[發(fā)明專利]一種用于激光巴條及其單管出光的光學(xué)性質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110241907.7
• 申請(qǐng)日: 2021-03-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112595498B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 饒炯輝;雷暢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢人和睿視科技有限公司
• 主分類號(hào): G01M11/02
• 分類號(hào): G01M11/02;G01N21/94;G01N21/95;G01N21/952
• 代理公司: 武漢智匯為專利代理事務(wù)所(普通合伙) 42235
• 代理人: 李恭渝

本發(fā)明公開(kāi)了一種用于激光巴條及其單管出光的光學(xué)性質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，包括拾取工位、檢查工位、搬運(yùn)工位和控制組件，所述控制組件與拾取工位、檢查工位和搬運(yùn)工位電連接，所述控制組件用于控制各工位相互協(xié)調(diào)地進(jìn)行動(dòng)作，以及控制所述檢查工位采集激光巴條的表面圖像、并判斷和記錄檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述搬運(yùn)工位用于激光巴條在拾取工位和檢查工位之間的往復(fù)搬運(yùn)，所述拾取工位包括移動(dòng)平臺(tái)，所述移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)有用于放置激光巴條的托盤。本發(fā)明可針對(duì)激光巴條表面存在的污染物、顆粒、解理紋等缺陷進(jìn)行高分辨率的機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)，具有較高的檢測(cè)效率和精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件的光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域，特別涉及一種用于激光巴條及其單管出光的光學(xué)性質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

激光巴條是激光器陣列的基本組成單元，既可以單獨(dú)應(yīng)用，也可進(jìn)一步組成線陣和疊陣。其中激光巴條是由多個(gè)邊緣發(fā)光的激光單管并排封裝組成，目前對(duì)于激光巴條的檢測(cè)大多采用顯微鏡進(jìn)行人工檢測(cè)，效率較低且無(wú)法達(dá)到一致的判定標(biāo)準(zhǔn)，影響產(chǎn)品的一致性和穩(wěn)定性。

其中申請(qǐng)?zhí)枮?01910423488.1的中國(guó)發(fā)明專利，公開(kāi)了一種激光巴條檢測(cè)系統(tǒng)，通過(guò)在驅(qū)動(dòng)臂的一端設(shè)置底盤，另一端設(shè)置吸附裝置，吸附裝置用于吸附待檢的激光巴條，底盤與驅(qū)動(dòng)機(jī)組的各個(gè)驅(qū)動(dòng)軸固定連接，以實(shí)現(xiàn)激光巴條的移動(dòng)。但該檢測(cè)方法存在如下缺陷：1、將激光巴條懸掛檢測(cè)，移動(dòng)過(guò)程中易產(chǎn)生晃動(dòng)，直接影響檢測(cè)裝置的對(duì)焦，進(jìn)而不能進(jìn)行高精度的檢測(cè)；2、位置調(diào)整裝置中通過(guò)X-Y面轉(zhuǎn)角電機(jī)調(diào)整激光巴條的側(cè)面方位時(shí)，具有較大的回轉(zhuǎn)半徑，吸附的激光巴條易產(chǎn)生晃動(dòng)，且無(wú)法對(duì)每個(gè)側(cè)面進(jìn)行檢測(cè)；3、該檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)光譜信息進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，采用卡塊對(duì)激光巴條的外形進(jìn)行限位，但通過(guò)實(shí)踐發(fā)現(xiàn)為保證激光巴條限位后探針的接觸精度，卡塊和激光巴條之間的間隙不易過(guò)大，但間隙過(guò)小時(shí)由吸附裝置吸附的激光巴條不易精準(zhǔn)放置于卡塊內(nèi)，機(jī)械式定位方式存在一定弊端。綜上所述，需對(duì)現(xiàn)有的檢查方法進(jìn)行改進(jìn)，以適用激光巴條高精度、高效率的檢測(cè)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種用于激光巴條及其單管出光的光學(xué)性質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，自動(dòng)化程度高，激光巴條的一次裝夾后可實(shí)現(xiàn)五個(gè)面的自動(dòng)檢測(cè)，可針對(duì)激光巴條表面存在的污染物、顆粒、解理紋等缺陷進(jìn)行高分辨率的機(jī)器視覺(jué)檢測(cè)，具有較高的檢測(cè)效率和精度。

本發(fā)明的一種用于激光巴條及其單管出光的光學(xué)性質(zhì)檢測(cè)系統(tǒng)，包括拾取工位、檢查工位、搬運(yùn)工位和控制組件，所述控制組件與拾取工位、檢查工位和搬運(yùn)工位電連接，所述控制組件用于控制各工位相互協(xié)調(diào)地進(jìn)行動(dòng)作，以及控制所述檢查工位采集激光巴條的表面圖像、并判斷和記錄檢測(cè)數(shù)據(jù)，所述搬運(yùn)工位用于激光巴條在拾取工位和檢查工位之間的往復(fù)搬運(yùn)，

所述拾取工位包括移動(dòng)平臺(tái)，所述移動(dòng)平臺(tái)上設(shè)有用于放置激光巴條的托盤，

所述檢查工位包括第一檢測(cè)臺(tái)、第一鏡頭和第二顯微鏡，所述第一鏡頭和第二顯微鏡相互垂直設(shè)置，所述第一檢測(cè)臺(tái)用于承載激光巴條位于第一鏡頭和第二顯微鏡的視場(chǎng)交點(diǎn)，所述第一檢測(cè)臺(tái)包括第一巴條吸附組件和第一巴條移動(dòng)組件，所述第一巴條吸附組件用于激光巴條的吸附固定，所述第一巴條移動(dòng)組件用于第一巴條吸附組件的平移和旋轉(zhuǎn)，所述控制組件通過(guò)第一鏡頭采集激光巴條固定于第一巴條吸附組件初始狀態(tài)的第一圖像，所述控制組件根據(jù)第一圖像驅(qū)動(dòng)第一巴條移動(dòng)組件對(duì)激光巴條找正、并移動(dòng)至第二顯微鏡的焦距內(nèi)，所述第二顯微鏡用于激光巴條的側(cè)面檢測(cè)。

進(jìn)一步地，檢測(cè)系統(tǒng)還包括激光巴條的單管出光測(cè)試工位，所述單管出光測(cè)試工位包括第二檢測(cè)臺(tái)、供電模組、光路調(diào)節(jié)鏡組、第三鏡頭和第四相機(jī)，所述第二檢測(cè)臺(tái)包括第二巴條吸附組件和第二巴條移動(dòng)組件，所述第三鏡頭位于第二檢測(cè)臺(tái)上方，所述控制組件通過(guò)第三鏡頭采集激光巴條固定于第二巴條吸附組件初始狀態(tài)的第二圖像，所述控制組件根據(jù)第二圖像驅(qū)動(dòng)第二巴條移動(dòng)組件對(duì)激光巴條找正、并移動(dòng)至供電模組，所述第二巴條吸附組件上設(shè)有用于與激光巴條負(fù)極電連接的負(fù)極觸點(diǎn)，所述供電模組的正極探針與激光巴條的正極電連接，所述激光巴條的單管出光經(jīng)光路調(diào)節(jié)鏡組至第四相機(jī)，所述控制組件通過(guò)第四相機(jī)采集激光巴條單管出光的光斑大小。