[發明專利]一種晶圓玻璃粉擦粉裝置

有效

• 申請號: 202110240307.9
• 申請日: 2021-03-04
• 公開（公告）號: CN112864058B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 孟萌;李向東;畢立東
• 申請（專利權）人: 山東才聚電子科技有限公司;陽信岑祥電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 淄博佳和專利代理事務所(普通合伙) 37223
• 代理人: 李坤

1.一種晶圓玻璃粉擦粉裝置，其特征在于：包括加壓裝置、往復運動裝置以及托盤（15），加壓裝置安裝在往復運動裝置上，并隨其往復運動，加壓裝置的底部設置有壓緊部，托盤（15）設置在壓緊部的正下方，托盤（15）上設置有用于對晶圓固定的吸附部；

還包括壓力調節裝置，加壓裝置的下側可升降的安裝有壓板（10），壓緊部設置在壓板（10）的下側，壓力調節裝置與壓板（10）相連，壓板（10）的下側安裝有柔性板（31），形成壓緊部；

還包括設置在壓緊部相對兩側的用于對牛皮紙導向的導入裝置以及導出裝置，壓緊部的兩側均設置有圓弧形的過渡部（1001）；

還包括玻璃粉收集裝置，托盤（15）設置在玻璃粉收集裝置內，玻璃粉收集裝置的上側敞口設置。

2.根據權利要求1所述的晶圓玻璃粉擦粉裝置，其特征在于：所述的托盤（15）的上側設置有凹槽，形成所述吸附部，凹槽連接抽負壓裝置。

3.根據權利要求1或2所述的晶圓玻璃粉擦粉裝置，其特征在于：所述的托盤（15）連接有帶動其轉動的旋轉裝置。

4.根據權利要求1所述的晶圓玻璃粉擦粉裝置，其特征在于：所述的壓力調節裝置包括立桿（24）以及配重塊（23），立桿（24）的下端與壓板（10）相連，上端與壓緊裝置可滑動的連接，配重塊（23）設置在壓板（10）上側。

5.根據權利要求1所述的晶圓玻璃粉擦粉裝置，其特征在于：所述的玻璃粉收集裝置包括外罩（12）以及抽氣筒（13），外罩（12）罩設在托盤（15）外側，抽氣筒（13）設置在外罩（12）一側，并與外罩（12）相連通。

6.根據權利要求1所述的晶圓玻璃粉擦粉裝置，其特征在于：所述的玻璃粉收集裝置包括抽氣嘴，抽氣嘴連接有抽負壓管，抽氣嘴設置在托盤（15）的頂部一側。

7.根據權利要求1所述的晶圓玻璃粉擦粉裝置，其特征在于：還包括用于將晶圓輸送至托盤（15）上的晶圓輸送裝置，晶圓輸送裝置設置在托盤（15）一側。