO廢靶熔化、氣化；
S3、粉末回收
將氣化后的ITO廢靶驟冷，然后經(jīng)分級(jí)收粉系統(tǒng)，得到ITO粉末。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效ITO廢靶回收再利用的方法，其特征在于：在步驟S1中，通過(guò)60-70℃的純凈水對(duì)ITO廢靶超聲波清洗30-40min。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效ITO廢靶回收再利用的方法，其特征在于：在步驟S1中，所述ITO廢靶純度為99.99％，In2O3/SnO2的質(zhì)量比為9∶1。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高效ITO廢靶回收再利用的方法，其特征在于：在步驟S3中，所述分級(jí)收粉系統(tǒng)包括依次管道連接的沉降器、風(fēng)機(jī)、旋風(fēng)收粉器和布袋收粉器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種高效ITO廢靶回收再利用的方法，其特征在于：所述布袋收粉器包括支腿(1)、固定塊(2)、支撐桿(3)、筒體、出粉管(5)、排灰機(jī)構(gòu)、濾袋、底筒(9)和進(jìn)氣管(13)；
所述筒體包括固定筒體(41)及與所述固定筒體(41)上下滑動(dòng)配合的活動(dòng)筒體(42)，所述濾袋包括固定濾袋(81)和活動(dòng)濾袋(82)，所述固定濾袋(81)固定在所述固定筒體(41)內(nèi)，所述活動(dòng)濾袋(82)可拆卸連接在所述活動(dòng)濾袋(82)下端，以使所述活動(dòng)濾袋(82)與所述固定濾袋(81)連通；
所述固定塊(2)固定在所述固定筒體(41)外表面，所述支腿(1)上端固定在所述固定塊(2)上，下端用于支撐在地面或基礎(chǔ)平面上，所述支撐桿(3)固定在所述支腿(1)上且用于向上支撐所述底筒(9)，所述活動(dòng)濾袋(82)下端套設(shè)在所述底筒(9)上且與所述底筒(9)可拆卸連接，所述底筒(9)下端設(shè)置有出粉管(5)；
所述進(jìn)氣管(13)穿過(guò)所述固定筒體(41)且延伸在所述固定濾袋(81)內(nèi)，所述活動(dòng)筒體(42)底部開(kāi)設(shè)有圓孔(6)，所述圓孔(6)直徑大于所述活動(dòng)濾袋(82)外徑，以使所述活動(dòng)筒體(42)在所述活動(dòng)濾袋(82)外部四周上下滑動(dòng)；
所述排灰機(jī)構(gòu)用于拍打所述固定濾袋(81)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高效ITO廢靶回收再利用的方法，其特征在于：所述排灰機(jī)構(gòu)包括電機(jī)(71)、轉(zhuǎn)軸(72)和拍打棒(73)；
所述電機(jī)(71)安裝在所述固定筒體(41)頂部上方，所述轉(zhuǎn)軸(72)上端與所述電機(jī)(71)輸出軸固定，下端穿過(guò)所述固定筒體(41)且延伸在所述固定濾袋(81)內(nèi)，所述拍打棒(73)位于所述固定濾袋(81)內(nèi)且一端固定在所述轉(zhuǎn)軸(72)上，另一端與所述固定濾袋(81)內(nèi)壁接觸，所述轉(zhuǎn)軸(72)軸向方向與所述固定濾袋(81)軸向方向相一致。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種高效ITO廢靶回收再利用的方法，其特征在于：所述進(jìn)氣管(13)為傾斜設(shè)置且下端延伸在所述固定濾袋(81)內(nèi)，所述進(jìn)氣管(13)出氣端向外呈擴(kuò)口設(shè)置，所述進(jìn)氣管(13)出氣端位于所述拍打棒(73)下方。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高效ITO廢靶回收再利用的方法，其特征在于：所述固定筒體(41)和所述活動(dòng)筒體(42)均為圓筒狀，所述活動(dòng)筒體(42)外徑與所述固定筒體(41)內(nèi)徑相同，所述固定筒體(41)內(nèi)壁開(kāi)設(shè)有用于所述活動(dòng)筒體(42)在所述固定筒體(41)內(nèi)上下滑動(dòng)的滑槽(10)，所述活動(dòng)筒體(42)上固定有與所述滑槽(10)相適配的滑塊(11)，所述滑塊(11)插在所述滑槽(10)內(nèi)且與所述滑槽(10)滑動(dòng)配合。
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