[發(fā)明專利]MEMS探針卡測試插座、方法及該插座的彈簧更換方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110241384.6
• 申請日: 2021-03-04
• 公開（公告）號: CN112858742A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發(fā)明（設計）人: 王鴻亮
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱橋晟科技發(fā)展有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.MEMS探針卡測試插座，其特征在于：

包括：底座（101）、底板（102）、旋轉(zhuǎn)擋盤（105）、保護殼體（106）、自鎖驅(qū)動機構(gòu)、升降氣缸（108）、頂板（110）、壓塊（111）、加熱片（112）、導熱片（113）、進氣口管（114）、軟管（115）、氣泵（116）、進氣罩（117）、過濾網(wǎng)（118）、接管（119）、圓盤罩（120）、封蓋（121）、圓筒（124）、連接管件（125）、連接軸（126）、螺紋頂蓋（127）、干燥螺旋豎管（128）、空心圓殼（129）、彈簧（139）、導向桿（140）、載板（141）、溫度傳感器（142）、第一探針（145）、第二探針（146）、沾灰斜板（147）、吸濕斜板（148）、葉輪（149）、直桿（150）、吸濕條板（151）和沾灰條板（152）；

其中，所述底座（101）的底部與所述底板（102）固定連接，所述底座（101）的正面固定嵌合連接有透明窗板（104），所述透明窗板（104）位于凹槽（137）的正面，底座（101）的頂部設置有所述旋轉(zhuǎn)擋盤（105）；所述底板（102）的四周邊沿處均勻開設有若干個安裝孔，所述底板（102）與底座（101）的連接處固定連接有多個加強筋板（103）；所述保護殼體（106）固定連接在所述底座（101）的一側(cè)壁上，所述自鎖驅(qū)動機構(gòu)設置在所述保護殼體（106）與所述底座（101）一側(cè)之間，所述自鎖驅(qū)動機構(gòu)的輸出端與所述旋轉(zhuǎn)擋盤（105）的一側(cè)底部固定連接，所述底座（101）的頂部兩側(cè)均固定連接有所述升降氣缸（108），所述升降氣缸（108）的輸出頂端與所述頂板（110）的底部固定連接，所述頂板（110）的底部固定連接有壓塊（111），所述壓塊（111）的底部固定連接有所述加熱片（112），所述加熱片（112）的底部固定連接有所述導熱片（113）；

所述旋轉(zhuǎn)擋盤（105）的中部開設有上料槽（109），所述底座（101）的頂部中心位置開設有凹槽（137），所述底座（101）的內(nèi)部開設有導向孔（138），所述導向孔（138）與所述凹槽（137）底部連通安裝，所述導向孔（138）與所述導向桿（140）間隙配合連接，所述導向桿（140）的頂端固定連接有所述載板（141），所述載板（141）位于所述上料槽（109）的底部，所述載板（141）與所述凹槽（137）的頂部間隙配合連接，所述導向孔（138）的內(nèi)部設置有所述彈簧（139），所述彈簧（139）與所述導向桿（140）的底端接觸，所述凹槽（137）的內(nèi)部固定連接有若干個所述第一探針（145）和若干個所述第二探針（146），所述載板（141）表面開設有若干個通孔（143），所述通孔（143）位于所述第一探針（145）的頂端處，所述載板（141）中部固定嵌合連接有所述溫度傳感器（142），所述溫度傳感器（142）位于所述第二探針（146）的頂端處，所述上料槽（109）中放置有待測探針卡（144），所述待測探針卡（144）放置在所述載板（141）頂部；

所述底座（101）的一側(cè)固定連接有所述進氣口管（114），所述進氣口管（114）與所述凹槽（137）的一側(cè)連通安裝，所述進氣口管（114）的一端與所述軟管（115）的一端固定連通安裝，所述軟管（115）的末端與所述空心圓殼（129）頂部的接口（130）固定連通安裝，所述空心圓殼（129）的內(nèi)部空腔與接口（130）連通安裝，所述空心圓殼（129）的底部連通安裝有若干個均勻分布的所述干燥螺旋豎管（128），所述干燥螺旋豎管（128）的底端與所述螺紋頂蓋（127）連接，所述螺紋頂蓋（127）與所述圓筒（124）頂部螺紋連接，所述圓筒（124）的底端固定連接有所述連接管件（125），所述連接管件（125）與所述封蓋（121）頂部固定連接，所述封蓋（121）固定連接在所述圓盤罩（120）的頂部開口處，所述圓盤罩（120）的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有所述葉輪（149），所述葉輪（149）的頂端與所述連接軸（126）的底端固定連接，所述連接軸（126）頂端與所述直桿（150）底端固定連接，所述直桿（150）與所述圓筒（124）的底部中心處轉(zhuǎn)動連接，所述直桿（150）表面沿長度方向等間距固定連接有若干個所述吸濕條板（151），所述直桿（150）表面還沿長度方向等間距固定連接有若干個所述沾灰條板（152），所述沾灰條板（152）和所述吸濕條板（151）均位于所述圓筒（124）的內(nèi)部，所述圓盤罩（120）的一側(cè)與所述接管（119）的一端固定連通安裝，所述接管（119）的末端與所述氣泵（116）的出氣口固定連通安裝，所述氣泵（116）的進氣口與所述進氣罩（117）固定連通安裝，所述進氣罩（117）的一側(cè)固定嵌合連接有所述過濾網(wǎng)（118），所述進氣罩（117）的內(nèi)部沿豎直方向等間距固定連接有若干個所述沾灰斜板（147）和若干個所述吸濕斜板（148），所述吸濕斜板（148）位于所述沾灰斜板（147）的一側(cè)。